ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI
TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC Tự NHIÊN
ĐÊ TÀI
NGHIÊN cúu ÚNG DỤNG MỘT sô CẢM BIẾN KHÔNG ĐIỆN SANG OIỆN
STUDY ON APPLICATION SOMK SKNSORS CHANGING NON - ELECTRIC
SIGNAL INTO KLKCTRIC ONE
MÃ Sỏ: Q T -0 1 - 03
Chủ trì etc lìii: I S. Phạm Quốc Triệu
. Ũ Ĩ ỊC Ũ U Ĩ
HÀ NÔI - 2002
ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI
TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC Tự NHIÊN
đ A t ải
NGHIÊN CỨU ỨNG DỤNG MỘT số CẢM BIẾN KHÔNG DIỆN SANG ĐIỆN
STUDY ON APPLICATION SOMK SKNSORS CHANGING NON - ELECTRIC
SK.NAL INTO IXIXTRI ONE
MÃ SO: Q T -0 1 - 03
Cliii trì ctc lài: TS. riiạm Quốc Triệu
Cán bò phối hợp: TliS. Nguyen Thế Nghĩa
TliS. Nguyễn Vinh Quang
IIÀ NÔI - 2002
MỞ ĐẦU
Các cảm biến là một bộ phận không thể thiếu được trong đo lường các đại
lượng Vật lý. Từ những đại lượng không diện, có thê ghi nhận chúng thông qua một
thông số phụ thuộc nhất định. Ví dụ, có thể phát hiện mức chất lỏng thay đổi theo độ
cao mà chúng để lại. Tuy nhiên, nếu các đại lượng có thể chuyển sang tín hiệu điện
thì sẽ đễ dàng xử lý, thu nhận và hiển thị.
Một số loại cảm biến như trôn dã đưực tác gia nghicn cứu và chê thử. Trong dề
tài này, tác gia đé cập đến một số ứng dụng cụ the của cam biến dó như: cân điện tử
dùng cảm biến DT, hệ đo dặc trưng U(T) dùng cám biến nhiệt độ. Công việc trên
được tiến hành tại Bộ mồn Vâl lý Cliât rắn. Khoa Vạt lý, Trường Đại học Khoa học

* Khối chi thị số: Đây là khôi hiện sô 3 tligii sir dụng IC 7107, cho phép quan
sát các thay dổi sđd của biên tử then vị Irí lũi ferrite trong ống dây. Bộ chỉ thị này cho
phép thay đổi độ nhậy đến mức 5()()f.tV/l số.
* Khối m>Hồn nuôi:
- Sử dụng pin ± 9V.
Tạo ngunii ±5 V.
Kliôi tạo nguồn dược xAy tliriìg trên c;íc 1C oil áp 7805 và 7905.
1.2. Các hộ phận chủ yêu bno gồm:
dược. Khối này dược xAy dựng trên Iiiạcli IC lliuậl toán fiA741.
1. Thíinh giá cô (tịnh
2. Lá thếp đàn hổi
3. Thanh truyền đần
4. Lò xo dàn hổi
5. Đĩa càn
(Y Lõi ferrite
7. ()ng dày xolênoit
5
Mình 2: Cấu trúc pliíìn
hoe cua cAn diện tứ
rt
2
Hình 3 trình bày sơ đồ khối cùa
can điện lử thu nhận số liệu
tự động bằng máy vi tính PC
Các phép đo kiểm chứng chình giá độ
trung thực dâu vào của A DC dà (lược
thực hiện. Kếl quá cho lliíív môi
lương quan giữa sỏ' liệu thu tlirợu Ilên
máy lính và tín hiệu analog ớ chill
vào là luyến tính, độ phù hợp cao.

f
»
•
■
m I*
M t.1
k h n l lunti
tho i 1 u on 1
1 r h n » n
d o tr« B
ms.T (Inh
|,c in no I ? 0 |r, 0 *0.0 24 0
Kht)i luong(ni-pani)
Hình 4: Đường chuẩn của cân
II. ĐO Ỉ)ẶCTRUN (Ỉ ll(T)
II. I. Đo lự clộiìịỉ nhiệt đo
Đè đánh giá nhiệt dỏ (rong các lie (lo vật lý. Iliường phái dìing chuyên đổi nhiệt
điện vì tilling có ưu diêm:
+ Nhò. gon. (lễ tiếp xúc với (Ini liftin'! (lo.
+ ỉ)ẽ thu níiẠỉi, khuẽch (l;ii. hicu chinh sô liệu.
+ TliuẠn liện trong viẹc liicn lliị.
Đạc biệt trong việt" thu tự (Inn*! till hiệu nhiệt dộ. óỉn có những cam biên ổn
tlịnli. till d ọ nliẠv, hoạt (lộn g t u ũ
'11
IÍI
1
Ỉ
1
Iiniiị! ilíii nhiệt (lộ veil cầu.
Trong (lổ lài này. cluing lỏi c lion cám biên PN í Si) tic do nhiệt dỏ.

r/)/líỉtl lllli
/
NHỮNG VẤ N ĐỂ CH U N G
1. I hành 1
1
III và pillion^ liirnti^ pliỉil Iriẽii ( n;i (lo lining Viẹl Niim
K.
s.
N ịịò I III V \ ă n - (ì HI III tlt u I I IIIU1 h iỉti I h> ìtiòny, I <'III III I ( P I ( I
2. Mot Vili net về CÕI1J> liíc (lo li lim J4 ú Ii^nnli 111 If I (Ill'll
/ ’if. s IS N iịii\('ii I Iky I ỈKÌII rill) IonI' f III millin' ion I,’ ( III hull diện
-Í. ( 'ônn hie do lirờny kiêm (linli ( lull Immu VĨ1 Ihicl hi tlnr nghiệm limiỊị n^ìinli xãy
(limn
IS I I tin (Jinn I) i'll a; I’III I \ ICII II in in ạ \ H'H > I I'll It'll i IIII kit’ll II lit li( > Vi/y (I lilt I!
4. Conn l;u ílỉiiii l>:v<) (lo liroiiịi tnmn hull VIK iraiiỊi lliicl hi y lẽ
A s I ill'll m; Win I mil ■ \ ' It II III <11 y \ ' It II tillI III (I hi 111 I I III I1 I) ill It V li' I ill } lc
5. Du lixm^ Vil Iilitriif* iriiịi filing (Ini \(ii n^iinli MIIIỊÌ (lau II IMiị* [ịiiii (Iimii ( Nll lllíll
(hit tunic
K i r n P i ) ill K I I'll I 11 IK illy I'III >n\; ỉ Y iliihii I
I I/M’ ( Í 1/(1' / V
\ti/iíỊ thill
(). Nlimij; lh;i( h Ihirt If 111 II I ;m (Ini vni (lo Iikiiiị; v;i \ <111 (k‘ lit I| > t;ic canh t til II li Inmn
( l o I I ff M I J 4
/ ,v / 1(1/1 lit to rh(> ( ihim ill'/ I I liny hull IK I híònv I (>111’ (IK I (. ' I >1 ( I.
7. Vè (Hull nghía và chiiári tili 1 ( iH (lull \ Ị fir hitII SI liicn II;iy
rs. 11 till lilio - I’lii) (iitim iftH I I unr 1,1/11 lh> lm>n\’ I I)in; t ill I ( PI Cl.
H. IỈ <> lieu I htiiin V iọ I Nam VC (lai limnn v;t (Ion \ i \
,1
(lull \ I (||> lining hụp I >|| ;i
11


11
IK in I
>11
UK I IN
34. Hệ thống (Ịiián lý du dẽni diện náng ó Việt N.mv
KS. Vũ t)(ìỉiiỊ Qiuinii, KS I / till Kill'll D ll’ll, KS I.ờ I U‘I>, KS. NịỊỉiyên Anh Sơn - I I IIIIIỊ
lâm Do-hsòìiịỊ-TổiiỊỊ n u Ỉ C - Ỉ H . ( l.
35. Đ o lường các Ih õn y sò CIIỈI lãm Siiu tru n g bán (lãn ( (l i e trên tliicl l)ị 1)1, HOOO
NtỊiiyễn Thi ỉ hụi lliỡn, /'hạm Nạn yen ỉliii, Phạm (Jmu T u rn - D IỈK I I I N -D I IQCtt ỈN
36. INiương pháp Fourier do pho <|IIỈÍ clỏ tiim sim
llotìniỊ Nam Nlujl. Phạm (Jinx í/ lật - DIIKIII N-DHQdlIN
37. t)o hằng sô lý lưỡng n cúti chinh lưu bìm (lần
Phạm Quốc Triện - DllKin N-DIIỌdllN
38. Nhận (lụng và dịnh vị iinh (|Hii CiimcTii úng tiling cho do lirííng và diếu khiển
KS. Vũ SĩTluinq, KS. Phan Minh i (ill, KS riuim NiịỌ( Minh. rs. Phạm 7 hưựHỊịCál -
Viện I ÒIIIỊ /liịhc iIiỏihị tin
39. T ín h lìàm Im m y qu an cùa m õi II IKM1Ị4 Iiịíãu Iihicii banu plurong |)há|) Illicit nghỉ
(ỈS rs /'ham 1'litíự/ií; Hàn D IlliK I I N , TliS Ni>n\rn Thanh llà - 1)11 K i C N I Ill'll
N lỊiiyèn
40. Mô 111 111) ARM A Cíii biên vii tmn (lim^ trnnn < iíc liệ (lo luớnn y sinh
Trịnh M iciiiị - Viện HiuiiỊ find hi \ à CÒIIỊỊ n inh V ic-lìộ Y li’
(Ị)Ịtt\n tim' 4
ĐO LƯÒNG NHIỆT ĐỘNG Lực HỌC
1. Xày (Iựhịí lió máy tính (lo luóiiy (la kcnli Iihict (lo, (lo am Ị*lié|) noi lliiõl l)ị cluiyến
much và llui nhan (lĩr liệu - III’ 3-l'J7l)A
rhS Ctit> Vùn Kiệm, KS Ni;ii)<:'n \ II llih'ii Niini - llọ i vn;n kỹ lliinìl 1/11(11) MI
2. Xây (lựng liệ tlicmg tự dộiiỊ4 (lu nhict (lọ, lim Iưọnj4 xanu (lau và lo cluic noi mạng
(||IÍÍI1 lý
I S N y iiy rn Hữu I Im niỊ. I S f )<) Xiitin I It’ll. K S \ ũ I lii' K h i’1 - H ọ c viíỳi Ả V lluicii t/nàn

Lần th ú ’ 3
( T u y ê n t ậ p b á o c á o k h o a h ọ c )
1I À I \ ộ l 2 5 - 2 0 / 10/2001
DO HANG S ỏ lý TƯỎIMG II CỦA CHỈNH Lưu BÁN DAN
PliỊim Qiioc Triệu, KỈIOÌI Vạt ly, l nrỡng Dại hoc Khoa h(H l ự nhicu
I )ại học ( )uóc gia I là nói
Tóm tất:
ỉl ệ d u luhiiỊ sỏ ly Iikh iịị II ( lia ( h iiy i’11 liỜỊ) bón iltih (líi iluọi MlV (lựng, tlệ t ó m ột lòi
diện óị> Iliéti K h ú n . ho i ló i iliti till hu ll Vito ( I I »’íỉ I) ^Ill'll 11(11 I/Itiy Hull (. Iu nm ỵ trìn h p lu ỉn
mém th o phép MÍ ly tự dộHiị sô liệu (lo \() 1 húi 1(1 IỊÌtí IIỊ II (III I ti)’. ( ó iln' m ớ l ộn ỵ hệ LỈO »’íìơ
nghiên cứu cóc ihôitỵ sỏ khtic
Abstract:
Th e system jo t ineu sm ÌHỊỊ the h lc a l fa c to r It (>J sc m iío iiih u tm ỵ ju n c tio n h as been built
in our laboratory, h has one terminal for líikiitỵ control. twi) another ones enter into PC. The
software \yill automatically ptoccss iiiịỊ íltiííi and (ỉisỊ)lay ihc cxiict It- factors, riiis
system can be used for resetnxhinỵ (I iff'ru III I>(II ii»iLẨiet V
1. MỞ UẦU
• Chỉnh lirn Inin (ÌÃiliIuííl ling (lung I tiny lái (lony việc die liH) hull kicn J>án ilíln như các
loại clioi, Iranzltoi, Chúng có vai lio cư Nơ (ló lạo nên nhúng mạch lo Iu>|> lơn Trong ngliiêii
cứu, lliông qua chính lưu này, ngươi ta LO 111C do được Iiliitìu iliòng so Iilní diện (lung c của
liếp XỊÍC, (lộ rộng miổn tliện lích khoiiỊ' [li.Ill w, hiệu diện tlié kliuyẽch tán Uj,, ilạ cao hàng rào
lliế <P|| [5]. Ngliicn cứu chính liru Iiong c;u: (liếu kiện phân cục Iluiận và ngược bới hiệu diện
lliô bẽn Ịigoài u, ta có các iliỏiig Iin Vti hiọu (.liên lliỏ tliin, ilòng l)íĩ() lioà, cơ chế đánh tilling
(lliác lũ, zener, ĩiliiệl). Đặc l)iẹt, sir (.lung |>lnítiiig pháp lỉo ilòng hoặc iliện ilimg ciia lóp clniyển
liếp chỉn h lưu h u n g eliê dộ kích Illicit hói x un g phán cục bẽn ngoài, lit Iituin diíực các I ill hiệu
suy giám iheo lliời gian. Pliãn lích, Mf lý IIII hiệu uày ilicu cac Iihiệi dọ khiíc Iiluiu cho plìép
Iliu tlưực các lliòng tin Irony l)án lỉần Iilur khoáng năng lượng tua lãm Siiu so với bờ vùng nàng
lưựng, iiêì diện bắt hul lải cùa các lãm, nong ilỏ các lám Do clmili ỉà phương |)liá|) (Jo lường
các tâm sđn trong hán dflii (DI-IS) sir (limy lớp chỉnh lưu. Các lâm sau co lliể làm Ihay dổi
hiệu suál, màu sắc |)liál Cịiiang lioiig cat (liui pliál Cịiiang (l .liU), 1(1111 lltiiy (l()i lán sò làm việc

thẳng với clộ dốc Im :\ Víì tif (ló línli cluợc II.
V ề m ill (liự< nghiệm , c;íc cỌp số lien X v;'ì V cn (lượr tìr Ciíe pliép (lo ItiCii diện thế u Irên
(liol và cưừng do (lònp (liệt! ỉ clinv cỊim íliol.
Để cú lliế tim (Iiíợc Itlúrti cặp *íố liên, CÀU có lối clini kliiòn (tiỌn ỉíp (lặt lên (liol và hai
lối lim Iín ItiỌn l ỉ. I
2.2. XAy ílưnp ho »1(» \ n l(H fIM;í
llụrc liirn pliéịì (lo, ( lniíip tôi (liì xíìy (lirnụ họ (lo lư (lộng l(U) cũa liếp xúc chinh lim'
linn cJÃM. I lệ (lo (lòi hói l>;t lối licp XIĨC như chỉ i;i lirn h ì
11
h I. I lu" (liên kliirn dược (lưa vào lối
ViIlf. K I và K2 Im Ikiì lói lAv Ihr- líi (lr (In. I ;i ró fli.'i lii:
u - K7
( 2 .8 )
(2.9)
! - ( K I l< ? )/R
I - (KI - K2)/R
Vclk
ĩ
KI
[ ị
u (V) = K2
llìnỉí I - M:uli du ỉlll) v:i Mill (liễn
•-
K2 •
V
ilk #-
A l)('
M A C
<C-
c>

n 77
n 'Ỉ-1
n \
n I a
,
5 0

.10 -3
0
-2 0 .10 0
1 1 -f-”.

-
- 1: - - -
f
I j
10 7 0 ? 0 AO
tif^ r^i^»r)
n 1 p
rs \ f*.
II 1.7 M R
! *02 « K
n T7
„
1 Hull '1 - Do (l;ic tiling 1(11)
2.3. I hảo liiAn
Nlnr In lliflv líonự các công link (2 1) (It'll (? 1). muon <l(i rliinli x;U‘ II (hì pi lả i biếl giá
li nliiệl (tộ 'I' Clin elm veil li Op ((.bính lit Iihici I ló < I III vili liên) ( ’;í( x;k‘ (I i til I pi á In T mội cíícli
ự (lỌlỉg lại tnỗi líìn (lo ';n liCn 1(11) lĩi 'íif flimjĩ chính < ;ir lũi \ ’H1 K f, K? với m:i( li (lĩinp flint hán
IÃI1 làm Cíìm NỐII Iiliiọi (lô

- 1 0
0 0
Lu H.V.: ỊRỊỊỊLì ill Ị iiJUADiOQ
-( -
10
-1—
2 0
I -
ÒU
1-
40
I
úi.)
h unclioil 1 11
-Slaitpoln! 1 (99 4 3 0 0 . o /:íl)
Plnl sh poml 1 : (35 3 6 2 4 , i Ot-1 to
, I I— I — I
c* > 70 80 JO 1(A)
1 (Diod C-lm 4n)
c 11 K - I' ''' J. > t; í: >:
I (lịi I.il lon: V - 11113."5r) * X 1
J.0
10
I .) ’on 1 ỉ
111II11 ẫ - ho (hrony IJ(T) ctiii (Iiol llur
J
K1ỊK2)
r
KI R'Z
I

'* 'Im’i'rrV'ifH
' !■> ! ifr-r*
iRMP
!
I . ! . I ’ OK
A*i« nvrn
nrn
’.1
Trnnrrj aHrt:
lliritrwrrtw (KO)
'
A .HU virrd ƯỊT)
Ti p m ■
Tinkv
r
Hotp' T'vn el'Jinnrl con*lit ènr
leferrnc- rhamel to make tn
ibiohtr r. í j
Slo w 1’V
%
Ilrirnom rtri. *
Hìnli 7 - (ỉiíio (lií*II (I IMI màn hình
3. KẾT LUÂN
í lệ (lo liíiMỊĩ số lv IƯ(V||JI IIC'«1:t chuyển Iir|' Ikíii <IÃI1 (In (hrợi .xíìy (lựng vì\ do lỉiìí nghiệm
(ai K hoa Vọt lý, Tĩ ưừnp ! );ú hoc K lidM lioc lư Iiliir-M I lo k liónj! (Ill <!o II n 1M ròn (lược sử (lựng
nlur mỌI họ (lo nltioi fin. klinn|ĩ ( hr ĩiliiọi »ỈA lư flAnj’ Mr-II l;rl ||((|) với cru' cfim hiến kliác, hệ có
khít Iinnp m ở iộn;ĩ 1||ÍMI>! sô (lo ihco vrii CÀU
Tài liên (liam hỉiảo
I ( Ki lí rì. S'i yrii l ột lý I Ikĩi tắn, N.XIỈk 11 k ì . I hì mi/. I {)7<ì
2. r Diilin, í‘.h’( II (Itìic I )f\ii rs, ftf IR, Most ow. ! (>Siì


23
Trán Kim Cươìig, Doờn Trọng Thứ. í.i' l IỈI Sinh. Huỳnh Dinh Dihifi 23
Trựơng Quyêi Tluing. Nguyên Diu lìitth 23
BD-ĐM-36P. CÁC IÍNII CHẤT DIỆN. QtMNCi CUA MÀNG MONCi LiMn.Q4 CllỂ I ẠO tìÀNG
PHUtJNG PHÁP (EDIÌ) BỐC BAY CIIUM TIA ĐIỆN TỬ.
.

24
Phạm Dtiv Long. Nguvcii Nâng ŨỊiilt. /.(’ I ‘íl/1 Hóng. Di) Xiiiin Mui
24
BD-ĐM-37P. GHẾ TẠO VÀ CẢC TÍNH c HẢI CIJ A GốM (I-x)Pb( AI, -,Nbl0)Q, - xPli I'll), 24
Tnrợng \ đ/1 Chương. Dúnịỉ Xikìii \ inh
24
UD-ĐM-38P. CHÊ TẠO MÀNU MÒNCÌ Vịt), VA KMẢO SÁI ÍÍNII c IIẢÍ C HUYÊN MẠCH
CỦA CIIÚNG

24
Plìtìii \ iìn Ánh1. Ngnvẽn ỉ <f/i //1»/1V/■ Diitlt I Iiìiiịị AIịiiiIi1 24
Dỗ HtinIỊ Thanh'. Ngiiỵờn Ncìnỵ Oụilr. 1'luint Gia Ngữ'

24
BD-DM-39P. DÂY I.ƯỢNG I Ử1 KÊN c o SỜ BÁN l)ẲN GaAs/tiuAlAs

25
N ịịiix ỉii Dirt Ti ling Kii‘i\',h. Froncun Lai Itelleh. Alc.utiìth c Ncili líii1' LUf Cnmtscì1' 25
BD-DM-40P HFỆN TƯỢNG DỊCI1 CIIUVÊN mf:N VÙNCi CHA BÁN DAN t ó CẤU I RÚC
NANO-XỔP I IẾP x ú r VỚI MÒI IKƯóNCi Í)IẼN GIAI
25
Ngu vén Trọng Tĩnli“, Díiin Tiling l\)n' 11(111 l lạ Dúi ” 25

Nguyen H(>ỉ)ng Lititng Nỵii\t'ii ( htin Ihn I lui jQ
P Ịu m bỉụnh HirờnịỊ A/jfiivi*/! N ịịọi ( Inm J(J
ỈSD
-2
CIIỂTẠO SliNSOR KHÍ DỒ NIIAY ( \í) I RẺN C(J SÓ VÃI llf ll .Mlu,

30
Nginẽn NịiOi Toàn11 ỉ hị \nh l hư . s ỉ it III lị >'
1 SD-3 CìlẢN Đ ổ 1’IIA DÍỆN I ƯCUA I .1, .Si,l 1.0, (0<xiU 5) 3 )
Ngiiìi'11 ' ll>l KIiicih'1 Ị)jn Nytiwn ì hun \iiin1 Nf>ti\én \l(in/i :\n' j/
\ 'u’ì lttiii‘‘h. Nfinvihi Xtiíin Phin ji
Báo cáo Hội nghị Vật lý Chất rán toàn quốc lẩn thứ III - Nha Trang, 8-10/8/2001
THÔNG TIN MỞ RỘNG TRÊN THIẾT BỊ DL8000
Phạm Quốc Triệu
Bộ môn Vật lý Chất rắn
Khoa Vạt lý, Trườn ị! Dại học Khoa hục Tự nhiôn
Đại hoc Quốc ịũa ỉ là nôi
TÓ M TẤT: Ngoâi các thông sỡ cơ hàn về tâm sâu như nòng lượĩỉg kích hoạt, nồng độ, tiết
diện bắt, có thể khai thác thiết bị DL8000 ở một sổ khía cạnh mở rộng:
- Sử dụng khống ch ế nhiệt (tộ ờ dải rh(ìị).
Tính toán ntột số thông sô dặc tnOìg cho clùixên liếp Schottky.
Khâo sát đặc trưng p hổ theo tán sô.
í. MỞ ĐẨU
DL8000 là thiết bị chuyên dùng nghiên cứu lâm sâu trong bán đẫn [1]. Bằng
việc sử dụng kỹ thuật số trong đo ỉường kết hợp với phẩn mềm xử lý, thiết bị này
chứng tỏ nhiểu ưu điểm so với các hệ đo analog [4]. Do số liệu đo được lưu giữ
trong bộ nhớ nên thiết bị không những cho phép tính toán các thông số của tâm sâu
theo các pháp kinh điển như Boxcar, Lock-ill [2], mà còn có thể sử dụng phương
pháp phân tích phổ Fourier [3] quét nhiệt độ một lần.
Một số đặc điểm của thiết bị:

khoảng: 1ỎK - 24,5K; 24,5K-100K; 100K * 300K.
Các hệ số của đa thức được lưu giữ trong phần mểm, cho phép phát hiên sự
thay đổi giá trị nhiệt độ là 0,1K.
Ở chế độ đặt nhiệt đô không đổi, chươiig trình phần mềm cho phép quan sát
quá trình thiết lập nhiệt độ theo thời gian và sự ổn định của nhiệt độ cần không chế.
Buổng mẫu có bốn chốt tiếp xúc mãn ở dạng mũi đò mạ vàng. Bốn chốt này
được nối ra vỏ buồng mẫu, có lliổ đưa đến các thiết bị ngoại vi.
Như vậy, buổng mẫu của thiết bị DL8000 ngoài tính năng chuyên dụng đo C-
DLTS hoặc Ỉ-DLTS, có thể tận dụng vào các phép đo diộn, quang điện trên các mẫu
khối nhỏ hoặc màng mỏng, cẩn sir dụng vùng nhiệt độ (hấp, có khống chế nhiệt độ
(ÌOK 77K).
Tuy nhiên các mẫu cần đirợc chiiAn bị tiếp xúc tốt.
3 . XÁC ĐỊNH MỘT s ổ THÔN(Ỉ TIN c ơ BẢN CỦA DIOT SCHOTTKY
Một tiếp XÚC Schottky với diện tích tiếp xú c là s có điện dung c được tính
(0
e là hằng số điện môi, (0 là độ rộng miền điện tích không gian, được tính từ
phương trình Poisson:
như sau:
£ s
c = (3.1)
q là điện tích nguyên tố, u n là Ihê khuOch (án, u là thê ngoài
(3.2)
Do vậy:
(3.3)
Nếu xét theo quan hê:
Báo cáo Hội nghị Vật lý Chất rán toàn quốc lán thứ III - Nha Trang, 8-10/8/2001
thì khi cho u ngoài thay đổi ta sẽ biết nồng độ tâm nông Ns và thế khuyếch tán UD.
Độ cao hàng rào thế (pu được tính:
qcpB = qƯ„ + (E< -E r) (3.5)
Er -E, = kT L n(Nr /N s) (3.6)

Er ngay tại một nhiệt độ xác định. Tuy nhiổn như trôn dã nói, điểu kiện đạt ra là tại
nhiêt độ đo, chỉ m ột tâm thể hiOn vai trò trong clirừng quá độ, hay chính xác hơn,
đường quá độ phải tuAn theo quy lnAt (4.1) một cách lý tuờiig.
Thiết bị DL8000 có chế (lộ qunn sát tự động các đường quá độ theo nhiệt độ.
Chế độ này được thực hiện tựa nhir inỏt (lao đông kv nhớ. Nếu quen quan sát sự thay
đối của các đường quá độ khi quét nhiệt độ, người vận hành có thể đoán nhận được
vùng tồn tại tâm sâu và ước lượng ctirợc thAng số cùa chúng.
Bổơ cáo Hộl nphỊ VẠỀ lý Chất rán toàn CỊIIỐC lổn thứ lỉl - Nha Trang, 8-10/8/2001
I
E
9H
7H
5H
V •
fti.f
■» '
f/v-
\ 'r%. :• ỉ' » V .
í ■ :V V; (■iiV'vv»vj
-1 B
A
I
E
3 R
1_J
Kt
ỗ
?. H
1
l/l

10.24 ns
2*10.00 UB
1.00 na
3 00 u
-0 50 u
11 00 pl'
-1 50 I»n
(Ivor
Hamjn -
Ori|i I . -
127
2
izn
Hình I. I>ạng [>liổ tín hiệu theo tổn sò: MÂu: 11-Si, cỏ pliAn cực và xung
rnn
mn
Ỉ>RR
[IS no
T^nnm
0™ f n
-
7S.07
Tyrn
-
n-('(Jln/fen
in
-
ID n
Conn
-

1 37 r.rì
7FW itin
n rqi.nm-,1 I II 7 l
Hình 2 Dạng phổ tín hiệu theo f Àn sô: INI An: n-OlTe, không pliân cực vò xung
Báo cáo Hội nghị Vật lý Chất rán toàn quốc lần thứ III - Nha Trang, 8-10/8/2001
Thiết bị có chế độ quan sát phổ tín hiộu theo tần số. Nhiểu đồ thị thu được
chứng tỏ rằng phổ ỏ tần số thấp lớn hơn phổ ở tần số cao, với cùng chế độ đo thì phổ
ở
nhiệt độ thấp nhỏ hơn phổ ở Iihiệt độ cao, khi có xung phân cực tác dụng lên mẫu
phổ tín hiộu lớn, đặc biêt ở vùng tđn số thấp so với trường hợp mẫu không có xung
phân cực.
5. KẾT LUẬN
DL8000 là thiết bị chuyên dùng nghiên cứu tâm sâu trong bán dẫn, hiộn là
thiết bị duy nhất ở Việt Nam. Việc khai thác một cách hiộu quả thiết bị là mục tiêu
của Trung tâm Khoa học Vật liệu thuộc Khoa Vật lý, Trương Đại học Khoa học Tự
nhiên - cơ quan quản lý thiết bị.
Thiết bị cung cấp nhiều thông tin về tâm sâu, đồng thời cung cấp các thổng
tin cơ bản trong nghiên cứu bán dẫn. Theo chúng tôi, có thể tận dụng khả năng
khống chế nhiệt độ ờ dải thấp vào một số nghiên cứu đòi hỏi điều kiện này. Thêm
vào đó, thiết bị có thể tham gia vào việc nghiên cứu tính bất ổn định trong một số
linh kiện bán dẫn.
Chúng tôi xin gửi !ời cảm ƠI1 tới Trung lâm Khoa học vạt liộu, Khoa vạt lý,
Trường Đại học Khoa học Tự nhiên, Đai học Quốc gia Hà nội, xin cảm ơn Ban quản
lý đề tài Cấp Đại học Quốc gia QT-01-03 đã tạo điều kiện thuận lợi trong quá trình
nghiên cứu.
TÀI LIỆU THAM KHẢO
[1]. Accent company, Introduction on DL8000, London, 1998.
[2]. D. V. Lang, J. Appl. Phys, 45, 3014 (1974).
[3J. S. Weiss, Solid State Electronics, Vol 31, No 12, 1733, (1988).
[4J. P. Q. Triệu, Một số kết quà thực nghiệm trên hộ DL8000, Hội nghị Vật lý toàn

Kinh phí của Nhà trường: 8.000.000
Vay tín dụng: Không
Vốn lự có: Khống
Thu hồi: Không
Thời gian nghiên cứu: I năm
Thời gian bắt đíUi: 4/2001
Thời gian kêì 111 úc: 2/2002
Tên cán bộpliôi hợp: ThS. Nguyên Thế Nghĩa
ThS. Ngu ven Vinh Quang
Torn tắt kết quả nghiên cứu:
Thực hiện được mục tiêu đề ra:
Nghien cưu ứng dụng 2 loại cám biên không điện sang điện.
- Có 2 báo cáo Khoa học
- Đào tạo 04 cử nhan
Kiến nghị về quy mô và đôi tượng áp dụng:
- Nếu được cấp thêm kinh phí, quy mô nghicn cứu sẽ tiếp tục phát triển, có thể đưa
thành sản phám.
- Cảm biến có thể áp dụng dể do khối lưựng và đo nhiệt độ tự động.
Chủ nhiệm để tài
Thủ trirởng cơ
quan ch li (rì dồ tòi
Chủ tịch Hội đồng
đánh giá chính
thức
Thủ trưởng cơ
quan quản lý đề
tài
Họ Tên
Phạm Quốc Triệu
H p Ỵ t y ơ t U r Ị