Header Page 1 of 148.
ĐẠI HỌC HUẾ
TRƢỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC
-------------------

ĐẶNG ANH TUẤN

CHẾ TẠO VÀ NGHIÊN CỨU CÁC TÍNH CHẤT VẬT LÝ
CỦA HỆ VẬT LIỆU xBZT (1 x )BCT PHA TẠP

Chuyên ngành: Vật lý Chất rắn
Mã số: 62.44.01.04

TÓM TẮT LUẬN ÁN TIẾN SĨ KHOA HỌC VẬT CHẤT

Huế, 2016

Footer Page 1 of 148.


Header Page 2 of 148.
Công trình được hoàn thành tại
Trường đại học Khoa học – Đại học Huế

Người hướng dẫn khoa học
TS. Trương Văn Chương
PGS. TS. Võ Thanh Tùng

Phản biện 1:GS. TS. Bạch Thành Công,
Trường Đại học Khoa học Tự nhiên – ĐHQG Hà Nội
Phản biện 2: PGS. TSKH. Nguyễn Thế Khôi,

BaTiO3 vật liệu áp điện không chì đã được nghiên cứu từ lâu. Các
tính chất điện của BaTiO3 có thể được điều chỉnh khi thay thế các
nguyên tố khác vào vị trí A hoặc/và B trong mạng ABO3 của nó.
Năm 2009, Liu và Ren đã xây dựng được hệ vật liệu
BaZr0.2Ti0.8O3-xBa0.7Ca0.3TiO3 (BZT-BCT) có hệ số áp điện d33 đạt
giá trị 620 pC/N khi x = 50%, cao hơn cả giá trị thu được trên PZT5H. Các tác giả còn nhận định, hệ số áp điện d33 của thành phần
BZT-50BCT ở dạng đơn tinh thể hoặc định hướng theo một số
phương tinh thể xác định (texture) có thể đạt giá trị 1500 pC/N. Đây
là kết quả đầu tiên công bố trên Tạp chí Physical Review Letters B,
một thông tin đáng tin cậy, thu hút sự quan tâm của các nhà công
nghệ vì khả năng ứng dụng của chúng (hệ số áp điện và hằng số điện
môi lớn, nhiệt độ chuyển pha sắt điện - thuận điện nằm gần nhiệt độ
phòng) và các nhà nghiên cứu cơ bản vì lần đầu tiên thu được áp điện
lớn đối với vật liệu áp điện không chì. MPB của hệ vật liệu này tách
riêng pha mặt thoi và pha tứ giác. Đặc điểm quan trọng nhất của hệ
BZT-xBCT, khác với các hệ không chì còn lại, là sự tồn tại của điểm
ba, giao điểm giữa pha mặt thoi, tứ giác và lập phương. Sự tồn tại của
điểm ba này đặc trưng cho các hệ vật liệu PZT.

Footer Page 3 of 148.


Header Page 4 of 148.

2

Sau phát hiện của Liu và cộng sự, các vật liệu tương tự cũng được
chế tạo và cho các thông số khá tốt trong vùng lân cận MPB. Các kết
quả này cho phép chúng ta hy vọng về khả năng chế tạo các vật liệu
không chứa chì có tính áp điện mạnh trong mối tương quan với vật

3

CHƢƠNG 1
TỔNG QUAN LÝ THUYẾT
Chúng tôi đã trình bày tổng quan lý thuyết về các tính chất điện
môi, sắt điện để định hướng cho các nghiên cứu và lý giải các kết
quả. Cùng với đó, các đặc trưng của các vật liệu không chì nói chung,
và vật liệu trên nền BaTiO3 nói riêng cũng được giới thiệu một cách
khái quát.
CHƢƠNG 2
CÁC PHƢƠNG PHÁP NGHIÊN CỨU VÀ THỰC NGHIỆM
TỔNG HỢP HỆ VẬT LIỆU ÁP ĐIỆN
xBaZr0.2Ti0.8O3-(1-x)Ba0.7Ca0.3TiO3
2.1. Các phƣơng pháp nghiên cứu
2.1.1. Phân tích cấu trúc, vi cấu trúc và đánh giá chất lƣợng mẫu
Cấu trúc tinh thể của vật liệu được phân tích thông qua giản đồ
nhiễu xạ tia X (D8-Advanced, BRUKER AXS). Các tham số mạng
được tính toán bằng phần mềm PowderCell.
Hình thái bề mặt của vật liệu được nghiên cứu bằng ảnh SEM
(thiết bị Nova NanoSEM 450-FEI). Phần mềm ImageJ được sử dụng
để đánh giá cơ hạt.
2.1.2. Nghiên cứu tính chất điện môi
Ngoài các đại lượng đặc trưng điện môi ở trạng thái tĩnh, các tính
chất điện môi được nghiên cứu thông qua phép đo sự phụ thuộc của
điện dung và góc pha theo nhiệt độ (HIOKI 3235-50 LCR
HiTESTER). Nếu vật liệu thể hiện tính chất chuyển pha nhòe, sự phụ
thuộc ε(T) tuân theo các định luật Curie - Weiss mở rộng, Vogel –
Fulcher, và dạng toàn phương.
2.1.3. Nghiên cứu đặc trƣng sắt điện của vật liệu
Hồi đáp P(E) hay đường trễ sắt điện được quan sát bởi phương pháp

m (%) - 6.974

-6

0.0
-0.1
-0.2
-0.3

dTG (mg/min)

Các thông số áp điện được tính toán trên cơ sở phép đo cộng
hưởng (HP4193A, Agilent 4396B) và các chuẩn quốc tế về áp điện.
2.2. Quy trình chế tạo hệ vật liệu áp điện xBZT-(1-x)BCT
Vật liệu ban đầu được chọn là BaCO3, CaCO3, TiO2, ZrO2
(Mecrk, > 99%). Chúng được phối liệu theo hợp thức
xBaZr0.2Ti0.8O3-(1-x)Ba0.7Ca0.3TiO3, với x = 0.42-0.56 là tỷ lệ của
thành phần BaZr0.2Ti0.8O3. Hỗn hợp phối liệu được nghiền bằng máy
nghiền hành tinh. Bột, sau khi nghiền, được nung sơ bộ. Để chọn
đúng chế độ nhiệt tạo pha, chúng tôi thực hiện phân tích nhiệt TGADSC đối với thành phần x = 0.48.
0.1

0

200

400

m (%) - 17.643


30

40 50 60


70

80

Hình 2.9. Giản đồ XRD của bột 0.48BZT nung ở các nhiệt độ
Từ hình 2.9, nhiệt độ nung sơ bộ 1250oC được chọn là hợp lý.

Footer Page 6 of 148.


5

Header Page 7 of 148.

Bột, sau quá trình nghiền lại 20 giờ, được ép thành viên dạng
đĩa và thiêu kết ở các nhiệt độ 1300oC, 1350oC, 1400oC, và 1450oC,
trong 4 giờ..
Bảng 2.5. Một số đại lượng áp điện của thành phần 0.48BZT theo
nhiệt độ thiêu kết
o
T ( C)
1300
1350
1400
1450

CHƢƠNG 3
MỘT SỐ TÍNH CHẤT VẬT LÝ CỦA HỆ VẬT LIỆU xBZT-(1-x)BCT

Chương này trình bày một số tính chất vật lý của hệ vật liệu xBZT
– (1 – x)BCT thiêu kết ở 1450oC, với x = 0.42-0.56 là tỷ phần BZT
trong hệ. Ký hiệu các mẫu ứng với mỗi giá trị của x là xBZT.
3.1. Cấu trúc và hình thái bề mặt của vật liệu
Hình 3.1 là giản đồ XRD của hệ vật liệu xBZT tại nhiệt độ phòng.
C-êng ®é (®vt®)

(a)

(b)
0.56BZT

0.56BZT

0.54BZT

0.54BZT

(200)R

0.52BZT

(200)R
T

(0
02

80

0.52BZT
0.50BZT
0.48BZT
0.46BZT
0.44BZT
0.42BZT

44.0

44.5

45.0

45.5

46.0

46.5

2 ()

Hình 3.1. Giản đồ XRD của hệ vật liệu xBZT

Footer Page 7 of 148.


6



o

o

45.10

o

45.21

o

45.36

o

45.38

o

45.11

45.0

45.3
45.6
(o)

45.9



7

Header Page 9 of 148.
Mẫu

Kích thước hạt, Sg (µm)
Phần mềm Lince
Phần mềm ImageJ

Tỷ trọng, 
(kg/m3)

0.42BZT

22.6

22.5

5351

0.44BZT

24.1

22.0

5482


5531

0.54BZT

27.9

27.0

5493

0.56BZT

24.8

23.2

5452

3.2. Tính chất điện môi
Bảng 3.3 thông kê hằng số điện môi và tổn hao điện môi trong
điều kiện tĩnh của hệ vật liệu xBZT
Bảng 3.3. Giá trị  và tan của vật liệu xBZT ở điều kiện tĩnh
x

0.42

0.44

0.46


2.3

1.8

1.4

1.3

1.4

1.4

1.7

2.4

Nồng độ BZT ảnh hưởng mạnh đến các đại lượng điện môi của
vật liệu. Khi nồng độ BZT tăng, hằng số điện môi và tổn hao điện
môi biến đổi đồng thời, đạt giá trị cực đại và cực tiểu, tương ứng tại
thành phần 0.48BZT.
14000 r
12000
10000
8000
6000
4000
2000
0
25 50


T (oC)

0

25

50

75 100 125

T (oC)

7 tan
(c)
6
5
4
3
2
1
0
25 50 75 100 125

T (oC)

Hình 3.6 Sự phụ thuộc nhiệt độ của (a) phần thực, r, (b) phần ảo, i,
và (c) tổn hao điện môi, tan của vật liệu xBZT

Footer Page 9 of 148.


0.54BZT,  = 1.794

-10

0.52BZT,  = 1.810

-12

0.50BZT,  = 1.778

-14

0.48BZT,  = 1.825
0.46BZT,  = 1.757

-16

0.44BZT,  = 1.633

-18
-20

ln Ccw ,

Sè liÖu thùc nghiÖm

-6

ln(1/r - 1/rm)


15000 0.48BZT
12000

0.15

9000
6000

0.20

f

t¨ng

0.10
0.05

3000

0
0.00
20 40 60 80 100 120

T (°C)

Hình 3.11. Sự phụ thuộc nhiệt độ của hằng số điện môi và tổn hao
điện môi tại các tần số của mẫu 0.48BZT
Sự phụ thuộc vào tần số trường ngoài của nhiệt độ Tm được mô tả
bằng định luật Vogel - Fulcher (3.5)


92

94

96

98

100

Tm (oC)

Hình 3.12. lnf là hàm của Tm làm khớp với định luật Vogel – Fulcher
đối với thành phần 0.48BZT
Sự phù hợp khá tốt giữa số liệu thực nghiệm với hệ thức Vogel –
Fulcher cho thấy, rằng hệ thức này có thể được sử dụng để giải thích
trạng thái chuyển pha nhòe trong hệ vật liệu xBZT tương tự như trạng
thái của các thủy tinh lưỡng cực có sự dao động phân cực ở trên một
nhiệt độ đông cứng.
3.3. Tính chất sắt điện
Hình 3.14 là dạng đường trễ sắt điện của các thành phần xBZT.
26 0.42BZT

0.44BZT

0.46BZT

0.48BZT

0.52BZT


0

15

30

-30

E (kV/cm)

-15

0

15

30

-30

-15

0

15

30

Hình 3.13. Đường trễ sắt điện của vật liệu xBZT


40

50

60

70

80

90

100

110

Pr

10.34

9.40

6.44

5.84

5.19

4.15

trường kháng giảm). Kết quả là, đường trễ dần bị bó hẹp. Ở 90oC,
đường trễ trở nên rất hẹp, các đômen sắt điện gần như biến mất.
3.4. Tính chất áp điện
Hình 3.18 biểu diễn sự phụ thuộc của các thông số Qm, dij, gij, k
vào thành phần BZT.
0.70

kp

kt

k31

240

k33

220

Qm

k15

200

0.50

Qm

k


500

10.0

400

8.0

300

6.0

200
100

12.0

gij (10-3 Vm/N)

0.80

0.40 0.44 0.48 0.52 0.56

x

0.40 0.44 0.48 0.52 0.56

x



Lôc gi¸c

(002)

C-êng ®é

(100)

Có thể thấy, các thông số áp điện, cơ đều thay đổi theo tỷ phần
BZT và đạt cực trị tại thành phần 0.48BZT. Tính chất áp điện nổi bật
tại thành phần 0.48BZT được cho là do hiệu ứng MPB, tương tự như
đối với PZT.
CHƢƠNG 4
MỘT SỐ TÍNH CHẤT VẬT LÝ CỦA HỆ VẬT LIỆU ÁP ĐIỆN
0.48BZT-0.52BCT PHA TẠP ZnO CÓ CẤU TRÚC NANO
4.1. Chế tạo ZnO có cấu trúc nano
ZnO có cấu trúc nano (gọi tắt là ZnO nano), được chế tạo bằng
phương pháp hóa, theo phương trình sau
(CH3COO)2Zn + 2NH4OH  ZnO  + 2(CH3COO)NH4 + H2O
Chất kết tủa sau phản ứng này được lọc, rửa nhiều lần và xử lý ở
o
250 C trong 1 giờ để loại bỏ hoàn toàn các sản phẩm phụ.

70

2 ( o )

Hình 4.1. Phổ XRD của bột ZnO nano
Có thể thấy, pha ZnO được hình thành với kích thước hạt, tính

y = 0.10
y = 0.05
y = 0.00

20

30

40

50 60
2(°)

70

80

(200)T

y = 0.20
y = 0.15
y = 0.10
y = 0.05
y = 0.00

44.0 44.5 45.0 45.5 46.0 46.5
2(°)

Hình 4.3. Giản đồ XRD của hệ vật liệu 0.48BZT-y
Từ hình 4.3, các thành phần vật liệu đều có cấu trúc perovskite,


(g/cm3)

22

5.2

y (%)

Hình 4.7. Kích thước hạt, Sg, và tỷ trọng, , của vật liệu là hàm của
nồng độ ZnO nano, y
Khi y = 0.00-0.15, vi cấu trúc của vật liệu phát triển nhanh
chóng, biên hạt khá sạch, kích thước hạt tăng dần và đạt giá trị lớn
nhất ứng với y = 0.15. Ở biên hạt và cả trên bề mặt của các mẫu ứng

Footer Page 14 of 148.


13

Header Page 15 of 148.

với nồng độ tạp 0.2% và 0.25%, chúng tôi quan sát thấy dấu hiệu của
pha lỏng. Có thể đây là lượng ZnO nano thừa trong quá trình thiêu
kết tích tụ ở biên và bề mặt hạt làm hạn chế sự phát triển kích thước
hạt, do đó, cỡ hạt giảm. Có thể khẳng định, nồng độ y = 0.15 là giới
hạn hòa tan của ZnO nano trong nền 0.48BZT ở 1350oC.
4.3.3. Tính chất điện môi
Quy luật ε(T) trên hình 4.8 cho thấy, sự chuyển pha sắt điệnthuận điện có dạng một dải rộng.
9000

6000

6000

3000
12000

y = 0.15

12000

9000

3000
12000

y = 0.20

y = 0.25

9000

9000

6000

6000
3000

3000

-14
-8 y = 0.01,  = 1.559

y = 0.15,  = 1.796

-10
-12
-14
-8 y = 0.20,  = 1.454

y = 0.25,  = 1.376

-10
-12
-14

Hình 4.10. ln(1/

Footer Page 15 of 148.

r

1

1/

2

3


C-êng ®é

(a.u)

A 1 (TO1)
A 1 (TO2)

Hình 4.11 là phổ tán xạ Raman ở nhiệt độ phòng.

y = 0.25
y = 0.20
y = 0.15
y = 0.10
y = 0.05
y = 0.00

200

400

600

800

1000 1200

Sè sãng (cm-1)

Hình 4.11. Phổ tán xạ Raman của hệ 0.48BZT-y ở nhiệt độ phòng
Vị trí, υ, và độ bán rộng, FWHM, của các mode Raman đặc trưng

90

1.4
0.00 0.05 0.10 0.15 0.20 0.25
y (%)

(b) 71
70

370

69
68

360
350
340

Tm (C)



ETO2(cm)

FWHM[A1(TO2)]



FWHM[A1(TO2)]


0.10
0.15
0.20
0.25
EC (kV/cm) 1.36
1.52
1.58
1.72
2.21
2.72
2
Pr (µC/cm ) 4.56
4.77
5.35
6.19
6.11
5.60
Số liệu từ bảng 3 cho thấy, khi y tăng, Pr của vật liệu tăng và đạt
giá trị cực đại tại y = 0.15, sau đó giảm, trong khi EC tăng liên tục.
Chính các nút oxy sinh ra do Zn2+ chiếm ở vị trí B đã hạn chế chuyển
động của các đômen sắt điện trong vật liệu, làm cứng hóa vật liệu.
4.3.4. Tính chất áp điện
kp

k31

kt

k33


12

350

10

300

8

250

6

200
150

4
0.00 0.05 0.10 0.15 0.20 0.25 0.00 0.05 0.10 0.15 0.20 0.25

y (%)

gij (10-3Vm/N)

k

0.6

Qm


4.3.1. Khảo sát cấu trúc của vật liệu 0.48BZT-0.15 khi thay đổi
nhiệt độ thiêu kết
Hình 4.19 là XRD của vật liệu 0.48BZT-0.15 theo nhiệt độ thiêu kết
(a)

(b)
(002)T

(200)R (200)T

MÆt thoi

C-êng ®é (®vt®)

1450°C

1400°C
1450°C

Tø gi¸c

1400°C
1350°C

1350°C

1300°C

1300°C


Header Page 19 of 148.

17

4.3.2. Ảnh hƣởng của nhiệt độ thiêu kết đến một số tính chất áp
điện của vật liệu 0.48BZT-0.15
Bảng 4.12 Giá trị kp, k33, d33 của vật liệu 0.48BZT-0.15 theo nhiệt độ
thiêu kết
o
T ( C)
kp
k33
d33 (pC/N)
1300
0.32
0.48
340
1350
0.48
0.57
420
1400
0.49
0.61
474
1450
0.55
0.71
576
Nhìn chung, các thông số áp điện nói trên đồng loạt tăng khi

5.2. Phân tích trạng thái dao động của biến tử áp điện dạng đĩa
bằng phƣơng pháp phần tử hữu hạn, sử dụng phần mềm
comsol multiphysics
5.2.2. Thiết lập bài toán mô phỏng cho biến tử áp điện
Bài toán mô phỏng cho biến tử áp điện bao gồm các bước sau
Bước thứ nhất, thiết lập các chế độ làm việc cho chương trình mô
phỏng, sau đó định nghĩa các thông số và các biến liên quan.
Bước thứ hai, xây dựng mô hình biến tử áp điện và chọn vật liệu.
Việc chọn vật liệu cho mô hình được thực hiện bằng cách nhập các
thông số đặc trưng của vật liệu ở dạng ma trận. Sau đó là áp đặt tải,
thiết lập các điều kiện biên phù hợp và lựa chọn kiểu phân tích.
Biến tử được xem như là một vùng tạo bởi một số hữu hạn các
phần tử vô cùng nhỏ, và dao động của toàn bộ biến tử là tổng tất cả
các dao động của các phần tử hữu hạn. Việc khảo sát trạng thái dao
động của biến tử áp điện được quy về khảo sát trạng thái dao động
của các phần tử này.
Bước thư ba, tìm lời giải cho bài toán cần quan tâm.
Bước thứ tư, xử lý các kết quả thu được.

Footer Page 20 of 148.


19

Header Page 21 of 148.

5.2.3. Một số kết quả phân tích trạng thái dao động của biến tử
áp điện dạng đĩa bằng phƣơng pháp phần tử hữu hạn, sử
dụng chƣơng trình CM
Đối tượng được lựa chọn là thành phần vật liệu 0.48BZT với tỷ

e33

13.1 26.4

Bảng 5.2. Hệ số đàn hồi và hệ số độ cứng của thành phần 0.48BZT
sijE (10

12

cijE (1010 N/m2 )

m2 /N)

E
s11

E
s12

E
s13

E
s 33

E
s 44

E
s 66


10

4

FEM
Thùc nghiÖm

Z ()

10

3

10

2

10

1

10

0

10
220

240

Zn/Zm
(Đơn vị)
(kHz)
(kHz)
()
()
FEM
244.8
279.2
0.54 1.25 71978 57582
Thực nghiệm
250.2
282.4
0.52 7.62
8265
1085
Có sự phù hợp khá tốt giữa kết quả thực nghiệm và mô phỏng.
Các giá trị tần số đặc trưng sai khác nhau không quá 2.2%, trong khi
hệ số liên kết điện - cơ lệch nhau 4%. Tuy nhiên, có sự khác biệt
đáng kể về biên độ phổ dao động giữa hai phương pháp này, bậc
nhảy Zn/Zm trong trường hợp mô phỏng lớn hơn 53 lần so với đại
lượng này thu được từ thực nghiệm.

Hình 5.4 Trạng thái dao động của đĩa áp điện 0.48BZT ở cộng hưởng
Hình 5.4 là ảnh 3D mô tả sự dịch chuyển của biến tử áp điện tại
tần số cộng hưởng. Về cơ bản, biến tử thực hiện dao động theo
phương bán kính, song sự dịch chuyển trên bề mặt biến tử không đều
nhau. Để làm rõ điều này, chúng tôi khảo sát trạng thái cộng hưởng
tại biên và chính giữa của biến tử. Hồi đáp áp điện của các điểm này
và của cả biến tử được định lượng trong bảng 5.4.

Header Page 23 of 148.

5.2.3.2. Ảnh hƣởng của sự biến đổi kích thƣớc biến tử lên tính
chất cộng hƣởng của hệ 0.48BZT
Hình 5.7 là phổ cộng hưởng của mẫu 0.48BZT đường kính d =
10.8 mm, khi chiều dày t thay đổi trong khoảng (0.2-1.2) mm.
7

10

(a)

0.2 mm

0.4 mm

0.8 mm

0.8 mm

1.0 mm

1.2 mm

(b)

Z ()

5



700
f (kHz)

750

800

t = 0.4 mm

1.4

0.5
0.0
10.0
7.5
5.0
2.5
0.0
2.0
1.5
1.0
0.5
0.0

4.2
2.8

1.0



m)

m)

m)

m)

2.0

m)

Hình 5.7. Phổ cộng hưởng thu được từ FEM của đĩa áp điện với các
chiều dày khác nhau
Từ hình 5.7a, khi chiều dày tăng, các tần số cộng hưởng và phản
cộng hưởng của dao động cơ bản gần như không thay đổi, nghĩa là hệ
số kp không bị ảnh hưởng bởi sự thay đổi chiều dày mẫu. Tuy nhiên,
sự dịch chuyển tần số xảy ra ở các dao động hài (hình 5.7b), mà cụ
thể là, các tần số này dịch về phía thấp khi tăng bề dày của mẫu.
Hình 5.9 mô tả sự phụ thuộc của độ dịch chuyển toàn phần, ,
theo tần số, f, đối với đĩa áp điện 0.48BZT khi chiều dày thay đổi.

Hình 5.9. Độ dịch chuyển toàn phần, , là hàm của tần số, f đối với
đĩa áp điện 0.48BZT theo các chiều dày khác nhau
Có thể thấy, các biến tử bị dịch chuyển mạnh nhất tại tần số cộng
hưởng. Khi chiều dày, và do đó, tỷ số giữa đường kính và chiều dày,

Footer Page 23 of 148.


hướng trục của nó sẽ tham gia vào dịch chuyển của dao động theo
chiều dọc (33) của bản áp điện, từ đó, hệ số áp điện hiệu dụng d33
được cải thiện. Mặt khác, khoang không khí bên trong làm trở kháng
âm toàn phần của hệ giảm nhiều nên dễ dàng phối hợp trở kháng âm
với nước. Hình 5.10 mô tả mặt cắt ngang của biến tử Cymbal, trong
đó, do, ho tương ứng là đường kính và độ sâu của khoang không khí,
to là chiều dày của nắp kim loại.

5.3.2. So sánh trạng thái dao động của biến tử áp điện tự do và
biến tử dạng Cymbal có cùng kích thƣớc
Hình 5.11 là đáp ứng tần số của tổng độ dịch chuyển đối với biến
tử tự do và biến tử Cymbal có đường kính d = 26.6 mm. Đối với biến
tử tự do, tần số cộng hưởng của dao động cơ bản là 93.1 kHz. Trong
khi đó, tần số cộng hưởng của biến tử Cymbal cùng kích thước
(đường kính) chỉ là 14.7 kHz.

Footer Page 24 of 148.


Header Page 25 of 148.

23

Tính chất cộng hưởng của biến tử Cymbal cũng bị ảnh hưởng
mạnh bởi sự thay đổi kích thước hình học của nó.
5.4. Thử nghiệm chế tạo biến tử kiểu cymbal sử dụng vật liệu
0.48BZT
Phần tử áp điện 0.48BZT được chế tạo bằng công nghệ truyền
thống với kích thước d = 26.6 mm, t = 0.7 mm. Nắp biến tử được chế
tạo bằng đồng có kích thước: to = 0.2 mm, do = 19.6 mm, ho = 0.5