Công nghệ linh kiện điện tử micro và nanô
•

•
 !"# 
•
"$%&'!($)*%+
P. pháp cộng P. pháp trừ P. pháp thay đổi
a)Lắng đọng màng mỏng
- Lắng đọng thổi
- Lắng đọng bay hơi
- Lắng đọng hòa tan
- Epitaxy chùm phân tử
b) Kỹ thuật in
- In phun
- In vi tiếp xúc
c) Phát triển tự tổ chức
- P. ứng hoá học chọn lọc
- Phát triển sinh học của tế bào
d) Lắp ráp
- Gắn wafer
- Công nghệ lắp bề mặt
- Các phương pháp liên kết và nối dây
a) Xử lý bức xạ
- Phơi sáng cản quang
- Làm cứng polymer
b) Ủ nhiệt
- Kết tinh
- Khuếch tán
- Thay đổi pha
c) Xử lý tia ion

,"
•
-"%./"0
•
12top-down#3!"4#3!!
•
5!bottom-up6"$7
12
•
8$905(#:;<;;5;%==#2
!&>*?#3!"+@A$
%'BC<DE'B4=<
!#3!#!>5F#D+
12<
•
<B;;G5%.!H
%.D>%I2+;
•
J$<;4=<KB<I<E"$L
M<#=+,>""
 ?  % #3 ! "+ N E'  %.    "
#*<"+
125
•
"OP5#*Q+;
•
8%;4 = %. %< R ($    S . F =+ 8
%"*!%#6%.M;54B
L.6%.M;5+
•

(.+\$BT"4=A4"
M  " 0 6    " ;" ; ;#V"B
OX)B+++;"#3;AB++++$4="B
5A$"B2"B"B"B+++
Phương pháp từ dưới lên (kết hợp)
•
"5P"$K94"M0;
%AB;F;;"#3B+++$4="B5A$"B
2"B"B"B+++