Tài liệu :
Nghiên cứu chế tạo thiết bị phún xạ cathode DC magnetron và ứng dụng trong chế tạo màng mỏng
Tác giả :
Phạm Hồng Tuấn
Năm xuất bản :
2000
Nhà Xuất bản :
Từ khóa :
Thiết bị phún xạ DC-magnetron,Chế tạo màng mỏng,Gương quang học,Mạ bạc,Màng kim loại
Số trang :
106 tr.+PL
Xem tài liệu 1
Tải file Nghiên cứu chế tạo thiết bị phún xạ cathode DC magnetron và ứng dụng trong chế tạo màng mỏng