KHOA CÔNG NGHỆ ĐIỆN TỬ
TIỂU LUẬN MÔN HỌC
CÔNG NGHỆ VI ĐIỆN TỬ
Nhóm 6
GVHD: TS. Nguyễn Minh Ngọc
DANH SÁCH NHÓM
1. Lương Quang Tài 10046681
2. Trần Thanh Tâm 10035161
3. Nguyễn Công Tầng 10044671
4. Đoàn Tấn Thanh 10058581
TÊN ĐỀ TÀI:
•
Photolithography & Etching
Quang khắc, chất cản quang resist, thiết bị,
qui trình?
•
Giới hạn và những lỗi trong quá trình
quang khắc? Phân biệt ăn mòn ướt và ăn
mòn khô?

1. Tổng quan về quang khắc
•
Quang khắc là kĩ thuật sử dụng bức xạ ánh
sáng làm biến đổi các chất cản quang phủ trên
bề mặt để tạo ra các chi tiết giống như thiết
kế.
•
Do ảnh hưởng của nhiễu xạ ánh sáng nên
phương pháp quang khắc không cho phép tạo
các chi tiết nhỏ hơn micro mét, vì vậy phương
pháp này còn được gọi là quang khắc micro

CẢN QUANG
CẢN QUANG
DƯƠNG: chất
cản quang sau
khi bị ánh sáng
chiếu vào sẽ bị
hòa tan trong
các dung dịch
tráng rửa
CẢN QUANG ÂM:
chất cản quang
sau khi bị ánh
sáng chiếu vào
không bị hòa tan
trong các dung
dịch tráng rửa

Sấy sơ bộ (Soft Bake)
Quy trình nhiệt độ tiêu chuẩn:
•
20 phút đầu: nhiệt độ 90-100 oC , trong
một lò đối lưu
•
45 giây sau: nhiệt độ 75-85oC , trên một
tấm kim loại nóng
Trong thương mại, người ta thường nung
nóng bằng lò vi sóng hoặc đèn hồng ngoại.

Định vị mặt nạ và phơi sáng
Trong giai đoạn này, hệ sẽ được chiếu ánh sáng để

•
Ăn mòn khô:
Tấm silicon được đưa vào trong buồng chân
không, sau đó hỗn hợp khí dùng cho ăn mòn
được đưa vào trong buồng phản ứng.
Ở chân không thích hợp, dưới tác dụng của
nguồn cao tần, khí ăn mòn bị ion hoá và chúng
ta thu được hỗn hợp plasma của khí nói trên
bao gồm các ion F+ do đó SiO2 hoặc Si … bị ăn
mòn và tạo ra các sản phẩm phản ứng tương
ứng.
Tráng rửa
•
Dùng hóa chất tách các chất cảm quang
chưa đóng rắn
•
Các thông số kiểm soát trong quá trình
rửa: nhiệt độ, thời gian, phương pháp và
hóa chất để rửa.
•
Có 2 phương pháp rửa: phương pháp
nhúng (đưa trực tiếp dung dịch rửa) và
phương pháp phun.
Sấy sau khi hiện ảnh
•
Mục đích của bước này là làm cho lớp
cảm quang cứng hoàn toàn, đồng thời tách
toàn bộ dung môi ra khỏi chất cản quang
3. Ứng dụng của quang khắc
•