LỜI CẢM ƠN
Trong suốt quá trình thực hiện khóa luận tốt nghiệp ngoài sự cố gắng
của bản thân, em đã nhận được sự quan tâm, giúp đỡ tận tình của các thầy
giáo, cô giáo và bạn sinh viên. Em xin gửi lời cảm ơn đến: Trường ĐHSP Hà
Nội 2. Các thầy giáo, cô giáo trong khoa Vật lý nói chung và trong tổ vật lý lý
thuyết nói riêng đã tạo điều kiện thuận lợi giúp em hoàn thành khóa luận này.
Đặc biệt em xin được bày tỏ lòng biết ơn chân thành tới giáo viên
hướng dẫn TS. Phạm Thị Minh Hạnh người đã trực tiếp tận tình chỉ bảo trong
suốt quãng thời gian em thực hiện và hoàn thành khóa luận.
Trong quá trình nghiên cứu, bản thân là sinh viên bước đầu tập làm
quen với việc nghiên cứu đề tài khoa học nên khóa luận của em không tránh
khỏi những thiếu sót. Để khóa luận được hoàn thiện hơn em rất mong nhận
được những ý kiến góp ý của quý thầy cô và các bạn.
Em xin chân thành cảm ơn!
Hà Nội, tháng 5 năm 2013
Sinh viện thực hiện
Đỗ Thị Huyền Trang
LỜI CAM ĐOAN
Em xin cam đoan đây là kết quả nghiên cứu khoa học riêng của em dựa
2
4. Đối tượng nghiên cứu
2
5. Phạm vi nghiên cứu
2
6. Phương pháp nghiên cứu
2
NỘI DUNG
3
CHƯƠNG1: CẤU TRÚC CỦA CÁC BÁN DẪN CÓ DẠNG TINH THỂ
3
1.1. Mạng tinh thể.
3
1.1.1. Mạng Bravais.
3
25
2.2. Tính chất quang của bán dẫn
31
2.2.1. Hệ thức tán sắc trong bán dẫn
31
2.2.2. Hệ số hấp thụ
34
2.2.2.1. Hệ số hấp thụ điện tử trong chất điện môi
34
2.2.2.2. Hệ số hấp thụ điện tử trong chất bán dẫn
35
KẾT LUẬN
39
TÀI LIỆU THAM KHẢO
40
1
2. Mục đích nghiên cứu
- Nghiên cứu một số tính chất vật lý của bán dẫn.
3. Nhiệm vụ nghiên cứu
- Nghiên cứu cấu trúc bán dẫn.
- Nghiên cứu một số tính chất vật lý của bán dẫn khối.
4. Đối tượng nghiên cứu
- Bán dẫn khối.
5. Phạm vi nghiên cứu
- Tính chất vật lý của bán dẫn khối.
6. Phương pháp nghiên cứu
- Thu thập tài liệu trên mạng, một số sách.
- Tổng hợp, xử lý, khái quát, phân tích tài liệu thu được.
- Nghiên cứu lý thuyết, cơ sở lý luận.
2
NỘI DUNG
CHƯƠNG1: CẤU TRÚC CỦA CÁC BÁN DẪN CÓ DẠNG TINH THỂ
1.1. Mạng tinh thể.
1.1.1. Mạng Bravais.
1.1.1.1 Nhóm tịnh tiến tinh thể.
trên có tính chất tuần hoàn theo hướng 0α.
3
Mọi tinh thể trong không gian ba chiều đều có tính bất biến (đối
xứng) đối với các phép tịnh tiến T e , T e , T e theo ba hướng nào đó
Oα, Oβ, Oγ, nghĩa là có tính tuần hoàn theo các hướng này. Trong mỗi tinh
thể có thể chọn 3 hướng khác này bằng nhiều cách khác nhau (xem hình
1.2 với tinh thể 2 chiều).
Hình 1.2: Tinh thể hai chiều.
Vì tinh thể là gián đoạn cho nên trong số tất cả các vectơ e , e , e
theo mỗi hướng tuần hoàn của tinh thể có một vectơ ngắn nhất a , a , a
1
2
3
Tập hợp tất cả các điểm có vecto bán kính R xác định bởi công thức
(1.1) tạo thành một mạng trong không gian gọi là mạng Bravais. Mỗi điểm
đó gọi là một nút của mạng. Các vecto a1 , a2 , a3 gọi là các vecto cơ sở của
mạng Bravais.
4
1.1.1.3 Ô cơ sở
Bộ ba vecto a1 , a2 , a3 gọi là các vecto cơ sở, chiều dài của chúng được
gọi là hằng số mạng. Hình hộp được tạo bởi các vecto cơ sở gọi là ô đơn vị
hay ô cơ sở.
Ô cơ sở là một thể tích không gian có tính chất như sau :
a. Khi thực hiện tất cả phép tịnh tiến tạo thành mạng Bravais, nghĩa là
tất cả phép tịnh tiến có dạng (1.1), thì tập hợp tất cả các ô thu được từ ô ban
đầu sẽ lấp đầy toàn bộ không gian, không để lại khoảng trống nào.
b. Hai ô khác nhau chỉ có thể có các điểm chung nằm trên mặt phân
cách của chúng.
c. Ô cơ sở có thể tích:
VC a1. a2 a3
(1.2)
1.1.1.4 Ô nguyên tố Wigner- Seitz
a2
a1
Hình 1.5 Mô tả ô cơ sở
Căn cứ vào tính chất đối xứng của các loại mạng không gian người ta
chia 14 mạng Bravais thành 7 hệ ứng với bảy loại ô sơ cấp khác nhau, được
trình bày trong bảng 1.1.1.5.
6
Bảng 1.1.1.5
Hệ
Tam tà (Triclinic)
Số mạng tinh thể
Tính chất
a1 a2 a3
+ Hệ tứ giác
Tứ giác (Tetragonal)
+ Hệ tứ giác tâm
a1 a2 a3
900
khối
+ Hệ lập phương
+ Hệ lập phương
a1 a2 a3
Lục giác (Hexagonal) + Hệ lục giác
900
1200
7
1.1.1.6 Cấu trúc tinh thể
Trong một tinh thể vật lý, mỗi ô cơ sở của mạng Bravais có thể chứa
nhiều nguyên tử cùng loại hoặc khác loại nẳm ở các điểm có vectơ bán kính
xác định. Mạng Bravais cùng với tập hợp các vecto bán kính của tất cả các
nguyên tử trong ô cơ sở tạo thành một cấu trúc tinh thể. Ta thường gặp các
cấu trúc tinh thể như sau :
a. Cấu trúc loại kim cương: gồm hai mạng Bravais lập phương tâm
diện lồng nhau, nút của một mạng nằm trên đường chéo không gian của mạng
kia và xê dịch đi một đoạn bằng đường chéo đó. Ô cơ sở chứa hai nguyên tử
cùng loại nằm ở các điểm có tọa độ là O và nằm ở các điểm có tọa độ là
a
(i j k ). Cấu trúc này được mô tả như hình 1.6.a.
4
b. Cấu trúc loại kẽm pha: gồm hai loại nguyên tử khác nhau với số
lượng bằng nhau nằm trên hai mạng lập phương tâm diện lồng vào nhau
giống như mạng kim cương, do đó mỗi nguyên tử có 4 nguyên tử loại khác
nằm ở 4 nút lân cận gần nhất.
r n1 a1 n2 a2 n3 a3 (1.3)
trong đó: n1 , n2 , n3 là các số nguyên, a1 , a2 , a3 là các vecto cơ sở.
Mạng đảo là mạng không gian được xác định từ ba vecto b1 , b2 , b3 được
xác định như sau:
a1 a3
b1 2
a1. a2 a3
a3 a1
(1.4)
b 2 2
a1. a2 a3
a1 a2
b3 2
a1. a2 a3
với b1 , b2 , b3 là các vecto cơ sở của mạng đảo.
Tính chất 3: Hình hộp chữ nhật dựng nên từ ba vecto cơ sở của mạng
đảo b1 , b2 , b3 được gọi là ô sơ cấp của mạng đảo và có thể tích:
3
(2
)
(1.8)
V b1. b2 b3
VC
g
C
trong đó VC là thể tích ô sơ cấp của mạng thuận.
VC a1. a2 a3
Định lý 1: Vecto mạng đảo
G
hb
1 kb2 lb3
(1.9)
giữa kim loại và điện môi, cỡ 104 m 1010 m. Điện trở suất của kim loại
nằm trong khoảng 108 m 106 m. Các vật liệu có điện trở suất lớn hơn
8
10 m được coi là điện môi. Cũng có thể phân loại các vật liệu trên dựa vào
sự phụ thuộc của điện trở suất theo nhiệt độ:
Đối với nhiều kim loại, điện trở suất ρ có thể coi với gần đúng như tỷ
lệ với nhiệt độ tuyệt đối T:
0 (1 t ) 0
T
T0
(2.1)
trong đó, ρ0 là điện trở suất ở 0oC, là hệ số nhiệt của điện trở suất.
Với một số kim loại tinh khiết
1
K hay T0 =273K.
273
Bán dẫn có điện trở suất phụ thuộc nhiệt độ theo biểu thức:
0 e B /T
(2.2)
và trong vùng hóa trị không có lỗ trống.
Ở nhiệt độ T > 0oC, do thu thêm năng lượng một số electron từ đỉnh
vùng hóa trị có thể vượt qua vùng cấm và nhảy lên đáy vùng dẫn trở thành
electron tự do (electron dẫn), làm xuất hiện những lỗ trống ở vùng hóa trị.
Nhiệt độ càng cao, số electron dẫn và lỗ trống càng lớn.
Ta hãy tính toán mật độ electron và lỗ trống trong bán dẫn ở trạng thái
cân bằng nhiệt động. Để cho đơn giản ta phải giả thiết bán dẫn có mặt đẳng
12
năng hình cầu và quy luật tán sắc bậc hai ở cả vùng dẫn và vùng hóa trị. Giả
thiết này là phù hợp vì rằng nhiệt độ thông thường, mật độ electron và lỗ
trống không lớn, nên electron và lỗ trống chỉ chiếm các trạng thái ở gần đáy
vùng dẫn và đỉnh vùng hóa trị.
Nồng độ electron dẫn được tính:
n
f e ( E ) Z e ( E )dE
(2.4)
Ec
Trong đó: fe(E) là hàm phân bố Fecmi-Dirac.
Z e ( E ) là mật độ trạng thái electron ở gần đáy vùng dẫn.
1 2m * 2 ( E E )1/ 2
ne 2 2e E E c dE
2 E
e k T 1
(2.5)
F
c
B
Ở nhiệt độ thông thường, với vùng dẫn ta có E EF
k BT , vì vậy hàm
phân bố Fermi – Dirac f e ( E ) có thể coi gần đúng bằng :
1
fe ( E )
e
E EF
k BT
1
Ec EF
kB T
1
1 2me* 2 k T
me*k BT 2
k T
2
n 2 2 e E Ec e dE 2
e
2
2
E
2
c
NC e
Ec EF
k BT
(2.7)
f h ( E ) 1 fe ( E )
(2.11)
Thực hiện phép tính toán tương tự như đối với electron, ta được:
3
2
m *k T
p 2 h B2 e
2
EV EF
k BT
NV e
EV EF
kBT
(2.12)
3
(2.14)
B
*
*
14
3
2
Eg
e k T
B
(2.15)
Biểu thức (2.15) không chứa mức năng lượng Fecmi EF . Đó là biểu
thức của định luật lối lượng hiệu dụng: ở một nhiệt độ xác định, tích của mật
độ electron và lỗ trống là một hằng số.
Trong trường hợp bán dẫn tinh khiết, mỗi electron khi chuyển từ vùng
3/4
e
Eg
2 k BT
(2.19)
Cho n = p, từ các biểu thức (2.7), (2.12) và thay EC EV Eg ta được:
*
3
2
m k T
2 e B2 e
2
Ec EF
k BT
e
2 EF
k BT
1
3
m*
EF Eg k BT ln h*
2
4
me
Từ đó, ta thấy vị trí các mức Fermi trong bán dẫn tinh khiết phụ thuộc
bậc nhất vào nhiệt độ. Nếu mh* me* thì EF
Eg
tức là mức Fermi nằm
2
đúng giữa vùng cấm.
Trong bán dẫn tinh khiết cả electron và lỗ trống đều tham gia quá trình
dẫn điện. Độ dẫn điện như thế được gọi là độ dẫn riêng. Trong bán dẫn thuần,
n p ni , do đó độ dẫn điện riêng được tính bằng biểu thức:
15
i nee peh ni e( e h )
(2.21)
trong đó e ; h là độ linh động của electron và lỗ trống.
Thay giá trị ni từ công thức (2.19) vào (2.21), ta được:
3
Eg
i i (0)e
2 k BT
(2.23)
Trong đó
3
k T 2
i (0) 2e B 2 me mh
2
*
*
3/4
P+. Về toàn bộ, tinh thể vẫn trung hòa về điện. Nguyên tử tạp chất có khả
năng cung cấp electron, trường hợp này gọi là nguyên tử đôno (đôno nghĩa là
16
cho). Như vậy trong trường hợp Si pha tạp chất P, việc tạo thành electron dẫn
từ các nguyên tử tạp chất không kèm theo sự tạo thành lỗ trống .
E
SI
SI
SI
SI
P+
SI
e
Ec
SI
Eg
tố Si trong mạng tinh thể. Tuy nhiên để tạo thành liên kết với 4 nguyên tử Si ở
xung quanh, nguyên tử tạp chất (B chẳng hạn) còn thiếu một electron (hình
2.2 a). Chỉ cần thu được năng lượng nhỏ, một electron từ mối liên kết gần đó
có thể đến chiếm trạng thái thiếu liên kết đó. Ở mối liên kết vừa bị mất
electron đã tạo thành một lỗ trống. Một electron khác có thể bứt khỏi một mối
liên kiết để tái hợp với lỗ trống này, như vậy làm xuất hiện lỗ trống ở vị trí
khác. Lỗ trống có thể chuyển động trong tinh thể. Lỗ trống có tính chất như
một hạt mang điện tích dương, vì vậy khi có một điện trường tác dụng vào
tinh thể bán dẫn, lỗ trống chuyển động có hướng và tạo thành dòng điện.
Nguyên tử tạp chất đã nhận electron trở thành ion âm (ion B-). Ta gọi nó là
nguyên tử axepto (axepto có nghĩa là nhận).
E
SI
SI
SI
SI
B-
SI
Ec
SI
một khoảng E. Chỉ cần thu được năng lượng nhỏ Ea electron có thể từ vùng
hóa trị bị lấp đầy chuyển lên mức axepto làm xuất hiện lỗ trống trong vùng
hóa trị. Vì vậy, Ea là năng lượng ion hóa exepto. Với Si pha B, Ea = 0,045eV,
với Si pha Ga, Ea = 0.065eV, với Si pha In, Ea = 0,16eV.
2.1.2.2.3 Tính mật độ hạt tải điện trong bán dẫn pha tạp
Trước hết, ta hãy xét trường hợp bán dẫn pha tạp chất đôno có mật độ
tạp chất Nd (số nguyên tử tạp chất đôno trên một đơn vị thể tích bán dẫn). Giả
sử tạp chất có hóa trị 1, tức là mỗi nguyên tử tạp chất có thừa 1 electron
(chẳng hạn P trong Si). Ở nhiệt độ T nào đó, một số nguyên tử tạp chất bị ion
hóa, trở thành ion tạp chất, mang điện dương, kí hiệu là pd. Những electron
bứt ra từ những nguyên tử bị ion hóa chuyển lên vùng bán dẫn, trở thành
electron dẫn. Ta gọi nd là mật độ những nguyên tử đôno chưa bị ion hóa, thì:
pd = Nd - nd
(2.26)
Nếu như ở mức năng lượng đôno, mỗi trạng thái có hai electron có spin
đối song, thì xác suất electron chiếm trạng thái đó phải được xác định bởi hàm
phân bố Fecmi – Dirac, trong đó thay cho E là năng lượng ứng với mức đôno
đã được ký hiệu là Ed như ở trên.
Tuy nhiên, trên mức đôno lại chỉ có một electron. Electron này có thể
có một trong hai trạng thái spin.Vì vậy trạng thái đôno chưa bị ion hóa có
trọng số thống kê gấp hai lần trạng thái đôno ion hóa. Áp dụng hàm phân bố
Boltzmann, có thể coi như:
pd
nd
1
2e
(2.28)
(2.29)
1
Mật độ ion đôno dương là:
pd
N
1
e
2
d
( EF Ed )
k B .T
1
Ta xét tiếp bán dẫn được pha tạp chất axepto với mật độ Na. Lý luận
tương tự như trên, ta thấy mật độ lỗ trống trên mức axepto (tức là mật độ
axepto chưa bị ion hóa) là:
pa
Na
1
Trong trường hợp tổng quát, ta giả thiết bán dẫn có pha tạp cả đôno lẫn
axepto với mật độ nguyên tử tương ứng là Nd và Na.
Áp dụng điều kiện về sự trung hòa điện của mỗi thể tích bán dẫn là:
n + na= p + pd
(2.32)
trong đó n là mật độ electron dẫn, p là mật độ lỗ trống được tính theo biểu
thức (2.7) và (2.12).
Với các biểu thức của pd và na ở (2.26) và (2.31) ta có thể viết lại điều
kiện trung hòa điện như sau:
(n + nd) – (p + pa) = Nd – Na
20
(2.33)
Để đơn giản hơn trong việc tính toán, lúc này trong biểu thức (2.7); (2.12)
ta có thể chọn gốc tính năng lượng ở đáy vùng dẫn, tức là: Ec 0; Ev Eg .
Sau đó thay vào (2.33) các biểu thức (2.28), (2.30) và (2.7), (2.12) khi đó
(2.33) trở thành:
N c .e
EF
k B .T
Na
*
e
2 k BTm
Với: N c 2
2
h
(2.35)
3
2 k BTmh* 2
N v 2
2
h
Xét riêng bán dẫn chỉ pha đôno (bán dẫn loại n) thì Na = na = 0 (không
có axepto). Khi đó (2.34) trở thành:
N c .e
EF
k B .T
EF
k B .T
N
2e
d
E F Ed
k B .T
1
Và ta thu được phương trình cho e
2
(2.37)
EF
k BT
:
kE T 1 kE T kE T N d kE T
e 0
e e e
2
e
4
Nc
d
d
B
B
21
(2.39)
Ở đây Ed = -|Ed| vì mức năng đôno ở dưới đáy vùng dẫn.
Khi T 0 thì:
Ed
8Nd k T
e
Nc
1
thành do electron được giải phóng từ mức đôno chứ không phải từ vùng hóa
trị.
Khi nhiệt độ T tăng lên tức là:
Ed
8N d k T
e
Nc
B
1
thì từ (2.39), áp dụng phép tính gần đúng 1 1
e
EF
k BT
2
với
1 ta có:
Nd