Tài liệu : Vi mô tơ nhiệt - điện siêu nhỏ chế tạo bằng công nghệ MEMS
Tác giả : Trần Văn Quân;Bùi Hữu Nam;Nguyễn Tiến Dũng
Năm xuất bản : 2014
Nhà Xuất bản :
Từ khóa : Vi mô tơ nhiệt,Bộ kích hoạt nhiệt điện,Công nghệ vi cơ khối
Số trang : tr. 141-146
Xem tài liệu 1
Tải file Vi mô tơ nhiệt - điện siêu nhỏ chế tạo bằng công nghệ MEMS

---