LỜI CẢM ƠN
Sau khoảng thời gian khá dài nghiên cứu và tiến hành thực nghiệm, cuối
cùng tôi cũng hoàn thành luận văn thạc sĩ: “Nghiên cứu chế tạo màng mỏng
Lanthanum Lithium Titanate”
Trong suốt quá trình thực nghiệm, tôi đã nhận được sự giúp đỡ được rất
nhiều người. Vì thế, nay tôi xin gửi lời cảm ơn chân thành tới:
- Ba Mẹ là người đã động viên, khích lệ tôi trong suốt thời gian học tập,
nghiên cứu.
- PGS.TS. Lê Văn Hiếu: người Thầy hướng dẫn đã theo tôi suốt thời gian
làm đề tài, đã giúp đỡ và tạo điều kiện để tôi hoàn thành được luận văn.
- Nguyễn Đức Hảo: người đã trực tiếp giúp đỡ tôi giải quyết rất nhiều
vướng mắc trong thực nghiệm.
- Quang, Trường, Phong và các bạn trong lớp Cao Học …
- Phòng Công nghệ nano trường Đại Học Quốc Gia.
- Phòng Vật liệu kỹ thuật cao trường Đại Học Khoa học Tự Nhiên. Tp Hồ Chí Minh, ngày 15/12/2010
Học viên Nguyễn Thị Cát Uyên
MỤC LỤC
DANH MỤC CHỮ VIẾT
TẮT……………………………………………… …1
DANH MỤC BẢNG
BIỂU…………………………………………….…… …2
1.3.2. Chất điện ly
rắn:…………………………………………………29
1.4. TỔNG QUAN VỂ VẬT LIỆU LANTHANUM LITHIUM
TITANATE [1,8]
…………………………………………………… …………30
1.4.1. Cấu trúc tinh thể
Perovskite:…………………………………….30
1.4.2. Cấu trúc tinh thể Lanthanum lithium titante
(LLTO)……… ….31
1.4.3. Tổng quan tình hình nghiên cứu về vật liệu
LLTO………….….35
1.5. PHƯƠNG PHÁP ĐO PHỔ TỔNG TRỞ ĐIỆN HOÁ
(EIS):[2,11]….36
1.5.1. Giới
thiệu…………………………………………………….….36
1.5.2. Sơ lược về lý thuyết phép đo tổng trở điện
hóa…………………36
1.5.3. Kỹ thuật
đo:………………………………………………… …40
PHẦN THỰC
NGHIỆM…………………………………………………….… 43
CHƯƠNG 2 THỰC NGHIỆM CHẾ TẠO BIA GỐM VÀ MÀNG
LLTO …43
2.1. SƠ LƯỢC VỀ QUY TRÌNH CHẾ TẠO BIA GỐM
LLTO:…… …43
2.1.1. Chọn nguyên liệu đầu
vào:………………………………… …43
2.1.2. Quy trình thực nghiệm chế tạo bia gốm
LLTO:….………… …43
2.2. QUÁ TRÌNH NGHIỀN:
bay…………………….………………….… …52
2.5.3. Quá trình ủ
nhiệt……….……….……………………….………52
CHƯƠNG 3 KẾT QUẢ VÀ THẢO
LUẬN.………………………………… 53
3.1. CÁC KẾT QUẢ TỪ QUÁ TRÌNH TẠO BIA
GỐM……….……… 53
3.1.1. Phân tích khối lượng riêng bằng phương pháp
archimede… 53
3.1.2 Kết quả phổ nhiểu xạ tia X
: ………………………………… 54
3.1.3. Kết quả phân tích phổ
raman……… …………………….…….57
3.1.4. Kết quả đo phổ tổng trở điện
hóa:.………………………… 59
3.1.5. Kết quả đo
SEM…………………………………………… 61
1
HVCH: Nguyễn Thị Cát Uyên CBHD: PGS.TS. Lê Văn HIếu
DANH MỤC BẢNG BIỂU
Bảng 1.1: Độ dẫn điện riêng của một số loại vật liệu
Bảng 1.2: Tọa độ các nguyên tử trong ô nguyên tố LLTO
Bảng 1.3: Một số kết quả nghiên cứu về vật liệu LLTO trên thế giới
Hình 1.16: Tinh thể AgCl
Hình 1.17: Tinh thể CaTiO
3
Hình 1.18: Tinh thể SrTiO
3
Hình 1.19: Ô nguyên tố của tinh thể LLTO
Hình 1.20: Cấu trúc mạng LLTO
Hình 1.21: Mạng tinh thể LLTO
Hình 1.22: Mạch tương đương của một tế bào điện hóa đơn giản
Hình 1.23: Đồ thị của tế bào điện hóa đơn giản
Hình 1.24: Đồ thị tổng trở và đồthị Bode của mạch gồm điện trở nối tiếp với tụ
3
HVCH: Nguyễn Thị Cát Uyên CBHD: PGS.TS. Lê Văn HIếu
Hình 1.25: Mạch tương đương của một tế bào điện hóa đơn giản gồm R
sol
, C
dl
,
R
ct
Hình 1.26: Đồ thị của tế bào điện hóa đơn giản gồm R
sol
, C
dl
, R
ct
Hình 3.10: Phổ X-ray của màng mỏng LLTO trên đế Si
Hình 3.11: Phổ Raman của màng mỏng LLTO trên đế Si
Hình 3.12: Phổ Raman trích dẫn từ liệu [16]
Hình 3.13: Phổ truyền qua của màng trên đế thủy tinh
Hỉnh 3.14: Phổ truyền qua của màng LLTO 6
HVCH: Nguyễn Thị Cát Uyên CBHD: PGS.TS. Lê Văn HIếu
tạo hình
Vật liệu dạng bột Sản phẩm sau khi nung Sản phẩm sau khi tạo hình
nung
Hình 1.1:
Phác thảo sơ đồ công nghệ chế tạo gốm sứ
CHƯƠNG 1 LÝ THUYẾT TỔNG QUAN
1.1. QUY TRÌNH CHẾ TẠO BIA GỐM [3,4] :
1.1.1. Khái niệm gốm sứ :
Gốm sứ (ceramic) là những sản phẩm được tạo hình từ những nguyên liệu
dạng bột khi nung ở nhiệt độ cao, chúng kết khối, rắn như đá và có nhiều đặc
tính tốt: cường độ cơ học cao, bền nhiệt, bền hóa, bền điện. Một số loại gốm kĩ
thuật còn có các tính chất đặc biệt như tính áp điện, tính bán dẫn hoặc có độ
cứng rất cao (ngang kim cương).
1.1.2. Sơ đồ công nghệ :
Về cơ bản, sơ đồ công nghệ để tạo nên gốm sứ gồm :
- Nguyên liệu ở dạng tự nhiên hoặc được phối liệu theo những tỉ lệ
thành phần và cỡ hạt cần thiết theo đơn phối liệu.
- Nghiền đủ mịn
nghiền và bột cần nghiền. Thể tích của hình trụ có thể từ một lít đến vài mét
khối. Tỷ lệ giữa khối lượng bi nghiền và khối lượng bột có thể là 5 đến 10. Bi
nghiền được làm từ gốm sứ, thép cứng hoặc các loại kim loại cứng. Bột nghiền
có thể ở dạng ướt hay dạng khô.
- Phương pháp cạ sát bi nghiền (attritor mills):
Thiết bị gồm một hình trụ rỗng đứng yên, một trục quay thẳng đứng với
các cánh tay được sắp xếp lệch nhau. Hoạt động nghiền diễn ra nhờ các cánh
tay quay tác động vào bi nghiền. Tốc độ trục quay có thể lên đến 250 vòng/phút.
Trong nhiều trường hợp, hạt bột sau khi nghiền bằng phương pháp này có kích
thước nhỏ hơn phương pháp tung hứng bi nghiền.
Bi nghi
ề
n
C
ố
i nghi
ề
n
Quá trình nghiền ngoài tác dụng nghiền mịn vật liệu tới cỡ hạt cần thiết,
nó còn làm tăng mức hoạt hoá bề mặt hạt vật liệu và làm đồng nhất phối liệu do
kết hợp trộn nghiền đồng thời trong máy nghiền.
Phương thức nghiền: có thể tiến hành nghiền riêng hay nghiền chung.
Phương pháp nghiền: có thể nghiền ướt hay nghiền khô, nghiền liên tục hay
9
HVCH: Nguyễn Thị Cát Uyên CBHD: PGS.TS. Lê Văn HIếu
nghiền gián đoạn. Trong công nghệ gốm sứ, người ta thường dùng phương
pháp nghiền ướt, gián đoạn để nghiền mịn nguyên liệu.
Các ưu điểm của nghiền bi ướt so với nghiền khô:
- Khi nghiền ướt, sức căng bề mặt nước sẽ giúp tăng cường quá trình
nghiền.
- Đạt được độ đồng nhất cao vì vừa có tác dụng nghiền và vừa có tác
dụng trộn đều. Nghiền khô đạt độ đồng nhất kém do phối liệu nằm ở các
góc cạnh, phần hạt mịn thường dính vào máy, bi nghiền ít tham gia vào
quá trình trộn.
- Tiêu tốn năng lượng để nghiền ít hơn nhiều so với nghiền khô.
Các phối liệu có thể được nghiền riêng biệt tới cỡ hạt cần thiết rồi mới
nghiền trộn với nhau. Thời gian nghiền luôn được xác định bằng thực nghiệm,
lấy độ mịn cần đạt được làm thang đo.
Để đảm bảo tính chất của sản phẩm đạt yêu cầu mong muốn, điều quan
trọng là trong quá trình nghiền không được làm thay đổi thành phần của
nguyên liệu (nhất là gốm sứ kỹ thuật), nghĩa là lượng hao mòn bi nghiền lúc
thể lên đến 400 MPa.
Các gốm sứ kỹ thuật có thể ép ở áp suất cao. Về nguyên tắc, khi ép người
ta cố gắng ép ở áp suất cao nhất có thể, nhưng áp suất ép cao cũng làm mất độ
đồng nhất, tạo sự phân lớp trong mẫu ép.
Do ma sát giữa các hạt bột với thành khuôn ép và giữa chúng với nhau
nên mật độ của sản phẩm sau khi ép là không đồng đều, đặc biệt là ở các góc,
cạnh. Với mật độ không đồng đều thì khi nung ta sẽ nhận được sản phẩm sau
cùng có độ co rút không đồng đều.
Khi ép, ngoài lực ma sát giữa các hạt vật liệu với nhau, lực ma sát giữa
vật liệu và khuôn ép ảnh hưởng đến lực ép, thì lượng không khí lẫn trong mẫu
Hình 1.6: Ví dụ về lớp áp suất trong mẫu ép.
11
HVCH: Nguyễn Thị Cát Uyên CBHD: PGS.TS. Lê Văn HIếu
ép cũng làm cho mẫu ép không đồng nhất, thậm chí tạo lỗ bọng trong mẫu ép.
Để làm lực ép lên mẫu đồng đều hơn, người ta dùng phương pháp ép hai cấp.
Cấp đầu tiên ép chậm với áp suất nhỏ để loại bớt không khí ra ngoài, sau đó
mới ép ở áp lực cao dần.
Ảnh hưởng của quá trình tạo hình:
Dù tạo hình bằng phương pháp nào sản phẩm lúc mới tạo hình cũng đòi
hỏi phải đạt yêu cầu về hình dáng, kích thước mật độ đồng đều, không cong
vênh, rạn nứt, có vết xước hay rỗ mặt. Ngoài nguyên nhân khách quan do cơ
cấu máy móc thiết bị, các khuyết tật này còn có nguyên nhân là do phối liệu
gây ra (độ ẩm không đồng đều ). Các khuyết tật này ảnh hưởng rất lớn đến tính
Sản phẩm sau khi tạo hình Sản phẩm sau khi nung
(b)
12
HVCH: Nguyễn Thị Cát Uyên CBHD: PGS.TS. Lê Văn HIếu
Khi sấy, hơi ẩm sẽ thoát ra. Nếu chúng thoát ra đột ngột, phần nước ở trên
bề mặt hay sát bề mặt thoát ra dễ dàng nhưng hơi ẩm bên trong lòng sản phẩm
thoát ra rất khó, do đó áp suất riêng phần của nó ở những vị trí nước tập trung
sẽ tăng đột ngột. Nếu áp suất đó vượt quá lực liên kết của các hạt sẽ gây ra hiện
tượng nổ sản phẩm ngay lúc sấy (hay lúc nung). Về nguyên tắc, mục đích sấy
là loại nước sao cho nhanh nhất mà không làm biến dạng hay nứt vỡ sản phẩm.
Nước liên kết có thể phân làm 2 loại:
- Nước liên kết hoá học, không thể tách được khi sấy.
- Nước liên kết lý học.
Nước trong hình được mô tả là nước liên kết lý học, chưa xét tới nước
trong cấu trúc, tức là nước liên kết hoá học. Người ta chia quá trình tách nước
khi sấy làm 3 giai đoạn, tương ứng với các giai đoạn trong công nghệ sấy (hình
1.8).
Nước liên kết với nhau, tạo lớp vỏ dày (hình 1.8a) quanh các hạt vật liệu;
khi lớp này bay hơi, các hạt vật liệu dịch chuyển sát dần vào nhau, vật thể co
dần.
Vỏ nước liên kết đủ dày, tới mức các hạt vật liệu rất sát, tiếp xúc điểm
hoặc tiếp xúc mặt với nhau. Nước lấp đầy không gian giữa chúng, vật liệu
không co thêm khi nước bay hơi (hình 1.8b).
các quá trình lý hóa, thường xảy ra kế tiếp nhau hay xảy ra cùng lúc và chúng
lại có tác dụng tương hỗ lẫn nhau. Có thể xảy ra các hiện tượng chính dưới
đây :
- Biến đổi thể tích kèm theo mất nước liên kết lý học.
- Biến đổi thành phần khoáng bao gồm mất nước liên kết hóa học,
biến đổi cấu trúc tinh thể khoáng cũ (kể cả biến đổi dạng thù hình).
- Các cấu tử phản ứng với nhau để tạo ra pha mới.
- Hiện tượng kết khối.
14
HVCH: Nguyễn Thị Cát Uyên CBHD: PGS.TS. Lê Văn HIếu
Một số khái niệm quan trọng trong công đoạn nung:
Hiện tượng kết khối:
Là quá trình sít đặc và rắn chắc lại của các phần tử khoáng vật (sản phẩm)
dạng bột tơi dưới tác dụng của nhiệt độ hay áp suất, hoặc tác dụng đồng thời
của cả hai yếu tố đó. Vật thể đã kết khối có cường độ cơ học cao, độ xốp thấp
và khả năng hút nước nhỏ, mật độ hay khối lượng thể tích sẽ lớn nhất.
Khoảng kết khối:
Là hiệu số giữa nhiệt độ kết thúc quá trình và nhiệt độ bắt đầu kết khối
(xác định được bằng cách theo dõi diễn biến các tính chất của mẫu nung theo
nhiệt độ). Nhiệt độ bắt đầu kết khối là nhiệt độ mà tại đó các tính chất bắt đầu
- Tốc độ nung: tốc độ tăng hoặc giảm nhiệt độ trong một đơn vị thời
gian.
Xét về hiệu quả kinh tế, để tiết kiệm năng lượng, tăng năng suất, chu kỳ
nung càng ngắn càng tốt. Tuy nhiên, do các điều kiện kỹ thuật khác (thời gian
biến đổi hoá lý cần thiết trong phối liệu, độ bền cơ của vật nung, độ bền của lò
nung, kết cấu lò,…), không thể nung quá nhanh được. Trong kỹ thuật nung,
phải tính đến tốc độ tăng hoặc giảm nhiệt độ một cách thích hợp.
- Môi trường nung: tùy yêu cầu kĩ thuật cụ thể, môi trường khí trong
lò cần duy trì ở chế độ oxyt hoá (dư không khí), môi trường khử (thiếu
không khí) hoặc trung tính (cháy vừa hết). Ngoài ra, còn có thể có những
yêu cầu đặc biệt khác như nung trong môi trường khí nitơ, nung chân
không.
Chế độ nung bao gồm các quá trình:
- Nâng nhiệt độ với tốc độ cần thiết.
- Thời gian duy trì ở nhiệt độ cao.
- Quá trình giảm nhiệt với tốc độ cần thiết.
Tốc độ nâng nhiệt độ lúc nung sản phẩm gốm sứ phụ thuộc chủ yếu vào
quá trình biến đổi các cấu tử trong phối liệu theo nhiệt độ và đặc tính theo từng
loại sản phẩm nhất định, trong đó có xảy ra quá trình biến đổi thù hình, hiệu
ứng thu toả nhiệt, phản ứng hoá học, kết khối ….
Ứng với quá trình trên trong sản phẩm vật chất có trạng thái khác nhau:
cấu trúc thay đổi, lực liên kết giữa chúng cũng khác nhau. Do đó nếu tốc độ
nâng nhiệt không hợp lý sẽ dẫn đến các khuyết tật, thậm chí sản phẩm bị phá
huỷ hoàn toàn.
Nói chung đối với sản phẩm lớn, thành dày, hình dáng phức tạp thì phải
nâng nhiệt độ từ từ; còn đối với loại sản phẩm bé, mỏng, đơn giản thì cho phép
nâng nhanh nhiệt độ.
16
HVCH: Nguyễn Thị Cát Uyên CBHD: PGS.TS. Lê Văn HIếu
Nhiệt độ nung hợp lý (lý thuyết) có thể tính toán được khi biết thành phần
trong điều kiện thông thường phải nung đến nhiệt độ không nhỏ hơn 0,8T
nc
(T
nc
: nhiệt độ nóng chảy của cấu tử chính). Tất nhiên nhiệt độ này không hoàn toàn
chính xác mà phải được xác định bằng thực nghiệm trong vùng lân cận. Ngoài
ra chế độ làm nguội sau khi nung cũng ảnh hưởng nhiều đến chất lượng sản
17
HVCH: Nguyễn Thị Cát Uyên CBHD: PGS.TS. Lê Văn HIếu
phẩm. Làm nguội không đúng quy cách có thể làm xuất hiện những vết nứt trên
sản phẩm. Do đó cần làm nguội từ từ để nhiệt độ trong xương đồng đều, giảm
bớt ứng suất lực sinh ra trong quá trình chuyển tiếp.
1.2. QUY TRÌNH TẠO MÀNG LLTO [7,8,17]:
1.2.1.
Tổng quan về phương pháp bốc bay
Trong
khoa
học
kỹ
thuật, màng mỏng
là
l
ớp
ới
hạn
khi
mà
các
hiệu
ứng
vật
lý
và
tí
nh
chất
của nó
t
hể
mỏng
được
đề
cập
trong
các
công
nghệ
vật
liệu
và
li
nh
k
i
ện
điện
mỏng
phát triển
vô
cùng
đa
dạng,
gồm
nhiều
phương
pháp
khác
nhau, có thể
chia
các
phương
pháp
đó
CVD)
- Phương
pháp
lắng
đọng
pha
hơi
vật
lý ( PVD)
-
Phương
pháp
hóa
và
hóa
h
ơi
ngưng
tụ
tạo
ra
bằng phương
pháp
vật
lý,
sau
đó
hơi
này
lắng
đốt
nóng
vật
liệu
cần
bốc
bay (hay
còn
gọi
là
vật
liệu
gốc)
bằng
thuyền
có
nhiều
cách
hoá
hơi
vật
l
ý
khác
như
hoá
hơi
bằng
chùm
tia
điện
l
ượng
cao (phún
xạ
).
18
HVCH: Nguyễn Thị Cát Uyên CBHD: PGS.TS. Lê Văn HIếu Để
nhận
được
màng
mỏng
tinh
khiết
nh
ư
nói
chung
đều
cần được
thực
hiện trong chân không cao (10
-6
– 10
-4
torr) hoặc siêu cao ( 10
-9
torr)
.
Khi
áp suất cao, nếu
dòng
va
chạm
của phân
t
h
ì
nh
t
hành
có
t
hể
bị
nhiễm
tạp
chấ
t
t
ừ
phân
tử
khí
trong
buồng.
Trong
t
hực
nghiệm
,
n
gười
ta
dùng
che
t
huyền
(che
nguồn
bốc
bay)
nên
sạch
tinh
khiết,
che
thuyền
được
mở ra
để
hơi
từ nguồn
bốc
bay
lên
đế
.
tụ
là
sự
tích
t
ụ
màng
mỏng
trên
đế
(mọc
màng).
Khoa
học
cơ
vật
chất
và
xác
định
điều
kiện
quá
bão
hoà
t
rên
đế.
Trong
l
ắng
hơi
và khí.
Sự
h
ì
nh
t
hành
hơi,
nếu
như
nguồn
tạo
ra
nó
là
pha
th
ì
gọi
là
thăng
hoa.
Cả
hai
quá
t
r
ì
nh
đều
là
sự
hóa
bốc
bay
nhiều
khi
lại
là
rất bất
lợi
cho
công
nghệ
chế
tạo
màng.Hình
thức
hóa
học
thường bị
phá
hủy
rất
nhanh,
cho
nên
rất
khó
h
ì
nh
t
As
có
áp
suất
thấp
hơn
cho nên
nó
bốc
bay
trước
và
nhanh
hơn
Ga,
.
1.2.1.1. Ngưng tụ các hợp chất bảo toàn hợp thức
Trong
các
hợp
chất
hai
thành
phần
hoặc
tinh
thể
phân
tử
có
những
như
trong pha
rắn.,
thành
phần
hợp
chất
của
màng
mỏng
nhận
được
bằng
phương
pháp
bay
trực
tiếp
từ
vật
liệu
gốc
làm
t
ừ
hợp
chất
đó,
với
sự
khuyết
tật
t
rong
v
i
cấu
trúc.
Đó
là
màng
mỏng
thuộc
các
nhóm
hợp
-
T
i
nh
t
hể
muối
(NaCl,
KCl,
AgCl,
MgF
2
,
CaF
2
).
1.2.1.2. Hóa hơi nhanh các chất dễ phân li:
Từ
các
đúng hợp
thức
bằng
phương
pháp
bốc
bay
gián
đoạn
hay
còn
gọi
là
bốc
bay
hay
hạt
tinh
thể
của
vật
liệu
gốc
lên
t
rên
bề
mặt
(thuyền
lá)
đang nóng
ì
nh
t
hành
được
ngưng
tụ
lên
trên
đế
nguội
hơn.
Cả hai
phương
pháp
này
Mặc
dù
vậy,
phương
pháp
bốc
bay
gián
đoạn
không
được
áp dụng
để
chế
tạo
bị
gián
đoạn,
cho
nên
quá
t
r
ì
nh
ngưng
tụ
cũng
là
quá
t
r
ì
cũng
như
các
khuyết
tật
cấu
trúc
khác
ở
trong
màng.
Hơn
nữa,
do
nhiệt
có
kỹ
thuật
laze
xung
phá
t
t
r
i
ển
mạnh,
việc
hóa
hơi
cực
nhanh
lại
kết
quả
tốt
khi
chế
tạo
màng
20
HVCH: Nguyễn Thị Cát Uyên CBHD: PGS.TS. Lê Văn HIếu
hợp
chất
nhiều
th
ành
phần,
như
một
kỹ
thuật
rất
hữu
hiệu
được
áp
dụng
để
lắng đọng
màng
bán
dẫn
hợp
nhiệt
độ
đ
ược
áp
dụng
là
để
giải
quyết
các
vấn
đề
sau:
Chọn
áp
khó
hóa
hơi
hơn,
ví
dụ
là
A.
Điều
này
sẽ
quyết
định
tốc
độ
của
thành
phần
dễ
hóa
hơi (v
í
dụ
là
B)
l
ớn
hơn
~10%
so
với
các
dòng
hơi
kể
trên
không
cần
phải
khống
chế
quá
chính
xác, nhưng
phải
có
bay
hay
lắng
đọng
phản
ứng
là
phương
pháp
bay
hơi
vật
liệu
trong
môi trường
mỏng
oxit
đúng
hợ
p
t
hức,
chúng
ta
cần
đ
ưa
t
hêm
một
lượng
oxy
t
ử
hơi
của
vật
liệu
gốc
bay
lên
t
ừ
thuyền
/
chén,
trên đường
đến
lên
đế.
1.2.2. Cấu tạo hệ bốc bay:
1.2.2.1. Đo chân không:
Để
theo
dõi
quá
t
r
ì
nh
hút
chân
không
(đo
áp
nay
có
hai
loại
đầu
đo
chân
không
thông
dụng
nhất
vẫn
được
sử
dụng là
Torr,
người
ta
sử
dụng
đầu
đo
ion.
Kết
hợp
cả
hai
đầu
đo
nhiệt
v
là
t
ừ
1
đến
10
-
11
Torr.21
HVCH: Nguyễn Thị Cát Uyên CBHD: PGS.TS. Lê Văn HIếu
1.2.2.2. Nguồn bốc bay:
Tuỳ
thuộc vào
nguồn
hóa
ta
có
các
phương
pháp
chế
tạo
màng
mỏng
:
-
Bốc
bay
nhiệt
truyền
ùm
tia
điện
tử);
-
Bốc
bay
bằng
laze
xung
(bốc
bay
laze);
-
Epi
bay
trong
chân
không
dùng
t
huyền
điện
trở
làm
nguồn cung
cấp
nhiệt
.
Phương
pháp
bốc
bay
cao, thúc
đẩy
các
phản
ứng
hóa
học
giữa
nguồn
bốc
bay
và
vật
khắc
phục
các
hiện
tượng
phản
ứng
hóa học
giữa
nguồn
và
vật
liệu
gốc,
trong
Các
loại
chén
được
chế
tạo
t
ừ
vật
liệu
có
nhiệt
độ
nóng
chảy
rất
t
huyền
xoắn,
thuyền
lá,
thuyền
Hình 1.1
1
Cấu tạo hệ bốc bay
Copyright: Tài liệu đại học ©