PHÁT XẠ ĐIỆN TỬ THỨ CẤP
Hướng dẫn: PGS.TS Lê Văn Hiếu
Thực Hiện: Nguyễn Văn Thọ
Phát xạ điện tử thứ cấp là gì?
Nguồn: Scanning electron microscopy (SEM) D.S. Su
CƠ SỞ LÝ THUYẾT
• Hệ số phát xạ thứ cấp

• I
s
Tổng dòng phát xạ
electron thứ cấp
• I
p
Tổng dòng phát xạ
electron sơ cấp

Characterization of the Dose Effect in Secondary Electron Emission
Prashanth Kumar
B.E, University of Madras, 2003
Tóm tắt lý thuyết lye và dekker
• n(x;E0)dx là số hạt thứ cấp được tạo ra
dưới năng lượng ban đầu E
0
của hạt tới
với độ dày dx và ở độ sâu x so với bề
mặt.
Characterization of the Dose Effect in Secondary Electron Emission
Prashanth Kumar
B.E, University of Madras, 2003
Tóm tắt lý thuyết lye và dekker

Trong đó dE/dx là năng lượng bị mất mát, còn là năng
lượng mà một electron thoát ra
Độ mất mát năng lượng của hạt sơ cấp được tính
bằng định luật Whiddington's: dE/dx = -E
p
/R trong
đó A là hằng số đặt trưng cho vật liệu, R độ xuyên
sâu.
R được xác định thông qua
n nằm trong khoảng 1,3 – 1,6
Tóm tắt lý thuyết Dionne
Characterization of the Dose Effect in Secondary Electron Emission
Prashanth Kumar
B.E, University of Madras, 2003
Hệ số phát xạ thứ cấp được xác định bằng công thức:
Trong đó
B xắc suất để hạt thoát ra khỏi bề mặt
Năng lượng excitation của điện tử thứ cấp
Hệ số hấp thụ của điện tử thứ cấp
A Hệ số hấp thụ của điện tử sơ cấp
d Độ xuyên sâu cực đại