Link tải miễn phí luận văn
MỤC LỤC
LỜI MỞ ĐẦU ..................................................................................................................... 3
Chương I: Tổng quan về MEMS và lựa chọn trúc .............................................................. 4
1. Tổng quan về MEMS ................................................................................................ 4
2. Lịch sử phát triển của MEMS ...................................................................................... 6
3. Tổng quan về các loại micro motor ............................................................................. 8
3.1. Động cơ sử dụng bộ kích hoạt tĩnh điện kiểu răng lược ........................................ 8
3.1.1 Nguyên lí hoạt động ............................................................................................. 8
3.1.2. Cấu tạo ................................................................................................................ 9
3.1.3. Ứng dụng ............................................................................................................. 9
3.1.4. Ưu điểm, nhược điểm........................................................................................ 10
3.2. Động cơ sử dụng bộ kích hoạt nhiệt ....................................................................... 11
3.2.1. Cấu tạo và nguyên lí hoạt động của bộ kích hoạt nhiệt hot – cold arm ........... 11
3.2.2. Ưu điểm, nhược điểm........................................................................................ 12
3.2.3. Ứng dụng ........................................................................................................... 12
3.3. Motor quay 2 chiều nhiệt chữ V ............................................................................. 13
3.3.1 Cấu tạo và nguyên lí hoạt động của bộ kích hoạt nhiệt chữ V .......................... 13
3.3.2 Ưu điểm, nhược điểm........................................................................................ 14
3.3.3 Ứng dụng ........................................................................................................... 14
4. Đề xuất mô hình ......................................................................................................... 15
Chương II : Tính toán thiết kế ........................................................................................... 16
1. Nguyên lý hoạt động .................................................................................................. 16
2. Tính toán vi động cơ .................................................................................................. 16
ChươngIII: Quá trình chế tạo actuator nhiệt điện .............................................................. 22
1. Các Mask sử dụng trong quá trình gia công ............................................................ 22
2. Chế tạo bánh răng và dầm: ...................................................................................... 24
3.Chế tạo 3 trục tại bánh răng và dầm. ........................................................................... 28
5.Chế tạo thanh truyền thứ hai. ...................................................................................... 37
Chương IV:Kết Luận. ........................................................................................................ 43
Tài liệu tham khảo ............................................................................................................. 44
LỜI MỞ ĐẦU
Với sự phát triển của khoa học công nghệ trong nhưng thập niên gần đây, thế kỉ
XIX được coi là thế kỉ của kỉ nguyên số và công nghệ cao.Xu thế tập trung và những
ngành công nghiệp công nghệ cao, kĩ thuật tinh vi chuyên môn tự động trong sản xuất từ
khâu nghiên cứu chế tạo đến bước cuối cùng hành thành sản phẩm. Đáp ứng những nhu
cầu yêu cầu cao của con người, cũng như phù hợp với sự tất yêu phát triển của thời đại
nền kinh tế tri thức ngày càng hoàn thiện và tiên tiến hơn.
Trong ngành khoa học công nghệ cao thì lĩnh vực vi cơ điện tử tuy mới phát triển
nhưng có nhưng đóng góp to lớn cho sự phát triển khoa học công nghệ của toàn nhân
loại, đặc biệt ngành micromotor đã chú trọng rất nhiều cho những cải tiến phát minh ứng
dụng sâu rộng trong các nghành công nghiệp, kĩ thuật điều khiển tự động, tự động hóa
cao thay thế lao động trực tiếp của con người. Được sự giúp đỡ của giảng viên chúng em
đã chọn đề tài : “ Vi động cơ kiểu nhiệt điện ” làm đề tài nghiên cứu cho môn học thiết kế
hệ thống vi cơ điện tử của mình.
Chương I: Tổng quan về MEMS và lựa chọn trúc
1. Tổng quan về MEMS
Vào thế kỷ XX, các thiết bị điện tử được tích hợp với số lượng ngày càng lớn, kích
thước ngày càng nhỏ và chức năng ngày càng được nâng cao. Điều này đã mang lại sự
biến đổi sâu sắc cả về mặt công nghệ lẫn xã hội. Vào cuối những năm 50 của thế kỷ XX,
một cuộc cách mạng hoá về công nghệ micro đã diễn ra và hứa hẹn một tương lai cho tất
cả các ngành công nghiệp. Hệ thống vi cơ điện tử (Micro ElectroMechanical Systems)
viết tắt là MEMS cũng đã được ra đời và phát triển trong giai đoạn này.
Hệ thống vi cơ điện tử -MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) là hệ thống
tích hợp các phần tử cơ khí, cảm biến, bộ kích hoạt và các cấu kiện điện tử được sản xuất
bằng công nghệ Micro. Hai dòng sản phẩm chính của MEMS là sensor ( cảm biến) và
actuator (bộ kích hoạt)
`
/file/d/0Bz7Zv9 ... sp=sharing
