4.4.1. Cảm biến tụ đơn
81
4.4.2. Cảm biến tụ kép vi sai
83
4.4.3. Mạch đo
84
4.5. Cảm biến quang
84
4.5.1. Cảm biến quang phản xạ
84
4.5.2. Cảm biến quang soi thấu
85
4.6. Cảm biến đo dịch chuyển bằng sóng đàn hồi
86
4.6.1. Nguyên lý đo dịch chuyển bằng sóng đàn hồi
86
4.6.2. Cảm bi
ến sử dụng phần tử áp điện
87
4.6.3. Cảm biến âm từ
88
Chương V. Cảm biến đo biến dạng
5.1. Biến dạng và phương pháp đo
90
5.1.1. Định nghĩa một số đại lượng co học
90
5.1.2. Phương pháp đo biến dạng
91
5.2. Đầu đo điện trở kim loại
91
5.2.1. Cấu tạo và nguyên lý hoạt động

6.3. Cảm biến từ giảo
104
6.3.1. Hiệu ứng từ giảo
104
6.3.2. Cảm biến từ thẩm biến thiên
105
6.3.3. Cảm biến từ dư biến thiên
106
6.4. Cảm biến dựa trên phép đo dịch chuyển
106
6.5. Cảm biến xúc giác
107
Chương VII. Cảm biến đo vận tốc, gia tốc và rung
7.1. Cảm biến đo vận tốc
108
7.1.1. Nguyên lý đo vận tốc
108
7.1.2. Tốc độ kế điện từ
108
7.1.3. Tốc độ kế xung
113
7.1.4. Máy đo góc tuyệt đối
115
7.1.5. Đổi hướng kế
116
7.2. Cảm biến đo rung và gia tốc
118
7.2.1. Khái niệm cơ bản
118
7.2.2. Cảm biến đo tố

9.1.1. Lưu lượng và đơn vị đo
142
9.1.2. Công tơ thể tích
142
9.1.3. Công tơ tốc độ
144
9.1.4. Lưu lượng kế màng chắn
146
9.1.5. Lưu lượng kế điện từ
149
9.2. Cảm biến đo và phát hiện mức chất lưu
150
9.2.1. Mục đích và phương pháp đo
150
9.2.2. Phương pháp thuỷ tỉnh
151
9.2.3. Phương pháp điện
152
9.2.4. Phương pháp bức xạ
153
Chương X. Cảm biến thông minh
10.1. Khái niệm về cảm biến thông minh
155
10.2. Cấu trúc của một cảm biến thông minh
156
10.3. Các khâu chức năng của cảm biến thông minh
157
10.3.1. Bộ chuyển đổi chuẩn hoá
157
10.3.2. Bộ dồn kênh MUX