LỜI CẢM ƠN
Tôi xin bày tỏ sự cảm ơn sâu sắc tới T.S Nguyễn Hữu Tình về sự chỉ bảo,
hướng dẫn tận tình của thầy trong suốt thời gian tôi thực hiện luận văn.
Tôi cũng gửi lời cảm ơn chân thành tới PGS. TS Nguyễn Huy Dân cùng các
cán bộ, nghiên cứu sinh, học viên cao học trong Viện Khoa học Vật liệu, Viện Khoa
học và Công nghệ Việt Nam. Tôi cũng gửi lời cảm ơn tới Thầy Phạm Văn Hào cùng
các cán bộ trong Trung tâm Hỗ trợ nghiên cứu khoa học và Ứng dụng công nghệ
Trường đại học sư phạm Hà Nội 2, đã tạo điều kiện giúp đỡ tôi tiến hành thí nghiệm
khi thực hiện luận văn.
Tôi xin bày tỏ lòng biết ơn đến tới tất cả những người thân yêu trong gia đình
cùng bạn bè đã cổ vũ, động viên tôi rất nhiều về vật chất và tinh thần trong thời gian
thực hiện luận văn này.

Tôi xin chân thành cảm ơn! BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO
TRƯỜNG ĐẠI HỌC SƯ PHẠM HÀ NỘI 2


Trường đại học sư phạm Hà Nội 2, đã tạo điều kiện giúp đỡ tôi tiến hành thí nghiệm
khi thực hiện luận văn.
Tôi xin bày tỏ lòng biết ơn đến tới tất cả những người thân yêu trong gia đình
cùng bạn bè đã cổ vũ, động viên tôi rất nhiều về vật chất và tinh thần trong thời gian
thực hiện luận văn này.

Tôi xin chân thành cảm ơn!
LỜI CAM ĐOAN

Tôi xin cam đoan rằng số liệu và kết quả nghiên cứu trong luận văn này là
trung thực và không trùng lặp với các đề tài khác. Tôi cũng xin cam đoan rằng mọi
sự giúp đỡ cho việc thực hiện luận văn này đã được cảm ơn và các thông tin trích
dẫn trong luận văn đã được chỉ rõ nguồn gốc.

Tác giả luận văn

1.1 Vật liệu từ mềm nano tinh thể 11
1.1.1 Cấu trúc nano tinh thể 11
1.1.2 Các tính chất từ của vật liệu từ nano 12
1.1.3 Ảnh hưởng của thành phần các nguyên tố và quá trình xử lý nhiệt lên
tính chất từ của hệ vật liệu Fe – Cu – Nb – Si –B 15
1.2 Hiệu ứng từ tổng trở khổng lồ (GMI) 17
1.2.1 Giới thiệu về hiệu ứng GMI 17
1.2.2 Cấu trúc đômen của vật dẫn từ tổng trở 19
1.2.3 Mô hình giải thích hiệu ứng tổng trở khổng lồ- GMI 22
1.3 Ảnh hưởng của thông số đo đến tỷ số GMI 27
1.3.1 Cường độ dòng điện chạy qua mẫu 27
1.3.2 Tần số dòng đo 27
1.3.3 Nhiệt độ đo 28
1.4. Công nghệ nguội nhanh 29
1.4.1 Các phương pháp nguội nhanh chế tạo vật liệu dưới dạng băng mỏng 30
1.4.2 Tốc độ nguội của hợp kim nóng chảy 30
1.4.3 Tốc độ nguội tới hạn 32
CHƯƠNG 2: THỰC NGHIỆM CHẾ TẠO MẪU 35
2.1. Chế tạo mẫu hợp kim 36
2.1.1. Công nghệ chế tạo các vật liệu có cấu trúc vô định hình bằng thiết bị
nguội nhanh đơn trục 36
2.1.1.1. Tạo hợp kim ban đầu 37
2.1.1.2 Phun hợp kim nóng chảy tạo vật liệu ở dạng băng mỏng 40
2 2.1.2 Kỹ thuật gia công mẫu 41
2.1.3 Xử lý nhiệt bằng lò ủ nhiệt 41
2.2. Phương pháp phân tích 42
2.2.1. Phương pháp nhiễu xạ tia X – XRD (X ray diffraction) 42

Cu
1
Nb
x
Si
13,5
B
9
56
3.2.2. Nghiên cứu ảnh hưởng của chế độ ủ nhiệt đến tính chất từ của hợp
kim Fe
76,5-x
Cu
1
Nb
x
Si
13,5
B
9
59
3.3. Nghiên cứu hiệu ứng GMI trên hệ hợp kim Fe
76,5-x
Cu
1
Nb
x
Si
13,5
B

I. DANH MỤC CÁC KÝ HIỆU
B
r

:
Cảm ứng từ dư

s
:
Từ giảo bão hòa

:
Năng lượng của mỗi đơn vị diện tích trên vách đômen

:
Độ dày vách đômen

0

:
Độ từ thẩm của chân không
D
:
Hệ số khử từ
E
k

:
Năng lượng dị hướng từ tinh thể
H

r
:
Từ độ dư
k
B
:

Hằng số Boltzmann
m
r
:
Từ độ rút gọn
M
S

:
Từ độ bão hòa
N
:
Hệ số khử từ
R
C

:
Tốc độ nguội tới hạn
S
:
Spin của nguyên tử kim loại chuyển tiếp
S
v

Thời gian ủ nhiệt 4 II. DANH MỤC CÁC CHỮ VIẾT TẮT
GMI
: Giant Magneto Impedan
Hiệu ứng từ tổng trở khổng lồ
GMIr
: Giant Magneto Impedan ratio
Tỷ số từ tổng trở khổng lồ
L
:
Lỏng
LQN
:
Lỏng quá nguội
RE
:
Đất hiếm
SAED
:
Nhiễu xạ điện tử vùng chọn lọc
TEM
:
Kính hiển vi điện tử truyền qua
TM
:

Hình 1.5 Mối liên hệ giữa độ từ thẩm và độ thấm sâu bề mặt với từ trường ngoài
Hình1.6 Mô hình đơn giản của domain lõi vỏ
Hình 1.7 Cấu trúc domain trong lõi và vỏ
Hình 1.8 Cấu trúc domain của dây vô định hình nền Co khi có dòng xoay chiều và
từ trường một chiều
Hình1.9. Mô hình tính toán giải thích hiệu ứng tổng trở khổng lồ
Hình 1.10 Hình dạng đường cong GMI có hiện tượng tách đỉnh
Hình 1.11 Mô hình dị hướng giải thích hiện tượng tách đỉnh
Hình 1.12 Đồ thị

t
theo h ứng với các giá trị

K
khác nhau
Hình 1.13 Tỷ số GMIr của băng vô định hình nền Co theo cường độ dòng điện.
Hình 1.14 Tỷ số GMIr của băng nano tinh thể Fe
71
Al
2
Si
14
B
8,5
Cu
1
Nb
3,5
phụ thuộc
tần số.

Hình 2.6 Sơ đồ nguyên lý kính hiển vi điện tử quét SEM.
Hình 2.7 a) là sơ đồ cung cung cấp nhiệt của DSC loại thông lượng nhiệt; b) là
loại bổ chính công suất.
Hình 2.8 Sơ đồ khối hệ đo GMI.
Hình 3.1 Ảnh chụp bề mặt băng và giản đồ EDX của mẫu N2.
Hình 3.2 Giản đồ nhiễu xạ tia X của các mẫu Fe
76,5-x
Cu
1
Nb
x
Si
13,5
B
9
vừa chế tạo
xong.
Hình 3.3 Giản đồ nhiễu xạ tia X của các mẫu Fe
76,5-x
Cu
1
Nb
x
Si
13,5
B
9
sau khi ủ 15
phút trong nhiệt độ 540
0

9
ủ trong 15 phút ở
các nhiệt độ ủ khác nhau.
Hình 3.7 Đường cong từ hóa của mẫu chưa ủ.
Hình 3.8 Sự phụ thuộc của Hc vào hàm lượng Nb mẫu chưa ủ.
Hình 3.9 Sự phụ thuộc của từ độ bão hòa M
s
vào hàm lượng Nb mẫu chưa ủ.
Hình 3.10 Sự phụ thuộc của từ độ dư M
r
vào hàm lượng Nb mẫu chưa ủ.
Hình 3.11 Đường cong từ hóa của mẫu Finmet ủ ở nhiệt độ 540
0
C.
Hình 3.12 Sự phụ thuộc của Hc vào hàm lượng Nb mẫu ủ ở nhiệt độ 540
0
C.
Hình 3.13 Sự phụ thuộc của từ độ bão hòa M
s
vào hàm lượng Nb mẫu ủ ở 540
0
C.
Hình 3.14 Sự phụ thuộc của từ độ dư M
r
vào hàm lượng Nb mẫu ủ ở 540
0
C.
Hình 3.15 Đường cong từ hóa của mẫu N
3
ủ ở 540

C.
Hình 3.28 Tỷ số GMI cực đại theo thời gian ủ mẫu (nhiệt độ ủ: 540
0
C). 8 DANH MỤC CÁC BẢNG
Bảng 1.1. Vận tốc nguội tới hạn R
C

Nb
x
Si
13,5
B
9
) ủ ở nhiệt độ
540
0
C theo thời gian ủ.
9 MỞ ĐẦU
1. Lý do chọn đề tài

từ tổng trở khổng lồ (GMI) đạt cao nhất.
3. Nhiệm vụ nghiên cứu
- Chế tạo mẫu vật liệu finemet bằng công nghệ nguội nhanh.
- Nghiên cứu cấu trúc, tính chất từ của các mẫu đã được chế tạo.
- Khảo sát hiệu ứng GMI trên các mẫu đã được chế tạo.
4. Đối tượng và phạm vi nghiên cứu
- Hệ vật liệu Fe
76.5-x
Cu
1
Nb
x
Si
13.5
B
9
trong đó thành phần Nb thay đổi với x =
0, 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7.
5. Phương pháp nghiên cứu
Sử dụng công nghệ nguội nhanh để chế tạo hợp kim VĐH rồi xử lý nhiệt
trong môi trường khí bảo vệ để tạo ra cấu trúc nano đa pha, sau đó sử dụng các
phương pháp đo thích hợp để xác định các thông số cấu trúc, tính chất từ cũng như
khảo sát hiệu ứng GMI của mẫu vật liệu.
6. Giả thuyết khoa học
Đề xuất hướng ứng dụng của vật liệu này trong kỹ thuật và đời sống.
1-x
Si
x
Cu

(Fe
1-y
Nb
y
)
2
B
Nền VĐH
12 cho là gồm các hạt tinh thể α – Fe(Si) siêu mịn (10 – 15 nm) được phân bố trong
nền vô định hình còn dư[19]. Loại vật liệu này có tính từ mềm rất tốt, từ đó quyết
định các tính chất vật lý, các hiệu ứng khác của hệ vật liệu này. Xét với hệ vật liệu
Fe – Cu – Nb – B – Si, có các đặc trưng về cấu trúc được mô tả như trên hình 1.1.
Hệ vật liệu này, theo [2, 5] chủ yếu được cấu tạo bởi hai pha: “hạt” tinh thể α
– Fe(Si) và nền vô định hình dư với công thức hỗn hợp có dạng (Fe
1-y
Nb
y
)
2
B. Với
các hệ giàu Cu, còn quan sát thấy các đám nhỏ giàu Cu.
1.1.2 Các tính chất từ của vật liệu từ nano

21
.
0
.
0
1
. 




(1.1)
K
1
:

dị hướng từ tinh thể, 
S
: hằng
số từ giảo, N
1,
N
2
hệ số khử từ, I
S
:Từ độ
Như vậy, để H
C
nhỏ, dị hướng từ
K

Fe và bao quanh là vùng giàu Cu, Nb, B. Nhiệt độ kết tinh phụ thuộc mạnh vào
thành phần, vì vậy vùng giàu Fe có nhiệt độ kết tinh T
1
nhỏ hơn nhiệt độ kết tinh T
2

của vùng giàu Cu, Nb và B. Vì vậy nếu chọn nhiệt độ nung là T
a
sao cho T
1
<T
a
<
T
2
, thì quá trình kết tinh chỉ có thể xảy ra tại vùng giàu Fe, kết quả là tại đó xuất
hiện tinh thể lập phương tâm khối -Fe(Si), trong đó Fe và Si tạo thành siêu cấu
trúc (gần pha trật tự). Bao quanh hạt tinh thể -Fe(Si) này là vùng giàu Cu, Nb, B
gần với công thức hợp phức (Fe-Nb-Cu)
2
B với nhiệt độ kết tinh cao và vì vậy
không kết tinh, trạng thái vô định hình được giữ nguyên. Vì vậy tinh thể -Fe(Si) bị
bao bởi một lớp vô định hình, không thể phát triển được, kích thước của chúng bị
giới hạn trong vòng vài chục nano mét. Kết quả là, bằng cách kết tinh chọn lọc hợp
kim vô định hình bị phân huỷ tạo ra các hạt tinh thể -Fe(Si) kích thước nano met
và pha vô định hình còn dư, tức là tạo ra được cấu trúc nano-đa pha:
vô định hình  vô định hình (dư) + -Fe(Si)
Khi kích thước D của các hạt tinh thể giảm, biên giới giữa chúng tăng, lớp
biên giới đó cũng được coi như pha vô định hình dư. Như vậy, hạt tinh thể càng nhỏ
bao nhiêu thì pha tinh thể càng ít bấy nhiêu. Từ mô hình hình học có thể xác định

Hình 1.3 Vật liệu Fe-Cu-Nb-B-Si, ủ tại 550
0
C, 15 ph.
Ảnh TEM, kỹ thuật trường tối và nhiễu xạ điện tử
khẳng định cấu trúc nano, đa pha của mẫu.


-Fe particles
D~30 nm

-Fe(Si)

14 dị hướng từ tinh thể đối với Fe-20%Si), dưới ảnh hưởng của sự cạnh tranh giữa
tương tác trao đổi và dị hướng, các mô men từ không nhất thiết phải định hướng
theo phương dễ từ hoá của từng hạt tinh thể vốn sắp xếp ngẫu nhiên, mà có thể định
hướng song song nhau nhờ vào tương tác trao đổi và liên kết từ với nhau.
Dị hướng trung bình <K> của tập thể các hạt sắt từ N có thể viết dưới dạng:

3
0
1
;
L
K
KN
D
N

SS
KK
K
K D H D
A J J A

   
(1.3)
Nếu D 10 nm, <K> giảm từ 8000 J/m
3
xuống

còn 4 J/m
3
. Khi đó lực kháng
từ H
C
và độ từ thẩm ban đầu µ
i
bằng:

2 2 3
46
0 0 1
1
SS
i
j J A
K K D


như dị hướng từ tinh thể K
1
, dị hướng đàn hồi K
a
làm tăng lực kháng từ H
C
, vì vậy
cần giảm chúng [7].
Vật liệu nano, đa pha bao gồm các hạt -Fe(Si) được bao bọc bởi pha vô
định hình còn dư. Hằng số từ giảo của pha vô định hình dư khoảng
6
10.20


am
S

và của pha -Fe(Si) khoảng
6
10.5


Fe
S

đối với thành phần Fe-20%Si. Từ giảo
15 tổng cộng của hỗn hợp hai pha đó với các hằng số từ giảo trái dấu nhau được biểu

lượng B, Nb, Cu hòa tan trong tinh thể α – Fe(Si) rất ít, ta có thể coi pha tinh thể chỉ
chứa Fe và Si. Theo các kết quả [19, 20], nồng độ Si ảnh hưởng đến nồng độ Si
trong pha tinh thể, ảnh hưởng đến hằng số mạng, nhiệt độ Curie. Các kết quả cho
thấy Si bão hòa trong hạt α – Fe(Si) khi nồng độ Si trong hợp kim đạt khoảng 20
at%. Kích thước trung bình của hạt α – Fe(Si) cũng tăng theo nồng độ Si. Ngoài ra
Si còn ảnh hưởng đến dị hướng từ tinh thể.
Nồng độ B, theo [2, 18] có tác dụng làm ổn định nền vô định hình. Tuy nhiên
khi xử lý nhiệt ở trên 600
o
C, dẫn đến kết tinh pha borit sắt, ảnh hưởng đến dị hướng
từ tinh thể và trực tiếp đến tính từ mềm của vật liệu do đó sẽ ảnh hưởng đến tỷ số
GMIr.
Các kết quả nghiên cứu về nồng độ Cu trong [2, 18, 19], cho thấy Cu đóng
vai trò cải thiện cơ tính của vật liệu, tạo mầm kết tinh. Tuy nhiên, nếu nồng độ Cu
lớn, sẽ tạo ra các đám giàu Cu, làm giảm tính chất từ của vật liệu, các kết quả cho
thấy nồng độ Cu tối ưu là 1 at%.
Vai trò của Nb trong hợp kim được [2, 18] khẳng định là cản trở sự kết tinh
của các hạt α – Fe(Si), nhờ đó mà các hạt mới được phân bố đồng đều và kích thước
hạt nhỏ, đạt cỡ nanomet. Các nghiên cứu cũng chỉ ra rằng, nếu nồng độ Nb lớn, sẽ
16 làm loãng pha sắt từ dẫn đến tính từ mềm kém đi. Ngoài ra nồng độ Nb cao cũng
gây ảnh hưởng mạnh đến nhiệt độ Curie của vật liệu.
Thành phần: Hạn chế kích thước hạt tinh thể là yêu cầu đầu tiên để vận hành
quy luật H
C


D

Kết quả của các công bố cho thấy ngoài phụ thuộc vào thành phần, nồng độ
các chất, tính chất từ của vật liệu phụ thuộc rất nhiều vào chế độ ủ nhiệt như thời
gian ủ, nhiệt độ ủ. Trong luận văn này chúng tôi nghiên cứu các yếu tố ảnh hưởng
17 đến tính chất từ mềm và do đó ảnh hưởng đến hiệu ứng GMI của hệ Fe
76,5-
x
Cu
1
Nb
x
Si
13,5
B
9
chế tạo bằng công nghệ nguội nhanh.
1.2 Hiệu ứng từ tổng trở khổng lồ (GMI)
1.2.1 Giới thiệu về hiệu ứng GMI
Khi cho dòng điện xoay chiều qua dây dẫn có từ tính, dòng điện này sẽ sinh
một từ trường biến thiên H
t
vuông góc với dây dân (hình 1.4). Từ thông sinh ra do
sự biến thiên của H
t
làm xuất hiện trong dây dẫn dòng điện i
’
cảm ứng có tác dụng
chống lại sự biến thiên của từ trường H

(k

) (1.6)
- R
dc
là điện trở của dây dẫn
-

là bán kính tròn của dây


là độ dày thấm sâu bề mặt
-J
0
và J
1
là các hàm Bessel, và k= (1+j)/


Tại tần số cao, (

k
>>1), biểu thức hàm Bessel được tính gần đúng cho
phép ta tính tổng trở dưới dạng sau:
Z=R + jX, (1.7)
Với
r
o
dc
RXR

là độ dầy thấm sâu :



o
o
2

(1.9)
Từ (1.7) (1.8) (1.9) biến đổi ta có:
Z=(1+J )R
dc
(



r0
)
22
( 1.10)
Với

là điện trở suất và

là tần số góc của dòng điện xoay chiều đặt
vào dây dẫn.
Từ (1.10) thấy tổng trở của một dây dẫn có từ tính phụ thuộc vào: bản chất
của vật liệu làm dây dẫn ().,tần số góc của dòng điện đặt vào dây dẫn () , Độ dầy
thấm sâu bề mặt (


(kOe)

m

a

m

H
ext
= 0
H
ext
0
Hình 1.5 Mối liên hệ giữa độ từ thẩm và độ thấm sâu
bề mặt với từ trường ngoài
19 liệu từ mềm vô định hình và nanô tinh thể có hệ số từ giảo gần như bằng 0.
Ngoài ra hiệu ứng GMI còn liên quan mật thiết đến hiệu ứng bề mặt khi tần
số cao. Khi đi sâu vào trong vật liệu một lớp  (độ thấm sâu), mật độ dòng điện
xoay chiều giảm đi e lần và có thể coi dòng điện chỉ tập trung ở chiều dày  trên bề
mặt dây dẫn. Độ thấm sâu  càng nhỏ (tần số cao) thì tức là dòng điện chỉ phân bố
trên một lớp rất mỏng ở bề mặt dây dẫn và dòng điện càng bị cản trở mạnh (tổng trở
lớn) và ngược lại. Bằng lý thuyết và thực nghiệm thấy  phụ thuộc vào tần số dòng
điện, tính chất từ của vật liệu làm dây dẫn và từ trưòng ngoài đặt vào vật dẫn theo
biểu thức sau:




eff
) của dây dẫn vào từ trường.
1.2.2 Cấu trúc đômen của vật dẫn từ tổng trở
20 Hình 1.7 Cấu trúc domain trong lõi và vỏ
a/Cấu trúc domain nhọn đối song trong lõi
b/Sự phân bố cấu trúc domain trong lõi và vỏ của
dây

Như đã được đề cập ở trên, hiêu ứng từ tổng trở khổng lồ liên quan đến quá
trình từ hoá động của vật dẫn trong từ trường. Quá trình từ hoá này có mối liên hệ
mật thiết với cấu trúc từ vi mô của các vật dẫn từ. Theo các kết quả nghiên cứu, cấu
trúc từ vi mô của vật dẫn từ tổng trở phụ thuộc vào độ từ giảo và các ứng suất nội
cũng như bên ngoài tác động lên vật liệu.
a/ Mô hình cấu trúc domain khi không có từ trường ngoài
Trên hình 1.6 là mô hình
cấu trúc domain của vật dẫn dạng
dây. Có thể thể thấy có hai dạng
cấu trúc chính ứng với các vật
liệu có hằng số khác dấu. Cấu
trúc này bao gồm hai phần là lõi
và vỏ. Với vật liệu có hàng số từ
giảo dương (Hình 1.6 a), domain
lớp vỏ ngoài của dây là có dạng
xuyến tròn được gọi là domain
vòng. Domain vòng này làm xuất
hiện năng lượng khử từ, năng lượng này giảm dần theo chiều từ lớp bề mặt đi vào

suất thay đổi dần từ dạng nén tại bề mặt thành dạng kéo ở lõi của dây. Liu và các
cộng sự cũng mô hình hoá quá trình làm nguội nhanh trong chế tạo vật dẫn dạng
dây. Các kết quả của nhóm này chỉ ra đối với dây đường kính 60µm thì ứng suất
dư ở dạng nén tại bề mặt dây ( ≈ 1200 MPa) khi giảm chiều sâu khoảng 20 µm thì
ứng suất dư dạng nén tiến đến 0, sau đó ứng suất dư dạng nén biến đổi thành ứng
suất dạng kéo và tăng dần giá trị lên khoảng 150MPa khi tiếp tục đi sâu vào trong
lõi của dây khoảng 10 µm .Cuối cùng thì giá trị ứng suất lại giảm dần về 0 tại lõi
của dây. Giá trị cơ bản của mô hình lõi-vỏ đã được xác nhận qua rất nhiều nghiên
cứu thực nghiệm và rất cần thiết trong qúa trình quan sát trực tiếp bề mặt domain.
Tuy nhiên, điểm khó khăn trong quá trình quan sát trực tiếp cấu trúc domain là chỉ
quan sát được cấu trúc domain trên bề mặt của dây (cả dây ban đầu và dây đã qua
xử lí), cấu trúc domain bên trong chỉ có thể được phỏng đoán.
Tuy nhiên có sự thay đổi một chút với các domain song song nhau ở lớp vỏ,
thành phần xoắn của từ độ trong lõi và sự phân bố của các trục dễ trong dây (hình
1.7)
b/ Quá trình từ hoá trong vật dẫn từ
Ở vùng tần số thấp quá trình dịch vách domain ở lớp vỏ chiếm ưu thế hơn
quá trình quay vec tơ từ độ ở domain lõi. Ở tần số cao quá trình dịch vách domain
bị dập tắt bởi dòng xoáy, do đó chỉ còn quá trình quay vectơ từ độ trong domain lõi
22 của dây dẫn dưới tác dụng của từ trường ngoài một chiều. Điều này được phân tích
chi tiết với mô hình lý thuyết giải thich hiệu ứng GMI được trình bày ở phần tiếp
theo sau.
1.2.3 Mô hình giải thích hiệu ứng tổng trở khổng lồ- GMI
Hiệu ứng tổng trở khổng lồ-GMI có ý nghĩa quan trọng trong việc ứng dụng
vật liệu từ vào khoa học kỹ thuật cũng như đời sống hàng ngày. Nên ngay sau khi
được tìm thấy vào năm 1994, có rất nhiều mô hình lý thuyết được đưa ra nhằm giải
thích cơ chế của hiệu ứng. Một số mô hình đã rất thành công, tuy nhiên, mỗi mô