TRƢỜNG ĐẠI HỌC CẦN THƠ
KHOA SƢ PHẠM
BỘ MÔN SƢ PHẠM VẬT LÝ

CÁC LOẠI KÍNH HIỂN VI ĐIỆN TỬ VÀ ỨNG DỤNG

Luận văn tốt nghiệp
Ngành: SƢ PHẠM VẬT LÝ

Giáo viên hƣớng dẫn:

Sinh viên thực hiện:

Ths. GVC. Hoàng Xuân Dinh

Nguyễn Vủ Linh
Mã số SV: 1100301
Lớp: Sƣ Phạm Vật Lý
Khóa: 36

Cần Thơ, năm 2014


Các loại kính hiển vi điện tử và ứng dụng

LỜI CẢM TẠ
Trong thời gian bốn năm học tập tại Trường Đại Học Cần Thơ, tôi đã được trao dồi
rất nhiều từ kiến thức cho đến kĩ năng sống. Đó là nhờ sự tận tình dạy bảo của quý thầy
cô.
Hôm nay, sau khi luận văn của tôi được hoàn thành. Tôi thật sự xúc động trước tình
cảm của thầy cô và bạn bè đã dành cho tôi. Thật sự thì khi thực hiện đề tài này, tôi đã gặp

3. Giới hạn của đề tài .................................................................................................. 1
4. Phương pháp nghiên cứu và phương tiện thực hiện ............................................... 2
5. Các giai đoạn thực hiện .......................................................................................... 2
Phần NỘI DUNG ........................................................................................................ 3
Chương 1: KHÁI QUÁT VỀ KÍNH HIỂN VI ........................................................... 3
1.1. Lịch sử về kính hiển vi ........................................................................................ 3
1.2. Các loại kính hiển vi ............................................................................................ 5
1.2.1. Kính hiển vi quang học ..................................................................................... 5
1.2.2. Kính hiển vi quang học quét trường gần .......................................................... 6
1.2.3. Kính hiển vi điện tử .......................................................................................... 6
1.3. Các bộ phận cơ khí của kính hiển vi ................................................................... 7
1.3.1. Kính hiển vi quét đầu dò ................................................................................... 7
Chương 2: CÁC LOẠI KÍNH HIỂN VI ĐIỆN TỬ ................................................... 8
2.1. Từ kính hiển vi quang học đến kính hiển vi điện tử ............................................ 8
2.2. Kính hiển vi điện tử quét (SEM) ......................................................................... 9
2.2.1. Lịch sử về kính hiện vi điện tử quét ................................................................. 9
2.2.2 Nguyên lý hoạt động và sự tạo ảnh trong SEM .............................................. 10
2.2.3. Một số phép phân tích trong SEM .................................................................. 11
2.2.4. Ưu điểm của kính hiển vi điện tử quét ........................................................... 12
2.3. Kính hiển vi điện tử truyền qua (TEM) ............................................................. 12
2.3.1. Lịch sử về kính hiển vi điện tử truyền qua ..................................................... 12
2.3.2. Cấu tạo và nguyên lý làm việc của kính hiển vi điện tử truyền qua. ............. 13
2.3.2.1. Súng phóng điện tử ..................................................................................... 13
2.3.2.2. Các hệ thấu kính và lăng kính ..................................................................... 15
2.3.2.3. Các khẩu độ ................................................................................................. 17
2.3.3. Sự tạo ảnh trong tem ....................................................................................... 18
2.3.3.1. Bộ phận ghi nhận và quan sát ảnh ............................................................... 19
2.3.3.2. Điều kiện tương điểm ................................................................................. 20
SVTT: Nguyễn Vủ Linh


2.4.3. Các chế độ ghi ảnh .......................................................................................... 32
2.4.3.1. Chế độ tiếp xúc (chế độ tĩnh)...................................................................... 32
2.4.3.2. Chế độ không tiếp xúc (chế độ động) .......................................................... 32
2.4.3.3. Tapping mode .............................................................................................. 32
2.4.4. Phân tích phổ AFM ........................................................................................ 32
2.4.5. Ưu điểm và nhược điểm ................................................................................. 33
2.4.5.1 Ưu điểm ........................................................................................................ 33
SVTT: Nguyễn Vủ Linh

GVHD: Ths.GVC. Hoàng Xuân Dinh
iv


Các loại kính hiển vi điện tử và ứng dụng
2.4.5.2. Nhược điểm.................................................................................................. 33
Chương 3: ỨNG DỤNG CỦA KÍNH HIỂN VI ĐIỆN TỬ TRONG
KHOA HỌC VÀ TRONG ĐỜI SỐNG .................................................................... 34
3.1. Quan sát vật liệu nano bằng kính hiển vi điện tử truyền qua ............................ 34
3.1.1. Giới thiệu chung ............................................................................................. 34
3.1.2. Phương pháp chuẩn bị mẫu ........................................................................... 35
3.1.2.1. Chuẩn bị màng đỡ ....................................................................................... 35
3.1.2.2. Đưa mẫu lên lưới ......................................................................................... 35
3.1.2.3. Mẫu nano composit ..................................................................................... 36
3.1.2.4. Ống nano, xốp, màng mỏng ......................................................................... 36
3.1.3. Kết quả chứng minh ........................................................................................ 37
3.1.3.1. Hạt nano ...................................................................................................... 37
3.1.3.2 Vật liệu cấu trúc nano ................................................................................... 38
3.1.3.3. Ống cacbon và xúc tác ................................................................................. 39
3.2. Ứng dụng của kính hiển vi TUNNEL ............................................................... 40
3.3. Ứng dụng của AFM ........................................................................................... 41

sử dụng của từng loại kính Hiển Vi Điện Tử như thế nào ? Vì lẽ đó nên em chọn đề tài
nghiên cứu : “Các loại kinh hiển vi điện tử và ứng dụng”.

2. MỤC ĐÍCH CHỌN ĐỀ TÀI
- Tìm hiểu chung về kính hiển vi.
- Nghiên cứu về kính hiển vi điện tử, các loại kính hiển vi điện tử.
- Tìm hiểu ứng dụng của kính hiển vi điện tử trong nghiên cứu khoa học và trong
đời sống.

3. GIỚI HẠN CỦA ĐỀ TÀI
Kính hiển vi điện tử là một loại kính được ứng dụng rộng rãi trong nhiều lĩnh vực
khoa học và đời sống, đặt biệt là trong thế giới vi mô. Việc đi sâu vào nghiên cứu cần rất
nhiều thời gian và công sức. Mặt khác, do không có điều kiện tiếp xúc trực tiếp với kính
nên em không thể tìm hiểu trực quan từng bộ phận bên trong cũng như không thể thao tác
trên kính. Và mục đích của đề tài này là cung cấp cho người đọc một cái nhìn khái quát
SVTT: Nguyễn Vủ Linh

GVHD: Ths.GVC. Hoàng Xuân Dinh
1


Các loại kính hiển vi điện tử và ứng dụng
về kinh hiển vi điện tử, cũng như tầm quan trọng của việc ứng dụng kính hiển vi điện tử
trong khoa học và đời sống. Vì những hạn chế trên mà đề tài này chỉ dừng lại ở mức độ
tìm hiểu mang tính chất sách vở chứ không phải là thực tế.

4. PHƢƠNG PHÁP VÀ PHƢƠNG TIỆN THỰC HIỆN ĐỀ TÀI
Phương pháp: sưu tầm, phân tích các dữ liệu có trong sách tham khảo, các tài liệu
trên internet. Trao đổi với giáo viên hướng dẫn, với các bạn cùng lớp. Tổng hợp tài liệu
có được sau đó sắp xếp và viết lại thành một bài luận văn hoàn chỉnh.

+ Các cấu trúc của kính hiển vi quang học tiếp tục được phát triển tiếp theo đó, và
kính hiển vi chỉ được sử dụng một cách phổ biến hơn ở Italia, Anh quốc, Hà Lan vào
những năm 1660, 1670. Marcelo Malpighi ở Italia bắt đầu sử dụng kính hiển vi để nghiên
cứu cấu trúc sinh học ở phổi. Đóng góp lớn nhất thuộc về nhà phát minh người Hà
Lan Antoni van Leeuwenhoek, người đã phát triển kính hiển vi để tìm ra tế bào hồng
cầu và tinh trùng và đã công bố các phát hiện này. Các phát triển ban đầu về kính hiển vi
là thiết bị quang học sử dụng ánh sáng khả kiến và các thấu kính thủy tinh để quan sát.
+ Đầu thế kỷ 20, kỹ thuật hiển vi tạo sự nhảy vọt với sự ra đời của các kính hiển vi
điện tử, mà mở đầu là kính hiển vi điện tử truyền qua được phát minh năm 1931 bởi Max
Knoll và Ernst Ruska ở Đức , và sau đó là sự ra đời của kính hiển vi điện tử quét...
Cuối thế kỷ 20, một loạt các kỹ thuật hiển vi khác được phát triển như kính hiển vi quét
đầu dò, hiển vi quang học trường gần...

SVTT: Nguyễn Vủ Linh

GVHD: Ths.GVC. Hoàng Xuân Dinh
3


Các loại kính hiển vi điện tử và ứng dụng

Hình 1.1: Sơ đồ so sánh nguyên lý một số loại kính hiển vi phổ biến hiện nay.

SVTT: Nguyễn Vủ Linh

GVHD: Ths.GVC. Hoàng Xuân Dinh
4


Các loại kính hiển vi điện tử và ứng dụng

+ Thị kính là thấu kính tạo ảnh quan sát cuối cùng;
+ Hệ ghi ảnh.
Trên nguyên lý, kính hiển vi quang học có thể tạo độ phóng đại lớn tới vài ngàn lần,
nhưng độ phân giải của các kính hiển vi quang học truyền thống bị giới hạn bởi hiện
tượng nhiễu xạ ánh sángvà cho bởi:

với

là bước sóng ánh sáng, NA là thông số khẩu độ. Vì thế, độ phân giải của các

kính hiển vi quang học tốt nhất chỉ vào khoảng vài trăm nm.
1.2.2. Kính hiển vi quang học quét trƣờng gần
Kính hiển vi quang học quét trường gần (tiếng Anh: Near-field scanning optical
microscope) là một kỹ thuật kỹ thuật hiển vi quang học cho phép quan sát cấu trúc bề mặt
với độ phân giải rất cao, vượt qua giới hạn nhiễu xạ ánh sáng khả kiến ở các kính hiển vi
quang học truyền thống (trường xa). Kỹ thuật này được thực hiện bằng cách đặt một
detector rất gần với bề mặt của mẫu vật để thu các tín hiệu từ trường phù du của sóng ánh
sáng phát ra khi quét một chùm sáng trên bề mặt của mẫu vật. Với kỹ thuật này, người ta
có thể chụp ảnh bề mặt với độ phân giải ngang cỡ 20 nm, phân giải đứng cỡ 2-5 nm, và
chỉ phụ thuộc vào kích thước của khẩu độ .
1.2.3. Kính hiển vi điện tử
Là nhóm kỹ thuật hiển vi mà ở đó nguồn bức xạ ánh sáng được thay thế bằng các
chùm điện tử hẹp được tăng tốc dưới hiệu điện thế từ vài chục kV đến vài trăm kV. Thay
vì sử dụng thấu kính thủy tinh, kính hiển vi điện tử sử dụng các thấu kính từ để hội tụ
chùm điện tử, và cả hệ được đặt trong buồng chân không cao. Có nhiều loại kính hiển vi
điện tử khác nhau, tùy thuộc vào cách thức tương tác của chùm điện tử với mẫu vật
như kính hiển vi điện tử truyền qua sử dụng chùm điện tử chiếu xuyên qua vật, hay kính
hiển vi điện tử quét sử dụng chùm điện tử quét trên vật.
Kính hiển vi điện tử có độ phân giải giới hạn bởi bước sóng của sóng điện tử, nhưng
do sóng điện tử có bước sóng rất ngắn nên chúng có độ phân giải vượt xa các kính hiển vi


minh

của Gerd

Binnig và Heinrich

Rohrer (IBM Zürich) về kính hiển vi quét chui hầm (cả hai đã giành giải Nobel Vật
lý năm 1986 cho phát minh này). Khác với các loại kính hiển vi khác như quang học, hay
hiển vi điện tử, kính hiển vi quét đầu dò không sử dụng nguồn bức xạ để tạo ảnh, mà tạo
ảnh thông qua tương tác giữa đầu dò và bề mặt của mẫu vật. Do đó, độ phân giải của kính
hiển vi đầu dò chỉ bị giới hạn bởi kích thước của đầu dò.

SVTT: Nguyễn Vủ Linh

GVHD: Ths.GVC. Hoàng Xuân Dinh
7


Các loại kính hiển vi điện tử và ứng dụng

Chƣơng 2: CÁC LOẠI KÍNH HIỂN VI ĐIỆN TỬ
2.1. TỪ KÍNH HIỂN VI QUANG HỌC ĐẾN KÍNH HIỂN VI ĐIỆN TỬ
Lovenhuc là người đột phá, ghép hai thấu kính lại thành chiếc kính hiển vi đầu tiên,
giúp khám phá ra vi trùng, sau gần 100 năm cải tiến, kính hiển vi quang học trước đây
phóng đại 100 lần nay đã lên đến 1000 lần, và lý thuyết cho biết là kính hiển vi dùng ánh
sáng chỉ có thể phóng đại tới mức đó. Thay ánh sáng bằng tia điện tử, thay thấu kính thủy
tinh bằng thấu kính điện tử, kính hiển vi điện tử truyền qua cho độ phóng đại cỡ 1 triệu
lần. Song vì bắt trước cách phóng đại ghép thấu kính nên kính hiển vi điện tử có nhiều
hạn chế. Kính hiển vi điện tử quét vẫn dùng tia điện tử nhưng phóng đại bằng phương

hệ thống các cuộn quét điện từ đặt giữa thấu kính thứ hai và thứ ba, và ghi nhận chùm
điện tử thứ cấp bằng một ống nhân quang điện.
Năm 1948, C. W. Oatley ở Đại học Cambridge (Vương quốc Anh) phát triển kính
hiển vi điện tử quét trên mô hình này và công bố trong luận án tiến sĩ của D. McMullan
với chùm điện tử hẹp có độ phân giải đến 500 Angstrom. Trên thực tế, kính hiển vi điện
tử quét thương phẩm đầu tiên được sản xuất vào năm 1965 bởi Cambridge Scientific
Instruments Mark I. Sau đây là sơ đồ khối của kính hiển vi quét (hình 2.1)

Hình 2.1: Sơ đồ khối kính hiển vi điện tử quét

SVTT: Nguyễn Vủ Linh

GVHD: Ths.GVC. Hoàng Xuân Dinh
9


Các loại kính hiển vi điện tử và ứng dụng

2.2.2 Nguyên lý hoạt động và sự tạo ảnh trong SEM
Việc phát các chùm điện tử trong SEM cũng giống như việc tạo ra chùm điện tử
trong kính hiển vi điện tử truyền qua, tức là điện tử được phát ra từ súng phóng điện tử (có
thể là phát xạ nhiệt, hay phát xạ trường...), sau đó được tăng tốc. Tuy nhiên, thế tăng tốc
của SEM thường chỉ từ 10 kV đến 50 kV vì sự hạn chế của thấu kính từ, việc hội tụ các
chùm điện tử có bước sóng quá nhỏ vào một điểm kích thước nhỏ sẽ rất khó khăn. Điện
tử được phát ra, tăng tốc và hội tụ thành một chùm điện tử hẹp (cỡ vài trăm Angstrong
đến vài nanomet) nhờ hệ thống thấu kính từ, sau đó quét trên bề mặt mẫu nhờ các cuộn
quét tĩnh điện. Độ phân giải của SEM được xác định từ kích thước chùm điện tử hội tụ,
mà kích thước của chùm điện tử này bị hạn chế bởi quang sai, chính vì thế mà SEM
không thể đạt được độ phân giải tốt như TEM. Ngoài ra, độ phân giải của SEM còn phụ
thuộc vào tương tác giữa vật liệu tại bề mặt mẫu vật và điện tử. Khi điện tử tương tác với

liệu. Các phép phân tích có thể là phổ tán sắc năng lượng tia X (Energy Dispersive X-ray
Spectroscopy - EDXS) hayphổ tán sắc bước sóng tia X (Wavelength Dispersive X-ray
Spectroscopy - WDXS)...
- Một số kính hiển vi điện tử quét hoạt động ở chân không siêu cao có thể phân tích
phổ điện tử Auger, rất hữu ích cho các phân tích tinh tế bề mặt.
- SEMPA (Kính hiển vi điện tử quét có phân tích phân cực tiếng Anh: Scanning Electron
Microscopy with Polarisation Analysis) là một chế độ ghi ảnh của SEM mà ở đó, các
điện tử thứ cấp phát ra từ mẫu sẽ được ghi nhận nhờ một detector đặc biệt có thể tách các
điện tử phân cực spin từ mẫu, do đó cho phép chụp lại ảnh cấu trúc từ của mẫu. Hình 2.2
Thiết bị kính hiển vi điện tử quét Jeol 5410 LV tại Trung tâm Khoa học Vật liệu, Đại học
Quốc gia Hà Nội

Hình 2.2: Thiết bị kính hiển vi điện tử quét Jeol 5410 LV
tại Trung tâm Khoa học Vật liệu, Đại học Quốc gia Hà Nội
SVTT: Nguyễn Vủ Linh

GVHD: Ths.GVC. Hoàng Xuân Dinh
11


Các loại kính hiển vi điện tử và ứng dụng
2.2.4. Ƣu điểm của kính hiển vi điện tử quét
Mặc dù không thể có độ phân giải tốt như kính hiển vi điện tử truyền qua nhưng
kính hiển vi điện tử quét lại có điểm mạnh là phân tích mà không cần phá hủy mẫu vật và
có thể hoạt động ở chân không thấp. Một điểm mạnh khác của SEM là các thao tác điều
khiển đơn giản hơn rất nhiều so với TEM khiến cho nó rất dễ sử dụng. Một điều khác là
giá thành của SEM thấp hơn rất nhiều so với TEM, vì thế SEM phổ biến hơn rất nhiều so
với TEM.

2.3. KÍNH HIỂN VI ĐIỆN TỬ TRUYỀN QUA (TEM)

ở Khoa Vật lý và Thiên văn, Đại học Glasgow
2.3.2. Cấu tạo và nguyên lý làm việc của kính hiển vi điện tử truyền qua.
2.3.2.1. Súng phóng điện tử (hình 2.4)

Hình 2.4: Cấu tạo của súng phóng điện tử.
SVTT: Nguyễn Vủ Linh

GVHD: Ths.GVC. Hoàng Xuân Dinh
13


Các loại kính hiển vi điện tử và ứng dụng
Trong TEM, điện tử được sử dụng thay cho ánh sáng (trong kính hiển vi quang
học). Điện tử được phát ra từ súng phóng điện tử. Có hai cách để tạo ra chùm điện tử:
- Sử dụng nguồn phát xạ nhiệt điện tử: Điện tử được phát ra từ một catốt được đốt
nóng (năng lượng nhiệt do đốt nóng sẽ cung cấp cho điện tử động năng để thoát ra khỏi
liên kết với kim loại. Do bị đốt nóng nên súng phát xạ nhiệt thường có tuổi thọ không cao
và độ đơn sắc của chùm điện tử thường kém. Nhưng ưu điểm của nó là rất rẻ tiền và
không đòi hỏi chân không siêu cao. Các chất phổ biến dùng làm catốt là W, Pt,LaB6...
- Sử dụng súng phát xạ trường (Field Emission Gun, các TEM sử dụng nguyên lý
này thường được viết là FEG TEM): Điện tử phát ra từ catốt nhờ một điện thế lớn đặt vào
vì thế nguồn phát điện tử có tuổi thọ rất cao, cường độ chùm điện tử lớn và độ đơn sắc rất
cao, nhưng có nhược điểm là rất đắt tiền và đòi hỏi môi trường chân không siêu cao.
- Sau khi thoát ra khỏi catốt, điện tử di truyển đến anốt rỗng và được tăng tốc dưới
thế tăng tốc V (một thông số quan trọng của TEM). Lúc đó, điện tử sẽ thu được một động
năng:

- Và xung lượng p sẽ được cho bởi công thức:

SVTT: Nguyễn Vủ Linh

nóng lên do đó cần được làm lạnh bằng nước hoặc nitơ lỏng. Trong TEM, có nhiều thấu
kính có vai trò khác nhau:
Hệ kính hội tụ và tạo chùm tia song song (Condenser lens): Đây là hệ thấu kính có
tác dụng tập trung chùm điện tử vừa phát ra khỏi súng phóng và điều khiển kích thước
cũng như độ hội tụ của chùm tia. Hệ hội tụ C1 có vai trò điều khiển chùm tia vừa phát ra
khỏi hệ phát điện tử được tập trung vào quỹ đạo của trục quang học. Khi truyền đến hệ
C2, chùm tia sẽ được điều khiển sao cho tạo thành chùm song song (cho các CTEM)
hoặc thành chùm hội tụ hẹp (cho các STEM, hoặc nhiễu xạ điện tử chùm tia hội tụ) nhờ
việc điều khiển dòng qua thấu kính hoặc điều khiển độ lớn của khẩu độ hội tụ C2.

Hình 2.6: Nguyên lý ghi ảnh trường sáng và trường tối trong TEM
Vật kính (Objective lens): Là thấu kính ghi nhận chùm điện tử đầu tiên từ mẫu vật
và luôn được điều khiển sao cho vật sẽ ở vị trí có khả năng lấy nét khi độ phóng đại của
hệ được thay đổi. Vật kính có vai trò tạo ảnh, việc điều chỉnh lấy nét được thực hiện bằng
cách thay đổi dòng điện chạy qua cuộn dây, qua đó làm thay đổi tiêu cực của thấu kính.
Thấu kính nhiễu xạ (Diffraction lens): Có vai trò hội tụ chùm tia nhiễu xạ từ các góc
khác nhau và tạo ra ảnh nhiễu xạ điện tử trên mặt phẳng tiêu của thấu kính.

SVTT: Nguyễn Vủ Linh

GVHD: Ths.GVC. Hoàng Xuân Dinh
16


Các loại kính hiển vi điện tử và ứng dụng
Thấu kính Lorentz (Lorentz lens, twin lens): Được sử dụng trong kính hiển vi
Lorentz để ghi ảnh cấu trúc từ của vật rắn. Thấu kính Lorentz khác vật kính thông thường
ở việc nó có tiêu cự lớn hơn và vị trí lấy nét (in focus) là vị trí mà các chùm tia điện tử
truyền qua hội tụ tại mặt phẳng tiêusau, trùng với mặt phẳng khẩu độ vật kính. Thấu kính
Lorentz thường bị đặt xa để đủ khả năng ghi góc lệch do từ tính (vốn rất nhỏ).

ảnh quang học là độ tương phản khác so với ảnh trong kính hiển vi quang học và các loại
kính hiển vi khác. Nếu như ảnh trong kính hiển vi quang học có độ tương phản chủ yếu
đem lại do hiệu ứng hấp thụ ánh sáng thì độ tương phản của ảnh TEM lại chủ yếu xuất
phát từ khả năng tán xạ điện tử. Các chế độ tương phản trong TEM:

SVTT: Nguyễn Vủ Linh

GVHD: Ths.GVC. Hoàng Xuân Dinh
18


Các loại kính hiển vi điện tử và ứng dụng

Hình 2.8: Ảnh trường sáng (a) và trường tối mẫu hợp kim FeSiBNbCu.
Tương phản biên độ: Đem lại do hiệu ứng hấp thụ điện tử (do độ dày, do thành phần
hóa học) của mẫu vật.
Tương phản pha: Có nguồn gốc từ việc các điện tử bị tán xạ dưới các góc khác nhau.
Tương phản nhiễu xạ: Liên quan đến việc các điện tử bị tán xạ theo các hướng khác
nhau do tính chất của vật rắn tinh thể.
2.3.3.1. Bộ phận ghi nhận và quan sát ảnh
Khác với kính hiển vi quang học, TEM sử dụng chùm điện tử thay cho nguồn sáng
khả kiến nên cách quan sát ghi nhận cũng khác. Để quan sát ảnh, các dụng cụ ghi nhận
phải là các thiết bị chuyển đổi tín hiệu, hoạt động dựa trên nguyên lý ghi nhận sự tương
tác của điện tử với chất rắn.
Màn huỳnh quang và phim quang học: Là dụng cụ ghi nhận điện tử dựa trên nguyên
lý phát quang của chất phủ trên bề mặt. Trên bề mặt của màn hình, người ta phủ một lớp
vật liệu huỳnh quang. Khi điện tử va đập vào màn hình, vật liệu sẽ phát quang và ảnh
được ghi nhận thông qua ánh sáng phát quang này. Cũng tương tự nguyên lý này, người
ta có thể sử dụngphim ảnh để ghi lại ảnh và ảnh ban đầu được lưu dưới dạng phim âm
bản và sẽ được tráng rửa sau khi sử dụng.

điểm sẽ có thể dẫn đến việc ảnh có thể bị bóp méo, không thể lấy nét hoặc độ phân giải
rất kém. Đặc biệt ở chế độ ghi ảnh có độ phân giải cao, yêu cầu về độ tương điểm càng
lớn.
2.3.3.3. Ảnh trường sáng, trường tối
Là chế độ ghi ảnh phổ thông của các TEM dựa trên nguyên lý ghi nhận các chùm tia
bị lệch đi với các góc (nhỏ) khác nhau sau khi truyền qua mẫu vật.
Ảnh trường sáng (Bright-field imaging): Là chế độ ghi ảnh mà khẩu độ vật kính sẽ
được đưa vào để hứng chùm tia truyền theo hướng thẳng góc. Như vậy, các vùng mẫu
SVTT: Nguyễn Vủ Linh

GVHD: Ths.GVC. Hoàng Xuân Dinh
20