Nghiên cứu chế tạo biến tử vi phân ( DT sensor) và ứng dụng của nó - Pdf 25

Đế tầi •
NGHIEN CỨU CIIẾ TAO BỈÊN TỬ vỉ PHẬN
(DT SENSOR) VÀ ỪNG DỤNG CƯA NO
Chủ trí : PTS. Phạm Quôc Triệu
Mã số : QG95-06
cán bộ phối hợp: Nguyền Dnv Tiền
Nguyên TI lề' Nghin
Ngô Thu llviílnự
f> - Nliừny niu: t iê u , 1)01 đung cln ía thiíc h iệ n (tiỊơc :
Đối VỚI yêu cầu của muc tiêu, Ỉ1Ỏ1 dung riề r a han dầu th i <tã thức
h iên (tầy rtủ. Tuy nhiên đế trở thành r>rỉn Miẩn hoàn th iên ưù còn cần
nghiên e\hì tiế p ở dề t à i tiế p .sau.
7 - Tình hình sử dung Kinh p h i :
- DƯƠC đ u yêt : t n ê u đồng
- Dươc râp : tr iê u đồng
6 - T ình h ì nh sử dung t h iế t bi đ ế ngh i ên cứu :
* Tên thiết- bi : - Dao đông ký điên tử.
* 'Diời g ia n sử dung : 4 tháng
9 - lỉcq' tá c Quốc tê về KIIJN : Không có
10 - Thuân _ >ơ i, Rlió khản, k ịến 1 lErtú :
* Ttiuân lơ i về mất v â t li ê u từ v ì sản x u ấ t ở tr o n g nước.
* Kho kí lăn v ề cắc cấu tr iic cơ hoc cần ctươc n g h iê n cứ u th êm
X Kiên n gln ứng dung th ử vào th iế t, b i đo d ic h ch u yến từ xa.
xác nhân và nhân x é t Chủ t r ì d ế t à i
đánh g iá của BCN Khoa Ky tê n
Máy ph á t th ạ c h aiửi
- Q - m ette r
- Kính hiến vi
AV Sì m etter
Phạm Quốc T riệ u
xác nhân của trườn g

1 .2 - B iến th ê v i s a i lõ i f e n t e 5
Chương 2 -N g h iên cứu, chê ta o b iế n tử v i s a i 6
2. 1 - N gh iên cứu chê ta o b iê n thê v i s a i 6
2. 1. 1 - Anh hưởng của VI trí, kích thước các cuôn dây
đến su ấ t đ iê n đông l ô i ra 7
2. 1, 2 - D iêu ch ỉn h băng thức n g ìn êm. 9
2. 2 - N gh iên cửu ch ế th ử b iế n tử v i s a i I/r. 9
2, 2. 1 - Sơ đồ Khối. 9
2, 2. 2 - MÔt s ổ c h ỉ t i ê u Kỹ th u â t. 10
Chương 3 - Khảo sá i đăc trưng của hô b iê n tủ VI s a i. 11
3 .1 - Các đường đăc trư n g tôn g thế. 11
3, 2 - Các đường đăc trư ng c ấ t đoan. 12
Qiương 4 - Thảo luân: 13
4. 1 - UVi điếm củ a ưr sen so r . 13
4. 2 - Nl"iững đ i êm han c h ế của ur sen s o r . 13
4. 3 - Vấn đ ề ch ế ta o ITT se n s o r ở tầ n s ố thâp 14
4. 4 - Khả năng ứng đụng 14
4, 4. 1 - 'Ilnêt bi gln rửxân (liều clủnh từ xa 14
4. 4. 2 - 'm iế t b i đo áp su ấ t 15
Kế t 1uân 16
T ài li ê u tham kíiảo 17
MỞ ĐẦU
Trong lĩn h vưc đ iề u K hiến tư đông h ay đo lường, v a i tr ò củ a cá c bô
cảm b iê n (se n so r ) là h ế t sứ c quan tron g, ở moi môt h iê n đ ổ i cu th ế,
người t a cần môt lo a i cẩrn b iế n tương ứng v ề chức năng, v ề đô rứiây, đô
c h ín h xác. . .
Trong sô' c á c lo a i cảm b iế n ch uyến đ ổ i từ đa i lương không đ iê n sang
đ a i lương đ iên , b iế n tử p h á t h iê n d ịc h cíiuyến nhỏ là môt lo a i b iế n tử
có n h iều ứng đung tbưc tế .
H iât vây, trong cá c h iê n tương xảy ra iiàng ngày Khả năng ửng đung của

_
, _ -* /\'
Cau tr u c cua ban bao cáo gom:
- 2 -
Chương 1 trirứ i bày về cơ sở th ] ê t kê đẩu cảm h iê n dưa tr ê n nguyên lý
củ a b iế n 1Ỉ1P v i sa i dạng ốnfl x ô lê n o it . Hôt đầu cảm b iê n rứiư vây cho
ỊẨiép phát h iê n cá c d ich chuyến nhỏ của môt lõ i từ mêm tro n g lòn g ông
dây thông qua sư th ay d ổ i của sđđ lố i ra.
Chương 2 t r ìn h bày v ề cấu ta o tìni nííhiêm củ a môt bô OT se n s o r do
cíiúng tô i t h iê t k ế lấp ráp. BÔ s e n s o r có ch ỉ th l s ố cho phép đoc g iá
t r i E (x).
Chươtig 3 tr ìn h bày môt s ố k ê t quả thu đươc vê đường đăc trưng E (x)
củ a bô b iế n tử. Ket quả dươc tr in h bày ở h a i dang : s ố li ê u và đồ t h i.
Trong chương này cũng chon ra rừtững pị TƯơng án sử đụng t ố t nhất. đ ô i v ó i
từ ng mau đo, làm khớp đường thưc nghiêm băng máy t í n h tr ê n c ơ sở đó
cung c ấ p một hàm tương quan lý tưởng cho cá c đoan đường đặc trưng.
Chương 4 tr in h bày về khả năng ứng đụnậ lo a i s g n s o r này. Măc dầu v ề
đô phân g iả i khoảng cách không cao (10 10 m) nhưng tro n g n h iê u
piiếp đo, nó có t h ế àươc sủf đung Khá phù hợp , đấc b i ê t là khả năng đo
từ xa d ịc h chuyến nhỏ.
Dê' i à i đươc IhƯc h iê n t a i bô môn v â t lý Chất rắn, Khoa v â t lý, Triiờn#
Đ ai học khoa hoc Tự n h iên, Đai ho c Quốc g ia V iệ t nam, Hà n ộ i.
Chúng t ô i x m có lờ i cảm ơn Phòng Khoa họ c, BỘ môn v â t lý Chất
ran, c á c củ nhân vâ t lý Đãng Lê Minh, Nguyên Tĩiế N gh ĩa, Ngô Hiu Hương,
Phùng B ích Nhung đã g iú p đỡ ctiurig t ô i tro n g quá t r ìn h thức h iê n đê' t à i
- 3 -
CỈMONG I - VÀI NET vỂ b i Ến tử VI s a i dt
1. ỉ - B iến t h ế v i s a i l o i Không R lìí:
1. í ■ i - Cấu t a o :
B iế n t h ế v i s a i là bô phận

t r í tương đ ố i củ a cá c cuôn Lg. L3.
Tr*ường hợp lý tưởng : Mj2 = - M.
k h i đó ta thu đươc :
dd>j o d i di
F,2 - _ = -M12
__
_
= -M
__
(1 .4 )
d t dt d l
- 4 -
c*p13 d i d i
E3 = _ = -Miá _ = -M _ _
d t dt dt
Eo, E3 là sctđ cảm ứng th u đươc tr ê n c á c cuôn đây Lp, L3.
Từ ( 1 .4 ) và (1 .5 ) t a th ấ y : E2 = E3 =E (1 .6 )
Trường hợp tôn g q u át, b iế u thức của hê s ố h o cảm có dang
Mc ụ Hịỉip . s
Ml 2 = (1-7)
1
«13 =
MqM n jn 3 . s
( 1 . 8 )
VƠI TI 1
n2> n3
s, 1
s ố vòng cuôn Lj
số vòng cuốn Lo, I 3
t i ế t d iê n và c h iề u dà i ống x ô lê n o it

1 .2 - B iề n th ế v i s a i l õ i í e r i t e
x é t trư ờ n g hợp môi tr ư ờ n g tr o n g lòn g ổng x ô lê n o it không đổng rihât
(trư ớ c đây t a c h ỉ x é t v ớ i m ôi trư ờng không K h í), cu th ế là đă t môt l õ i
í e r i t e v ớ i độ từ tham M nào đó v à o cá c VI t r í khác nhau. Giả sủf l õ i
í e r i t e đươc đ ấ t ở p h ía đầu cu ô n L-2. D iều n ày tương đương VỚI v i ê c tấn g
cường cá c đường sứ c t ừ đ i q ua lòn g cuôn dây Lg. Nót cá c h khác, h ê s ố
h ố cảm Mjo đã tă n g lê n tr o n g trư ờ ng hợp c ó l õ i í e r i t e ,
Từ ( 1 .4 ) t a có :
d i M0Mnjn2S d i
E2f = - M12f — = -
_____
-
___________
______
( 1. l i )
d t 1 dt
Từ ( 1 .5 )
d i Mơ n jn^ S CĨI
E3 = - M iỉ _ = -
_
________________
_ (!• 12 )
d t 1 dt
Nỉ nỉ vâ y, sđ đ lô i r a :
E r E g f - E 3 ? Í 0 ( 1. 1 3 )
côn g th ứ c (1. 13) ch o sđ đ E ị. o bở i h a i n gu yên rihân :
+ Sự có lĩố t củ a l õ i f e r i t e g ầ y n ên sư tha y đ ô i cảm ứng từ B h iệ u đụng
tro n g Không g ia n của cu ộn l.p ( t a b i ế t rẩng B - MCM. n i) , sư th ay đ o i
này dẩn đến h ệ s ố h o cảm Mjp v à g â y nên sư th a y đ ố i Eg.
cảm ứng từ B b iê u đung tiia y đ ô i ỊỶ1U th u ô c vào v i t r í l õ i í e r i t e tx o n g

v ớ i n: scí vòn g dâ y t r ê n môt clc/ri v i đô d à i.
lY ong trư ờ iỉg h ợ p ốri« d ây c ó độ d à i L liữu han và bán k ín h R nào đó
(H ình ? 1), ta c ó b iê u tiiức tír ử i B t a i o nliứ sau:
Ụoĩìl
B(co) = M0 n l
( 2. 1)
B =

[c o s 9 j + cos© 3 )
2
PọTiI dj d2
d2
( 2. 2)
(2. 3)
Trường hợp đ iếm o cẩ n x é t nầ n lân
câ n vùng g iữ a đoan L| ta có t h ế v iế t :
L
Hay B = Monl [—
-
- -
2 2 1/2
[1 + (4R /L )]
01
L
h a y B = M0 n l [
2 2 1/2
[1 + (D /L )]
v ỉ D = 2R.
(2. 5)
H ình 2. 1

phương piiáp đ iề u c h ỉn h cá c cu ôn dây d ế đ a t âiicic sư d ổ i xứng về sđ đ
tr ê n h a i cuộn lố i r a nhoi sa n :
a - H iếu ch lrih cu ôn s ơ cấp.
H inh 22 b iê u d iể n mạch h iệ u
ch ỉrih sơ cấ p rihư mồt bô pỉiân
làm tiiay đ ổ i s ố vòng cũng như
khoảng cá c h tương đ ố i củ a môt
dầu cuên sơ cấp.
Yêu cầu v ề cá c h mac R ]à :
- Hấc son g so n g v ớ i một
s ổ
í t

vòng ở môt đâu củ a Lị
- CÓ th ể đ iề u c h ỉn h v i lương.
- T rí s ố R đủ lớn. m e n tr ơ
H ình 2. 2
H iêu c h ỉn h cuộn sơ câp (lủng
- 6 -
r
Hỉnh 2. 3
H iêu cỉủrih cuôn thứ câp
đùng b iê n tr ở R
M&riiĩũ]
m nn n n íX ìĩm n H à V )

, J ỊP

/ì í v
b - H iều c ìiỉn h cuôn thứ cắp dùng b iề n tr ở R.

l ố i r a là Khắ lớn, v ì vây cíiúng t ô i đã sủí dung b iê n pháp h iệ u c h ỉn h
tôn g hợp đ ế đ ạ t cíược c h ỉ t i ê u cíăt ra, nnicừig rí láp t ố t nh â í d ế cấu ta o
b iế n th ế v i s a i là :
- xác đ in h được v i t r í to a đô đ ố i Xìini? ch o h a i cuôn lố i ra.
- D iều c h in h câ n hẩng nhờ v iê c th a y đ ổ i s ố vòng tr ê n b a i cuôn ra, han
rhê sủf dung irach đùng R ctên nt íc thấ p nì lất có th ể đươc,
Sau hàng chuc cá c sản pỉiâm th ử nghiệm, cu ố i cùng clning t ô i cũng <13 tìm
ctifơc quy t r ỉi đ i tliực nghiệm đ ế c h ế ta o b iến th ê v i sa i (lùng cho Ixi biến
tử cliuyến đô’i cơ đ iện .
- 9 -
2. 2 N gh iên cứu ch ế tliủí b iế n tủí v i s a i ưr.
1- Sơ dồ Khối.
Sau k h i có b iế n th ế v i s a i, chúng t ô i cla t i ế n hành U iiế t kế, lấ p ráp
một bô b iê n tủt v i s a i ưr, g ọ i t ấ t l à OT S e r so r .
Cấu ta o củ a OT S e r s o r dược t r in h bà y ở h ìn h 2. 5
n in h 2. 5 : Sơ đồ K hôi bô ơ r S e r s o r
Trong s ơ đổ có cá c k h ố i rửiư sau :
- Khố i t i ế p nì lân d ic h chuyến : bô DT S e r s o r có chức nấng b iế n cá c d ic h
cliuyến cơ ho c san g t í n h iê u đ iê n n ên nó cần có Khối t i ế p nhận d ic li
chuyên. NÓ c ó rihiệm vu t i ế p xuc vớ i cắ c đ i c h chu yên cẩn do clac, Khảo
s á t và gây r a sư ch u yến dời lo i f e r i t tro n g b iế n t h ế v i s a i. Dây là
môt Khối cơ họ c ch ín h x ác và có t h ế chu yến dờí thuận n g h ịch tr o n g một
phạm v i độ đ à i nào đó th e o một piĩiiơng xác đánh,
Trong Ẹẩc phép do Uiử nghiêm, ctiúiig l ô i dùng mCit bàn s o v ớ i bước d ic h
1 à 10 m
* Khôi b iề n U ìể v i s a i : đây là Khối ch ủ c h ố t cùa bô chu yên đ ố i cơ
d iện . Khối n ày đã được n ó i rõ tro n g phần p. i chương 2.
* Khối p iiá t h ìrih s i n : tẩ n s ố củ a k h ố i p h át n ày q u y ế t đ in h c ấ u ta o
cũng như l õ i f e r i t cíược đùng tr o n g t i ê n th ê v i s a i. Đe ctảin bảo ctô ôn
đirửi v ề tần số, b iê n đô dao đông, lth ố i này cần sử đung nrvach riiá t t-hach

số clăc t íTlì 1, chỉ tiêu Kỹ tln iầt như sau :
■» v ề b iế n th ê VI s a i (d et.ect.o r) :
C h iề u d à i L : 5 ctn
Lniờn* Kính D : r>, 5 rrin
nj : PCI vònrt/crn
+ Vp * ầu s ế : f = 5 Mt 17.
+ v ề nguồn n u ôi ‘.2x9 Vĩ<; (p in vu ôns nhỏ).
' ? 1 ' ■'
+ vê Khá nấng Itiát. h iê n d i c h clm yên : 10 - l u II)
+ vê' k h ố i ìưc^tsí : rn ~ 200 R
♦ vê Kích tlrươc '• 8crn X 15cm X rifin
- 11 -
UIUNG 3 ; KIỉẢo SAT dạc trung cửa nộ BIỀN TỬ VI SAI.
Đê Khảo sá t ctăc trư n g E (x) của bô b iê n tií v i s a i, cỉninR t ô i đa sỉí
đung rỶiiểu lõ i í e r i t e từ rrỂm Kỉiac nhau làm maíi d ic h cliuyển. Tắc nhân
gây d i ch cliuyên đươc đùng l à bàn so v ớ i bước d.tch là 10 m (h ìn h
2 .5 ). Tlíực ngtiiệrn cho tỉ lấy cá c dường đặc trư ng r ấ t tương đồns đ ô i v ớ i
cá c mau Khác nhau. Ớ đây cliứng t ô i ch ỉ nÊu lê n 3 đường clăc InhiR t i ê u
b i ếvL
3. í - Cắc dường dắc trứ iig to iiB thể.
Đường ctăc trứ n g tôn g th ể là đường E - E (x ), t h ế h tê n dô lơn của sđđ
lố i ra rỶTU th u ôc th e o v l t r í l o i í e r l t e tr ê n tru c củ a ônf? <ìAy,
Dăc đ i ổ n củ a đường này là :
+ Giá tri tuyêt dối Uieo iruc X là giả tri có thề’ thay đối (lo đich
gốc lo a độ, sự tliay đ ố i g iá t r i Ax ảnh hưởng manh đến đăc tr ư n g của
_ í'
mau.
+ G iá t r i tu y ế t đ ố i th e o tr u c E cũng có t-hế th a y đ o i v ỉ cũng ỉửiư
tr ụ c X, t a có t h ế d ịc h chu yến t i n h t i ê n nó cíươc. G iá tr i AE là f?iá
t r i tliê h iê n đô nhay của b iề n trở . AE có t h ế thay đ ô i băng đ iể u ch ỉn h

3. 2 c á c dường d ấc trư n g c ấ t đo an :
T rên thứ c tế , v i ê c sủí đung bô b iế n đô'i v i s a i ( OT S e r s o r ) d ế cliuyến
đ o i cá c b iế n đ ổ i t i n h t i ế n cơ h o c sanfl b iế n d o i đ iệ n r ấ t cần đ ặc trứng
tu y ế n t ín h tr o n g môt Khoảng đô d à i nh ấ t địn li. Dặc trưng tu y ên tín h làm
cho t h i ế t b i đơn g iả n r ấ t rih iều so v ớ i trư ờ ng hợp r iii tu y ên , đống th ờ i
độ chírih xác củ a F*iép đo cũng c a o hơn.
v i v ây, chứng t ô i đẵ c ấ t đoan dường đăc trứ n g tô n g th ế cùa ư r S e r s o r
đê cho n lo c c á c Khoảng tu y ế n tín h củ a nó. Đối v ớ i moi đưừng c ấ t đoan,
t a đểu có th ể tim ctươc môt hàm s ố tư ơng quan y = f ( x ) , tr ê n c ơ sở đó,
ta o la i dang dườỉig.
Nen cá c đường đó có h ê s ố tương quan cjhả ca o , có t h ế căn cứ th e o đường
làm khớp (t a o dang) đ ế t in h to á n t h i ế t k ế ch o t h i ế t b i.
Đ ối v ớ i m oi mẩu í e r i t e nói tr ê n , cíning t ô i ch on môt dườiig c ắ t đoan đ ế
làm Khớp và ta o dang.
H ình 3. 7 là đoan đăc trư n g s ố 4 củ a mầu s ố 1,
sử đụng chương t r in h làin khớp c á c đ iếm tliự c nghiệm , cliũng t ô i 1)1 lân
chíơc hàm s ố tư ơng quan crủa đồ th ị l à : y = ?896, 4 - 38, 9 X (3. 1) v ớ i
l)ệ s ố tương quan r - o, 9992.
Hìrih 3 .8 là clăc tr ứ n g (3. i) sau k h i dã làm khớp dồ t h i.
H ĩnh 3. 9 l à đoạn đặc tr ư n g s ố 1 củ a mấu s ố c*. v ớ i chương t r ìn h làm
Khớp, hàm s ố tương quan c ó dạng y = - i i 7 i , 1 + 2 5 ,5 X ( 3 .2 ) v ớ i h ê s ố
tương quan r = o, 9993.
H ình 3. 10 là đ ăc trư n g (3. 2) sa u Khi đ ã làm Khớp.
H ỉnh 3. 11 l à đ oan s ố 4 củ a mẩu s ố 3. Q niơng trìr ih làm khcíp ch o đang
hàm s ố tương quan : y = 509. 56 - 10, 12 X (3 .3 ) v ớ i h ê s ố tương quan r
= o, 998
H ình 3. 12 là đặc trư n g (3. 3) sa u K hi ỔẴ làm kíiớp.
ĩ'T ic c c n
?
__

30. í? 12
34. 2
107. 4
38, 2
250
'»p. p
,4f>8
30. 3 1 3. 6
34. 3
1 10. 4
38. 3
psri
3f,o
30. 4
l'ỉ. 6 3'4. 4
113. 3
36. 'ị
259
'IP. 'ị
360
30. 5 16. 2 34. 5
1 17
38. 5 262
‘ị? 5
361
30. 6 17
34. 6
119. 9
38. 6
265 '42, 6

26. 7 35. 2
139. 9
39. 2
286
43. 2 36?
31. 3 Rô. 7 35. 3
144. 4
39. 3 269
43. 3
3fì5
31. 4 31
35. 4 147. 7
39. 4
293
43, 4
365
31. 5
32. 9
35. 5
152 39. 5
296 43. 5
365
31. 6
34. 9 35. 6 155. 3
39. 6 299
'13. 6 36F'
31. 7
37. 1
35. 7
160. 2

360
32. 3
51. 2 36. 3
102. í
no. 3
330
44. 3
359
32. 4 53. 7 36. 4 186. 8 4 0. 4
323
44. '»
350
32. 5
55. 6 36. 5
189. 4
40. 5 386 5 ?r.7
32. 6
58. 5
36. 6
192
40. 6
329
44. 6
355
32. 7 60. e
36. 7 197 no. 7
331 44. 7
3 5 'ị
32. 6 64. 1 36. 6
199. 6

'ị 5.
3
33. 4
81. 5
37. 4
221
41. 4 346
45. I\ 340
33. 5 (Vị. 4
37. 5
225
41. 5.
3'ị 8 'ỉf>. 5
33A
33. 6
87. 9
37. 6
229
4 1 .6 3 SO '»r«. G
3 34
33. 7
91. 3
37. 7 233
't t . 7
35S
'lr«. 7
;m < >
33. ỗ
93. 8
37. 0

?.
333
46. 3
312 50.
3
97.
2 54.
3
P7. 58.
3
w >
46. 4
309 50.
4
69.
5
54.
4
96. 6
58.
'*
341
'i6. 5
305 50.
5
04.
5
54.
5
102 58.

47. 0
885 51.
0
52. 6
55. 0
139. z
59.
0 368
47. i
281 51.
i
47. 4
55. 1 144
59.
1
371
47. 2 277
51.
43. 4
55. 2 151
59.
?. 374
m . 3
269
51. 3
36. 2
55.
3
150. 9
59.

59.
7
390
47. 8
?A>\ 51.
0
10.
3
55.
6
197
59.
39?.
47. 9
239
51.
9
6. 6
55.
9
202
59. 9
39'ị
'18. o
235 52. o
2. 3
56.
o
200 GO. o
397

405
46. 5
208
52. 5 -2 .
5
56.
5
239
60. r>
'107
4Ỡ. 6
P03
52.
6 -0 .
9
56,
6 246
60. 6
'109
46. 7
195
52.
7
1.
2
56. 7
252 60. 7
410
4Ồ. 6
109

168 53.
a
21.
8 57.
2 278 61. 2
/415
49. 3
161. 2
53. 3
27.
3
57.
3
284 61.
3
416
49. 4
154 53.
4 31.
5
57.
4 290
61. 4
417
49. 5
147. 6 53. 5
38
57. 5 297
61.
5

8 57.
9
318
61.
9
'119
X
E (x )
X
E (x)
X E (x) X E(x>
62. 0
419
66. 0
330 70. 0
169. 4
7'i. 0
43. 3
62. 1
416
66. 1
327
70. 1 164. 8
'ỉn. 1
40. 9
62. 2
41 0 66. 2
323 70. 2 161. 8 74. 2
39. 7
62. 3

74. 9
?7. 5
63. 0
41 1
67. 0
292
71. 0
131 75. 0
26. 9
63. i
41 0
67, i
208
71. 1
127. 5 75. 1
25. 2
63. 2
409
67, p
265
71. 2 124. 3
75. 2
23. 9
63. 3 407 67. 3
282
71. 3
121. 6
75. 3 22. 2
63. 4
405

15. 6
64, 0
392
68. 0
249
72. 0
96. 5
64. 1
390
68. i
246 72. 1 93. 7
64. ^
368 68. 2
243
72. 2
91. 2
m . 3
385 68. 3
239
72. 3
87
64. 4
382
6Ỡ. 4
234
72. 4
03. 5
64. 5
379
68. 5

65. 2
360
69. 2
201 73. 2
62. 1
65. 3 357
69. 3
197 73. 3
59. 6
65. 4 353
69. 4
193
73. 4 57. 1
65. 5
349 69. 5
188
73. 5
55. i
65. 6 345
69. 6
185
73. 6
52. 5
65. 7
341
69. 7
181 73. 7
50. 9
65. 8 337
69. 8

r>0.
2 rVll
44. 3 2. 3
ro

60. 8 52. 3 165.
9
50.
3
44. 4 3
48. 4
62. 0
52. 4
I6a ô
56. 4 243
44. 5 3. 6
48. 5
64. 9
52. 5 171. 1 56.
5
244
44. 6
'ị. 3 48. 6
60. 6
52. 6
173.
7 56.
6
R'»5
44. 7

49. 2
82. 1
53. a
187.
0
57.
2
246
45. 3
9. 0
'»9. 3
84. 5 53. 3
190.
2
57. 3
246
45. 4 10. 9
49. 4
87. 0
53. 'ị 193. 1
57.
4
2'16
45. 5
11. 9
49. 5
89. 2
53. 5 195. 4 57. 5 346
45. 6 13. 2
49. 6

46. 1 19. 8
50. 1
106. 8
54. 1
208 58. 1 ?'H?
46. 2 20. 5
50. 2 108. 2 54. 2 210 58.
a 243
46. 3 22. 3 50. 3
111.2 54. 3 212 58.
3
241
46. 4
24
50. 4
114. 3
54. 4
214 50. 4 ?'íO
46. 5 26. 4 50. 5 117. 2
54. 5
217
58.
5 ?'to
46. 6
27. 6
50. 6
120. 3 54. 6
219
58.
6

f>9.
2 227
47. 3
39. 1
51. 3
139. 2
55. 3 230
59.
3
p.p.b
47. 4 42. 1 51. 4 141. 7
55. 4
232
59.
4
223
47. 5
4?. 7 51. 5
143. 6
5f>. 5
233 59.
5
221
47. 6
46. 4 51.
6
145. Q 55. 6 834
r<9.
6
218

60. 4 196
64. 4 27. 3
60. 5
192
64. 5 23. 1
60. 6
189
64. 6
20, 6
60. 7
185
64. 7
16. 6
60. 6
182
64. 8
11. 9
60. 9 160
64. 9
9. 1
6i. 0 176. 5 65. 0 7. 0
61. 1
172. 6
65. i 3. 9
61. 2
169. 7
65. 2 i. 8
6i. 3 167. i
65. 3 - 0. i
61.

110. 7
66. 6 13. 5
62. 7 103. 8 66. 7
19. 1
62. 6 97 66. 6
22. 8
62. 9
93. 3
66. 9
24. 7
63. 0 90. 7 67. 0
29. 4
63. i 08. 9
67. 1
33. 5
63. a 64. 6
67. a 37. 4
63. 3
70. 5
67. 3
41. 5
63. 4
73. 7
67. 4 46. 8
63. 5
67 67. 5
53. 5
63. 6 63. ỡ
67. 6 50. 6
63. 7

68. 5
102. 8
72. 5
261
68. 6
107. 1
72. 6 263
68. 7 111.8
72. 7 266
68. ỡ
116. 6
72. 8
268
68. 9
121. 2 72. 9
271
69. 0
127. 9
73. 0
272
69. 1
133. 8 73. i 274
69. ^
137 73. 2
276
69. 3
141. 4
73. 3 278
69. 4
145

289
70. 5
197. 3
74. 5
a«9
70. 6
202 74. 6
269
70. 7 205 74. 7
290
70. 6
209
74. 8 290
70. 9 212 74. 9 aọo
71. o
216
75. 0 290
71. 1 P20
75. 1 290
71. ^ 223
75. a 290
71. 3 226 75. 3
í5 90
71. 4
229 75. 4
ES9
71. 5
233 75. 5
269
71. 6 236

79. e
£20
76. 3
282 77. 3
267
78. 3 245
79. 3
P1B
76. 4
280 77. 4
265 78. 4
2'12
79. 4
21'ị
76. 5
279
77. 5
263 78. 5 238 79. 5 21 )
76. 6
279
77. 6
26 i
78. 6 236
79. 6
208
76. 7 277
77. 7
E59
70. 7
334

0
'»9. 2
13. 1
- 2.
9
17. 1
1 ỉ
21.
1 41. 8
25. 1
49
13. 2 - 2. ỗ 17. 2
11.
21.
2 42. 5 25. 2 '»a ô
13. 3 - 2.
7
17. 3
12.
3
21.
3
9
P5.
3
'»a r>
13. 4 - 2. 6 17. 4
12. 8 21. 4 43. 2
85.
4 '10

17. 9
16. '*
21.
9
'»f>. (\ ?rĩ.
9
'ỉ't. 9
14. 0
- 1.
6 lfì. 0
17.
4
22. 0
47. ?
20.
0
'l'l. 1
14. 1 - 1.
5
18. 1
18
22. 1
47. 6
26. 1
2
14. 2
- 1.
2 18. a
18.
6

22. 5
49. 4
26.
5
MO
14. 6
-o.
4
16.
6
22. 2 22. 6 Ji9. 0 Rũ. 6
39. 3
14. 7
-
0
.
1
16. 7 22
.
8
22.
7 50, 2
RŨ. 7 30, 1
14. 0
4 0.
2
18. 23.
4
22. 6
50. 6

19. 1
26.
3
P3.
1
5 1 .3
?1.
1 34. 3
0J
ư?
1.
4
19. 2
27.
2
23. 2
51. 4
27.
2 33. 4
15. 3
1. 8
19. 3
27.
9
23. 3
5 1 .6
27.
3 32. 2
15. 4 2. 2 19. 4
26.

27, 7 27. 2
15. 8
3.
7
19. 8
32 23. 8 52. 1
?1.
8
?f<. 2
15. 9 4. 2
19. 9
33 23.
9
52. 1
27.
9
Pr>
16. 0
4,
6
20. 0 34
24. 0 52
28.
0
23. 8
16. 1 4.
9
20. 1 34.
4
24. 1 52 28, 1

5
17. 9
16. 6 7.
8 20. 6 37.
8
24. 6 51. 1 28. 6
16. 5
16. 7 ỡ.
3
20. 7
38.
7 24.
7
49. 9
28.
7
15. 7
16. 8
9.
2 20. 8
39.
7
24. 8
49. 7
26.
8 14. 5
16. 9
9.
6 20. 9 40. 3 24.
9

-3. 1 33.
3
17.
1
35.
3
49.
29. 4
6.
9
31. 4 -2.
7
33.
4
19
35. 4
51.
6
?9. 5
6.
0 31.
5
- 2.
5
33.
5
21
35.
5
5?.

9
+0.
5
33.
9
27.
4
35.
9
f>8
30. 0 0.
4
32. 0 1. 2 34. 0
29.
1
36. 0
59.
6
30. 1
0 32. 1 1. 8
34.
1 30. 6
36. 1 60. 6
30. 2
- 0.
7 32. 2 3.
1
34. 2 31.
9
36.

36.
5 65.
4
30. 6 - 2.
7
32. 6 6. 0
34.
6
39
36.
6
67
30. 7
-3. 1 32.
7
9.
1 34.
7 40. 8 36.
7
68. 8
30. 8
-3. 4 32. 6 10. 8
34. 8 42 36. 8
69.
5
30. 9
-3.
5
32.
9

45. 4 50. 6
37. 5
76 41. 5 04. 5
45. 5
49. 7
37. 6 77. 1
41. 6
64. 1
45. 6 48. 6
37. 7
78
41. 7 83. 6
45. 7
47. 2
37. 8
78. 9
41. 8 63
45. 8
46. 5
37. 9
79. 9
41. 9 ÔE. 3
45. 9 45. 6
36. 0 80. 5 42. 0
81. 9
46. 0 44. 4
38. 1 81. 2 42. 1 61. 2
46. 1 43. 6
38. 2 81. 5
42. 2 80. 6

74. a
47. 0
33
39. 1
85. 9
43. 1
73. 8
47. i
32. 2
39. 2
86. a 43. 2
73. 5
47. 2
31. 5
39. 3
86. 5
43. 3 73. 3
47. 3 30. 5
39. 4
86. 7
43. 4
72
47. 4
29. 2
39. 5
87 43. 5 70. 6
47. 5
28. 4
39. 6
87. 2

2 1 .9
40. 3
07. 3
44. 3 62. 5
46. 3 21. 2
40. 4
87. 3
44. 4 61. 2
48. 4 20. 4
40. 5
87. 2
44. 5
59. ô
48. 5
19. 2
40. 6
67
44. 6
59
46. 6 18
40. 7
06. 9
44. 7 57. 4
48. 7
17. 2
40. 8
86. 6 44. 8 56. 6
48. 8
16. 4
40. 9


Nhờ tải bản gốc

Tài liệu, ebook tham khảo khác

Music ♫

Copyright: Tài liệu đại học © DMCA.com Protection Status