

BỘ KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO

CHƯƠNG TRÌNH KHCN CẤP NHÀ NƯỚC KC05/06-10

BÁO CÁO TỔNG HỢP
KẾT QUẢ KHOA HỌC CÔNG NGHỆ ĐỀ TÀI
“NGHIÊN CỨU CÔNG NGHỆ PHỦ
PVD ( PHYSICAL VAPOR DEPOSITION) TẠO LỚP PHỦ BỀ MẶT
ĐỂ NÂNG CAO CƠ TÍNH KHUÔN MẪU VÀ DỤNG CỤ CẮT GỌT”
MÃ SỐ: KC05/06-10


Chủ nhiệm đề tài Cơ quan chủ trì đề tài GS.TS Võ Thạch Sơn

Ban chủ nhiệm chương trình Bộ Khoa học và Công nghệ TS. Trần Việt Hùng 8086
Hà Nội - 2010


Họ và tên:
: Võ Thạch Sơn
Ngày, tháng, năm sinh: 15/05/1949 Nam/ Nữ: Nam
Học hàm, học vị:
GS.TS
Chức danh khoa học: Giảng viên cao cấp
Chức vụ: Phó Viện trưởng Viện VLKT
Điện thoại: Tổ chức: 04 8682539 Nhà riêng: 04 5143654
Mobile: 0904132226
Fax:
04.8693498 E-mail: [email protected]
Tên tổ chức đang công tác:PTN Phân tích & Đo lường vật lý, Viện Vật lý
Kỹ thuật, trường Đại học Bách khoa Hà nội
Báo cáo tổng hợp kết quả Đề tài KC.05.12/06-10 * Hà nội 4/2010
tk2
Địa chỉ tổ chức:Phòng 110-C9- Đại học Bách khoa Hà nội, Số 1, Đại Cồ Việt,
Hai Bà Trưng, Hà nội
Địa chỉ nhà riêng: P2101, nhà 34T, khu Trung hòa Nhân chính, Hà nội
3. Tổ chức chủ trì đề tài:
Tên tổ chức chủ trì đề tài: Viện Vật lý Kỹ thuật
Điện thoại: 0438693350 Fax:
04.8693498
E-mail:
Website: iep.hut.edu.vn

Thời gian
(Tháng, năm)
Kinh phí
(Tr.đ)
Thời gian
(Tháng, năm)
Kinh phí
(Tr.đ)
Ghi chú
(Số đề nghị
quyết toán)
1 20/08/2008 980
27/08/2008 320
26/09/2008 132
04/11/2008 211
12/11/2008 37
14/11/2008 65
18/11/2008 21
2 19/12/2008 420
31/12/2008 343
3 18/03/2009 980
13/04/2009 186
14/04/2009 46.4
09/06/2009 301
28/09/2009 84
01/10/2009 384.4
02/10/2009 82
12/10/2009 70
4 04/11/2009 420
55.5

Trả công lao động
(khoa học, phổ
thông)
1122 1122 0
1122

0
2
Nguyên, vật liệu,
năng lượng
933 933 0
933

0
3
Thiết bị, máy móc
516 516 0
516

0
4
Xây dựng, sửa
chữa nhỏ
0 0 0
0

0
5
Chi khác
229 229 0

cá nhân chủ trì, thực hiện đề tài để thực hiện trong kế
hoạch năm thuộc Chương trình “ Nghiên cứu, phát
triển và ứng dụng công nghệ cơ khí chế tạo”

2
Số 3070/QĐ-
BKHCN; Ngày
21/12/2007
Quyết định về việc phê duyệt các tổ chức, cá nhân trúng
tuyển chủ trì thực hiện đề tài, dự án sản xuất thử nghiệm
năm 2008 (đợt II) thuộc Chương trình “ Nghiên cứu,
phát triển và ứng dụng công nghệ cơ khí chế tạo”

3
Số 282/QĐ-
BKHCN; Ngày
27/02/2008
Quyết định Phê duyệt kinh phí 06 đề tài và 02 dự án
bắt đầu thực hiện năm 2008 thuộc Chương trình Trọng
điểm cấp Nhà nước giai đoạn 2006-2010 “ Nghiên
cứu, phát triển và ứng dụng công nghệ cơ khí chế tạo”

Báo cáo tổng hợp kết quả Đề tài KC.05.12/06-10 * Hà nội 4/2010
tk5

Số 440/QĐ-
BKHCN ngày
30/03/2009
Quyết định về việc cử các đoàn đi công tác nước ngoài

9
Số 63/VPCTT-
THKH ngày
10/10/2010
Gia hạn thời gian thực hiện của đề tài KC.05.12/06-10 4. Tổ chức phối hợp thực hiện đề tài, dự án:
TT
Tên tổ
chức đăng
ký theo
Thuyết
minh
Tên tổ
chức đã
tham gia
thực hiện
Nội dung
tham gia chủ yếu
Sản phẩm chủ yếu đạt
được
Ghi
chú*
1

phương pháp phún xạ
DC magnetron.
Bộ tài liệu kết quả đo
thành phần hoá học của
lớp phủ bằng phương
pháp XPS và phương
pháp EDX
Bộ tài liệu kết quả đo
vi cấu trúc, thành phần
pha của lớp phủ bằng
phương pháp nhiễu xạ

tia X.
Bộ tài liệu về hình thái
bề mặt bằng phương
pháp hiển vi lực
nguyên tử AFM.

Báo cáo tổng hợp kết quả Đề tài KC.05.12/06-10 * Hà nội 4/2010
tk6
2
Trung tâm
quang điện
tử- Viện

cao tần.

3
Khoa cơ
khí- Đại
học Bách
khoa Hà
nội
Khoa cơ
khí- Đại
học Bách
khoa Hà
nội
Đánh giá cơ tính của
lớp phủ: độ cứng, độ
bám dính, hệ số ma
sát, ứng suất.
Nghiên cứu ảnh
hưởng của các đặc
tính cơ lý hoá học của
lớp phủ đến độ bền
mòn của dụng cụ và
khuôn mẫu.
Khảo sát cơ tính và độ
bền của các lớp phủ
trên các dụng cụ cắt và
khuôn mẫu thử
nghiệm.

4

TT
Tên cá nhân
đăng ký theo
Thuyết minh
Tên cá nhân đã
tham gia thực
hiện
Nội dung tham
gia chính
Sản phẩm chủ
yếu đạt được
Ghi
chú*
1
Võ Thạch Sơn
GS.TS
Võ Thạch Sơn
GS.TS
Phụ trách
chung, khảo sát
các thông số vật
lý của lớp phủ
cứng
Tài liệu khảo
sát các thông số
vật lý của lớp
phủ cứng

2
Phan Quốc Phô

Tài liệu khảo
sát các thông số
cơ học của lớp
phủ cứng

4
Hoàng Vĩnh Sinh
TS
Hoàng Vĩnh Sinh
TS
Phụ trách
nghiên cứu ứng
dụng lớp phủ
cứng trên dụng
cụ cắt gọt 5
Đặng Xuân Cự
TS
Đặng Xuân Cự
TS
Phụ trách
nghiên cứu về
phương pháp
phún xạ cao tần
RF và qui trình
tạo các lớp phủ
đơn lớp
Quy trình công

Báo cáo tổng hợp kết quả Đề tài KC.05.12/06-10 * Hà nội 4/2010
tk8
Phụ trách tài
chính của đề tài
7
Nguyễn Hữu Bính
Ths
Nguyễn Hữu Bính
Ths
Phụ trách thử
nghiệm sản
phẩm trong
công nghiệp
Tài liệu thử
nghiệm sản
phẩm trong
công nghiệp

- Lý do thay đổi ( nếu có):

6. Tình hình hợp tác quốc tế:

TT
Theo kế hoạch
(Nội dung, thời gian, kinh phí, địa
điểm, tên tổ chức hợp tác, số
đoàn, số lượng người tham gia )


- Lý do thay đổi (nếu có): Do có thư mời hợp tác bên Pháp nên 01 người đi
cộng hòa Pháp, nhập đoàn đi cộng hòa Đức.
7. Tình hình tổ chức hội thảo, hội nghị:
TT
Theo kế hoạch
(Nội dung, thời gian, kinh phí, địa
điểm )
Thực tế đạt được
(Nội dung, thời gian, kinh phí,
địa điểm )
Ghi
chú*
1
Công nghệ tạo lớp phủ cứng bằng
phương pháp hồ quang chân không
2008
5.000.000
Phòng 110-C9- Đại học BKHN
Công nghệ tạo lớp phủ cứng bằng
phương pháp hồ quang chân không
2008
5.000.000
Phòng 110-C9- Đại học BKHN

Báo cáo tổng hợp kết quả Đề tài KC.05.12/06-10 * Hà nội 4/2010



4
Hiện trạng và xu hướng phát triển
của công nghệ tạo lớp phủ cứng
trên dụng cụ cắt gọt và khuôn mẫu
2009
5.000.000
Phòng 110-C9- Đại học BKHN
Hiện trạng và xu hướng phát triển
của công nghệ tạo lớp phủ cứng
trên dụng cụ cắt gọt và khuôn mẫu
2009
5.000.000
Phòng 110-C9- Đại học BKHN

- Lý do thay đổi (nếu có):

8. Tóm tắt các nội dung, công việc chủ yếu:
(Nêu tại mục 15 của thuyết minh, không bao gồm: Hội thảo khoa học, điều tra khảo sát
trong nước và nước ngoài)
Thời gian
(Bắt đầu, kết thúc
- tháng … năm)
TT
Các nội dung, công việc
chủ yếu
(Các mốc đánh giá chủ yếu)
Theo kế
hoạch
Thực tế

Phạm Hồng Tuấn
Báo cáo tổng hợp kết quả Đề tài KC.05.12/06-10 * Hà nội 4/2010
tk10
3.2
Thiết kế và chế tạo nguồn điện
cấp cho đầu magnetron
03-08/2008 03-08/2008
Võ Thạch Sơn
Phan Quốc Phô
Phạm Hồng Tuấn
3.3
Thiết kế và chế tạo nguồn điện
thiên áp 500V
03-08/2008 03-08/2008
Võ Thạch Sơn
Phan Quốc Phô
Phạm Hồng Tuấn
3.4
Thiết kế và chế tạo hệ gá, quay
mẫu cho B30
03-08/2008 03-08/2008
Võ Thạch Sơn
Phan Quốc Phô
Phạm Hồng Tuấn

Thiết kế và chế tạo hệ phối khí
công tác cho Z550
03-08/2008 03-08/2008
Đặng Xuân Cự
Phạm Hồng Tuấn
4.4
Thiết kế và chế tạo hệ gá, quay
mẫu cho Z550
03-08/2008 03-08/2008
Đặng Xuân Cự
Phạm Hồng Tuấn
4.5
Nghiên cứu công nghệ làm
sạch mẫu bằng plasma cao tần
03-08/2008 03-08/2008
Đặng Xuân Cự
Phạm Hồng Tuấn
4.6
Thiết kế, chế tạo hệ điều khiển
nhiệt độ đế cho Z550
03-08/2008 03-08/2008
Đặng Xuân Cự
Phạm Hồng Tuấn
5
Nội dung 3: Chuẩn bị điều kiện
công nghệ tạo lớp phủ bằng
phương pháp hồ quang chân
không trên thiết bị TINA900
03-08/2008 03-08/2008
Phạm Hồng Tuấn

03-08/2008 03-08/2008
Phạm Hồng Tuấn
Nguyễn Tuấn Vũ
5.5
Thiết kế chế tạo hệ gá quay
mẫu cho TINA900
03-08/2008 03-08/2008
Phạm Hồng Tuấn
Nguyễn Tuấn Vũ
5.6
Thiết kế chế tạo hệ cung cấp
khí công tác cho TINA900
03-08/2008 03-08/2008
Phạm Hồng Tuấn
Nguyễn Tuấn Vũ
5.7
Thiết kế chế tạo hệ nung và
điều khiển nhiệt độ cho
TINA900
03-08/2008 03-08/2008
Phạm Hồng Tuấn
Nguyễn Tuấn Vũ
5.8
Thử nghiệm thiết bị toàn bộ và
điều chỉnh các thong số
03-08/2008 03-08/2008
Phạm Hồng Tuấn
Nguyễn Tuấn Vũ
6
Nội dung 4: Nghiên cứu qui

6.4
Nghiên cứu nâng cao độ bám
dính của lớp phủ TiN, Ti(N,C)
bằng phương pháp hồ quang
chân không
08-12/2008 08-12/2008
Võ Thạch Sơn
Phan Quốc Phô
Nguyễn Tuấn Vũ
7
Nội dung 5: Nghiên cứu qui
trình tạo lớp phủ TiN, Ti(C,N)
bằng công nghệ hồ quang chân
không
08-12/2008 08-12/2008
Phạm Hồng Tuấn
Nguyễn Tuấn Vũ
7.1
Nghiên cứu công nghệ tạo lớp
08-12/2008 08-12/2008 Phạm Hồng Tuấn
Báo cáo tổng hợp kết quả Đề tài KC.05.12/06-10 * Hà nội 4/2010
tk12
phủ TiN bằng phương pháp hồ
quang chân không

phủ Ti(C,N) bằng phún xạ cao
tần
08-12/2008 08-12/2008
Đặng Xuân Cự
Nguyễn Tuấn Vũ
8.4
Nghiên cứu công nghệ tạo lớp
phủ đa lớp TiC/Ti(C,N)?TiN
08-12/2008 08-12/2008
Đặng Xuân Cự
Nguyễn Tuấn Vũ
9
Nội dung 7: Xác định thành
phần hoá học của lớp phủ

06-12/2008 06-12/2008
Võ Thạch Sơn
Phan Quốc Phô
Nguyễn Tuấn Vũ
9.1
Nghiên cứu phương pháp xác
định thành phần nguyên tố lớp
phủ TiC/Ti(C,N)/TiN bằng
phương pháp XPS
06-12/2008 06-12/2008
Võ Thạch Sơn
Phan Quốc Phô
Nguyễn Tuấn Vũ
9.2
Đo đạc và xác định thành phần

Phan Quốc Phô
Nguyễn Tuấn Vũ
Báo cáo tổng hợp kết quả Đề tài KC.05.12/06-10 * Hà nội 4/2010
tk13
phương pháp XPS
9.6
Đo đạc và xác định thành phần
nguyên tố của phân biên
đế/lớp phủ TiC/Ti(C,N)/TiN
trên máy XPS-VSW
06-12/2008 06-12/2008
Võ Thạch Sơn
Phan Quốc Phô
Nguyễn Tuấn Vũ
9.7
Đo đạc và xác định thành phần
nguyên tốphân biên đế/ lớp
phủ TiC/Ti(C,N)/TiN bằng
kính hiển vi điện tử ESEM
06-12/2008 06-12/2008
Võ Thạch Sơn
Phan Quốc Phô
Nguyễn Tuấn Vũ
10

nhiễu xạ tia X
06-12/2008 06-12/2008
Võ Thạch Sơn
Phạm Hồng Tuấn
11
Nội dung 9: Khảo sát hình thái
bề mặt lớp phủ
06-12/2008 06-12/2008
Võ Thạch Sơn
Phạm Hồng Tuấn
11.1
Xác định và phân tích độ nhám
bề mặt lớp phủ bằng phương
pháp AFM
06-12/2008 06-12/2008
Võ Thạch Sơn
Phạm Hồng Tuấn
11.2
Xác định và phân tích hình thái
bề mặt lớp phủ bằng phương
pháp AFM
06-12/2008 06-12/2008
Võ Thạch Sơn
Phạm Hồng Tuấn
11.3
Xác định hình thái bề mặt lớp
phủ bằng phương pháp hiển vi
điện tử quét ESEM
06-12/2008 06-12/2008
Võ Thạch Sơn

12.2
Đo đạc và xác định độ bám
dính của lớp phủ
06-12/2008 06-12/2008
Võ Thạch Sơn
Nguyễn Thị P. Mai
12.3
Đo đạc và xác định hệ số ma
sát của lớp phủ
06-12/2008 06-12/2008
Võ Thạch Sơn
Nguyễn Thị P. Mai
12.4
Đo đạc và xác định chiều dày
của lớp phủ bằng phương pháp
Calotest
06-12/2008 06-12/2008
Võ Thạch Sơn
Nguyễn Thị P. Mai
13
Nội dung 11: Thử nghiệm tạo
lớp phủ TiN trên mũi khoan
01- 06/2009 01- 06/2009
Võ Thạch Sơn
Phạm Hồng Tuấn
13.1
Nghiên cứu công nghệ tạo lớp phủ
TiN trên mũi khoan
01- 06/2009 01- 06/2009
Võ Thạch Sơn

Nghiên cứu công nghệ tạo lớp phủ
đa lớp TiC/Ti(C,N)/TiN trên mảnh
cắt carbide cho mũi khoan
01- 06/2009 01- 06/2009
Phạm Hồng Tuấn
Nguyễn Tuấn Vũ
14.3
Nghiên cứu công nghệ tạo lớp phủ
đa lớp TiC/Ti(C,N)/TiN trên dụng
cụ tạo hình bằng carbide
01- 06/2009 01- 06/2009
Phạm Hồng Tuấn
Nguyễn Tuấn Vũ
14.4
Xây dựng chỉ tiêu đánh giá chất
lượng lớp phủ TiC/Ti(C,N)/TiN
cho vật liệu carbide
01- 06/2009 01- 06/2009
Phạm Hồng Tuấn
Nguyễn Tuấn Vũ
15
Nội dung 13: Thử nghiệm tạo
lớp phủ TiN trên khuôn ép nhựa
01- 06/2009 01- 06/2009
Võ Thạch Sơn
Phạm Hồng Tuấn
15.1
Nghiên cứu công nghệ tạo lớp
phủ TiN trên khuôn ép nhựa cấu
hình đơn giản bằng phương pháp

TiN trên khuôn ép nhựa cấu hình
phức tạp bằng phương pháp phún
xạ cao tần

01- 06/2009 01- 06/2009
Võ Thạch Sơn
Phạm Hồng Tuấn
16
Nội dung 14: Khảo nghiệm các
sản phẩm trong điều kiện công
nghiệp
06- 12/2009 06- 12/2009
Nguyễn Hữu Bính
Hoàng Vĩnh Sinh
Nguyễn Tuấn Vũ
16.1
Khảo nghiệm mũi khoan phủ
TiN trong điều kiện công nghiệp
06- 12/2009 06- 12/2009
Nguyễn Hữu Bính
Hoàng Vĩnh Sinh
Nguyễn Tuấn Vũ
16.2
Khảo nghiệm mảnh cắt carbide
có phủ đa lớp trong điều kiện
công nghiệp
06- 12/2009 06- 12/2009
Nguyễn Hữu Bính
Hoàng Vĩnh Sinh
Nguyễn Tuấn Vũ
Báo cáo tổng hợp kết quả Đề tài KC.05.12/06-10 * Hà nội 4/2010
tk16
III. SẢN PHẨM KH&CN CỦA ĐỀ TÀI, DỰ ÁN
1. Sản phẩm KH&CN đã tạo ra:
a) Sản phẩm Dạng I:
TT
Tên sản phẩm và chỉ tiêu chất
lượng chủ yếu
Đơn
vị đo
Số
lượng
Theo kế
hoạch
Thực tế
đạt được
1
Thiết bị công nghệ để tạo lớp phủ bằng
phương pháp phún xạ DC magnetron
(cải tạo từ thiết bị B30 sẵn có)
Bộ 01 01 01
2

phủ TiN 1-15mm
2-3µm
HV>2000
1.5-2 lần
Đạt được như đã
đăng ký
Mũi khoan,
doa Ø5
2
Mẫu mảnh cắt hợp kim phủ
TiC/Ti(C,N)/TiN
Chiều dày lớp phủ
Độ cứng lớp phủ
Tuổi thọ so với loại không
phủ TiC/Ti(C,N)/TiN 5-10µm
HV>2000
1.5-2 lần
Đạt được như đã
đăng ký

3
Mẫu khuôn ép nhựa phủ TiN
Chiều dày lớp phủ
Độ cứng lớp phủ

(Tạp chí, nhà xuất bản)
1
Báo cáo khoa
học chuyên
ngành
05 05
- Hội thảo Ck toàn quốc lần I, Tp
HCM 12/2008.
Hội thảo Ck toàn quốc lần II,Hà
nội, 11/2009.
- Hội nghị VLCR 6, Đà nẵng,
10/2009.
The Sixth International Conference
on Materials Engineering for
Resources, Nhật bản, 10/2009.
Hội nghị Đo lường toàn quốc lần thứ
V,5/2010
2
Bài báo khoa học
chuyên ngành
03 05
-04 bài trong Kỷ yếu hội nghị
-01 bài trong
Int.J.Soc.Mater.Eng.Resource
(special issue of ICMR 2009)
- Lý do thay đổi (nếu có):

d) Kết quả đào tạo:
Số lượng
T
Báo cáo tổng hợp kết quả Đề tài KC.05.12/06-10 * Hà nội 4/2010
tk18
- Lý do thay đổi (nếu có):
e) Thống kê danh mục sản phẩm KHCN đã được ứng dụng vào thực tế
TT
Tên kết quả
đã được ứng dụng
Thời gian
Địa điểm
(Ghi rõ tên, địa
chỉ nơi ứng dụng)
Kết quả
sơ bộ
1
2

2. Đánh giá về hiệu quả do đề tài, dự án mang lại:
a) Hiệu quả về khoa học và công nghệ:
(Nêu rõ danh mục công nghệ và mức độ nắm vững, làm chủ, so sánh với trình độ công
nghệ so với khu vực và thế giới…)
b) Hiệu quả về kinh tế xã hội:
(Nêu rõ hiệu quả làm lợi tính bằng tiền dự kiến do đề tài, dự án tạo ra so với các sản phẩm

GS.TS Võ Thạch Sơn
Báo cáo tổng hợp kết quả Đề tài KC.05.12/06-10 * Hà nội 4/2010
tk19
2 Lần 2
Nội dung 4: Nghiên cứu qui trình chế tạo lớp phủ TiN
bằng công nghệ phún xạ DC magnetron
Nội dung 5: Nghiên cứu qui trình chế tạo lớp phủ
TiN, Ti(C,N) bằng công nghệ hồ quang chân không.
Nội dung 6: Nghiên cứu qui trình chế tạo lớp phủ
nhiều lớp TiC/Ti(C,N)/TiN bằng công nghệ phún xạ
cao tần.
Nội dung 7: Xác định thành phần hoá học của lớp phủ
Nội dung 8: Xác định vi cấu trúc, thành phần pha của lớ
p
p
hủ bằng phương pháp nhiễu xạ tia X
Nội dung 9: Xác định hình thái bề mặt lớp phủ
Nội dung 10: Đánh giá cơ tính của lớp phủ: độ cứng,
độ bám dính, hệ số ma sát, chiều dầy.
Kết luận: Các sản phẩm của Đề tài đang hoạt động
tốt. Tính ổn định của sản phẩm sẽ tiếp tục được đánh
giá và thông báo trong các báo cáo định kỳ tiếp theo.
Người chủ trì:
GS.TS Võ Thạch Sơn


Báo cáo tổng hợp kết quả Đề tài KC.05.12/06-10 * Hà nội 4/2010
tk20
Nội dung 3: Chuẩn bị điều kiện công nghệ tạo lớp
phủ bằng phương pháp hồ quang chân không trên thiết
bị TINA900
Kết luận:
3) Đề tài đã hoàn thành các nội dung 1,2 và 3 trong
Hợp đồng theo đúng tiến độ
4) Các sản phẩm đã hoàn thành đang trong thời gian
vận hành thử nghiệm. Chất lượng của các sản phẩm này
đề nghị được thông báo trong các báo cáo định kỳ tiếp
theo
Người chủ trì:
GS.TS Võ Thạch Sơn
2 Lần 2
Nội dung 4: Nghiên cứu qui trình chế tạo lớp phủ TiN
bằng công nghệ phún xạ DC magnetron
Nội dung 5: Nghiên cứu qui trình chế tạo lớp phủ
TiN, Ti(C,N) bằng công nghệ hồ quang chân không.
Nội dung 6: Nghiên cứu qui trình chế tạo lớp phủ
nhiều lớp TiC/Ti(C,N)/TiN bằng công nghệ phún xạ
cao tần.
Nội dung 7: Xác định thành phần hoá học của lớp phủ
Nội dung 8: Xác định vi cấu trúc, thành phần pha của lớ
p
p

GS.TS Võ Thạch Sơn

III
Nghiệm
thu cơ
sở

Chủ nhiệm đề tài
(Họ tên, chữ ký)Thủ trưởng tổ chức chủ trì
(Họ tên, chữ ký và đóng dấu)
M1

Mục lục
Bảng các ký hiệu
Danh mục hình
Danh mục bảng
Mở đầu……………………………………………………………… … 1
Chương 1 Nghiên cứu công nghệ lắng đọng lớp phủ cứng TiN bằng phương
pháp phún xạ âm cực DC magnetron
1.1. Phương pháp phún xạ âm cực DC magnetron .15
1.1.1 Cơ sở lý thuyết của phương pháp phún xạ âm cực DC magnetron 15

1.3 Nghiên cứu nâng cao độ bám dính của lớp phủ cứng TiN lắng đọng bằng
phương pháp phún xạ DC magnetron 45
1.3.1 Tại sao phải nâng cao độ bám dính của lớp phủ TiN? 45
1.3.2 Các thông số ảnh hưởng đến độ bám dính của lớp phủ TiN 46
1.3.3 Nghiên cứu nâng cao độ bám dính của màng TiN với đế 46
1.3.4 Lắng đọ
ng lớp phủ TiN 50
1.4 Xác định các thông số công nghệ quá trình lắng đọng lớp phủ cứng TiN bằng
phương pháp phún xạ âm cực DC magnetron 52
1.4.1 Xác định nhiệt độ T
đế
và thiên áp đế V
đế
52
1.4.2 Xác định lưu lượng khí N
2
54
1.4.3 Xác định thành phần hóa học của lớp phủ TiN 56
1.4.4 Xác định tốc độ lắng đọng 56
Tài liệu tham khảo 58
Chương 2 Nghiên cứu công nghệ lắng đọng lớp phủ cứng TiN và TiCN
bằng phương pháp hồ quang chân không
2.1 Phương pháp hồ quang chân không (Vacuum Arc) 59
2.1.1 Nguyên lý làm việc của phương pháp hồ quang chân không. Hiệu ứng
“điểm Cathode” 59
2.1.2 Sơ đồ khối thiết bị của phương pháp hồ quang chân không để lắng
đọng
các lớp phủ TiN, TiC và TiCN 62
2.1.3 Các đặc tính và ưu điểm của phương pháp hồ quang chân không 62
2.1.4 Hiệu ứng “hạt macro” 64

2.3.4 Xác định tốc độ lắng đọng lớp phủ 78
2.3.5 Khảo sát độ cứng của lớp phủ 80
2.4 Nghiên cứu công nghệ lắng đọng lớp phủ TiCN bằng phương pháp hồ
quang chân không 81
2.4.1 Lớp phủ cứng TiCN 81
2.4.1.1 Cấu trúc của lớp phủ cứng TiCN 81
2.4.1.2 Hình thái bề mặt của TiCN 82
2.4.1.3 Thành phần hóa họ
c 83
2.4.1.4 Một số tính chất cơ, lý hóa của màng cứng TiCN 84
2.4.2 Xác định các thông số công nghệ lắng đọng lớp phủ cứng TiCN bằng
phương pháp hồ quang chân không 89