!"#$%
&""'(#%)
*+,-
./01.2345637(839 #:;)<
#.341.23=4>?4.@39 ABCDA!
6E9 F=GH1IJ=4KF=34L/37MNO
IP.Q4/37R3STUVVO
Lời cảm ơn
Trong suốt quá trình học tập tại Viện Vật lý kỹ thuật, trường Đại Học
Bách Khoa Hà Nội, em đã nhận được những kiến thức quý báu và cần thiết từ
các thầy, các cô và cán bộ của Trường. Điều đó giúp em rất nhiều trong quá
trình thực hiện Đồ án tốt nghiệp này. Em xin được bầy tỏ lòng biết ơn trước
tinh thần giảng dậy hết sức tận tâm và có trách nhiệm của các thầy cô giáo.
Em xin được gửi lời cảm ơn chân thành tới TS. Đỗ Phúc Hải là thầy
giáo hướng dẫn trực tiếp, có những ý kiến mang tính định hướng cho em về
việc nghiên cứu khoa học trong quá trình làm Đồ án tốt nghiệp cũng như
trong sự nghiệp công tác sau này của bản thân.
Qua đây em cũng chân thành cảm ơn toàn thể các cán bộ, giảng viên
Phòng Thí nghiệm Phân tích và Đo lường Vật lý, Viện Vật lý kỹ thuật,
Trường Đại học Bách Khoa đã tận tình giúp đỡ em trong suốt thời gian thực
tập và làm đồ án tốt nghiệp tại đây.
Cuối cùng, em xin cảm ơn gia đình, bàn bè, những người đã luôn động
viên giúp đỡ em cả về mặt vật chất và tinh thần để em hoàn thành đồ án tốt
nghiệp này.
Hà nội, ngày 20 tháng 5 năm 2008
Sinh viên
Nguyễn Đình Quyết
"WW
~34:N9/?=c34.@K1IL‡37i.@3=ˆE4/=eh=ˆT8Ki0::::::::::::::::::::::::::::::::UU
~34:R9#[i€‰c344.•31.i.@3=†jKŠ=whz:5‹37i.?gh=.hi.@3=†=e037
#x"wlz::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::U]
~34:}9#[i€E45[37E4/Ei0E4r=eK|^3jKh::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::U}
~34:Z94r‚y?ghTI37(#Gu37iŒ37ƒ?/?34.@=iPi`‰4/?34hK
L•URV0Q]VV0Q]RV0QNVV0Ž=4‹.7.h3E4K3=L•RE4f=:::::::::::::::::::::::::Up
~34:U94r‚y?ghTI37(#Gu37iŒ37ƒ34.@=iPL•]RV0Ž=4‹.
7.h3E4K3=L•RE4f=:::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::]V
~34:]9<34#x"?ghTI37(#Gu37iŒ37ƒ34.@=iPi`L•URV0Q=4‹.
7.h3E4K3=L•RE4f=:::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::]]
~34:N9<34#x"?ghTI37(#Gu37iŒ37ƒ34.@=iPi`L•]VV0Q=4‹.
7.h3E4K3=L•RE4f=:::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::]]
~34:R9<34#x"?ghTI37(#Gu37iŒ37ƒ34.@=iPi`L•]RV0Q=4‹.
7.h3E4K3=L•RE4f=:::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::]N
~34:}whz9<34#x"?ghTI37(#Gu37iŒ37ƒ34.@=iPi`L•NVV0Q
=4‹.7.h3E4K3=L•RE4f=:::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::]N
~34:}wlz9<34#x"?ghTI37(#Gu37iŒ37ƒ34.@=iPi`L•NVV0Q
=4‹.7.h3E4K3=L•RE4f=:::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::]R
~34:qwhz9<34#x"?ghTI37(#Gu37iŒ37ƒ34.@=iPi`L•]RV0Q
=4‹.7.h3E4K3=L•ZE4f=:::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::]R
~34:qwlz9<34#x"?ghTI37(#Gu37iŒ37ƒ34.@=iPi`L•]RV0Q
=4‹.7.h3E4K3=L•ZE4f=:::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::]}
~34:O9<34#x"?ghTI37(#Gu37iŒ37ƒ34.@=iPi`L•]RV0Q=4‹.
7.h3E4K3=L•UE4f=:::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::]}
~34:p9<34#x"?ghTI37(#Gu37iŒ37ƒ34.@=iPi`L•]RV0Q=4‹.
7.h3E4K3=L•]E4f=:::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::]q
~34:ZV9<34#x"?ghTI37(#Gu37iŒ37ƒ34.@=iPi`L•]RV0Q=4‹.
7.h3E4K3=L•RE4f=:::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::]q
~34:ZZwhz9<34#x"?ghTI37(#Gu37iŒ37ƒ34.@=iPi`L•]RV0Q
=4‹.7.h3E4K3=L•qE4f=::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::]O
#*>0A;U230"AUA>C0[P2
3=\4FCPC0PCD4]>*6*>^=_
`R>L#JDN4^G*>Z=4#>"
=>=?KAaM3*0A;"23
=\4FC@A-C@A`OC@A-Ob`4KAaEP=98
PC@A->=E*NT5G#cK]P>=EKAa"CP
*Y=d4EC*H4e.
fO8"gghCP)AYH
#044_#HL3*HKAaPLO23
c@
-CC@A`OC@-O
b/E*MA;;)>CLAYH@A-
PEA>5:g=>#044_@A-i@-O
F#DP)
"323=\4F"0^HgjOM
5*>kj4^S
/>=?@A-D3^G"Kl6
L#KVK#54LQC1JP#J
$@m&'C O#!Y=$/m.'CCb@>D
QKV54l=>=?@A-PM+#*>L
#;E*>*>6LQ"m^"
*I#M+#*>Kl#"C>5#5C
>L#Jn#V1^G"=>=?@A-
P4_#K]* 6=\5CLLMH"I=!Vo
#=OCM*>+#3ICK^"0S!
Nguyễn Đình Quyết – KTAS K48
Nghiên cứu chế tạo và một số tính chất của màng mỏng CdS
cấu trúc nano lắng đọng bằng phương pháp phun nhiệt phân
45[37:\D
:.6.=4.@K1^1F=G.@K(#
mAa3983GA;4E4D46v*S\
K>v*S"K>23=\4FC*N+#AaCTAr
+#CK>+#P#C=>4#004*>Ke+#mAa98
U=>T3">R5^VP=*>5^VP=8
4KIVT>B6^GDL=4#63
S^<#P=98*>\K>3P#JPK64E*Y
=4E]Erwx
mAa398C;)>@A-C@A`OC@A-ObCRD3+#
=^G)"*N+#Aa4*Y0Z
5`4PC@A->=E4*N+#AaVwCx/>
=?#A==0AO$@A-']4"413GA;4E4D4
Ke+#AaC;IvCKe+#CKE
C*N#0O4CTAr+#CKE5)0^=CKEK2
3+#C=>=?456+#+#*>Ke+#
LB>5#5C_#^G@A->*NM3
>=H#0K>23=\4F4^6*N@A`O*>
@$u#'-O
w:CkxB6>^GDN4Q*<#J*>
*#M+#*>M<#@A-L*>@A-P
#"l="K>23=\4FP0#wyx
Nguyễn Đình Quyết – KTAS K48
Nghiên cứu chế tạo và một số tính chất của màng mỏng CdS
cấu trúc nano lắng đọng bằng phương pháp phun nhiệt phân
- ( 9 wBOx0
k
hI2#4H hQ#
:_37374@?4`=a0TI37Tb37(#
@A->=E4XKAa3^Gp=p*>4E4D
4=>=?KAa@1J=>@A-
0A;"H#04K>23=\4F4#A"
wxBXQ>5U=PtKVK#54LQwCxC
C_!"CO#!Y=$/m.'CO#!#L="
Nguyễn Đình Quyết – KTAS K48
Nghiên cứu chế tạo và một số tính chất của màng mỏng CdS
cấu trúc nano lắng đọng bằng phương pháp phun nhiệt phân
X $/{8.' wxC 1 J # P# J L= " X
$/{@8&'C1J#*N$8&'C1JK)P#J$@m&'
wCxC#P#C2=rKl#0O4b@T_4l=|P
XnL5)=L#8MA;C]KVK#5
4LQ4LP)3p*6LV3==V*>
]Zr?^E"=>I#
:c34?4d=1^?dK=ef??ghTI37Tb37(#
@3K6=\<#=>@A-;E*>"
=>C+#4J>=>LQKe"*6LMHCLQKeH"
*6K64E<#=>*>PLI2"3K6AT5?)0S
23+#>wzx
B6^GL#Dp4#4l@A-U"]I#A"
4_0!\*>NC4Z-SZ>
@A-n2^LK6AT5<#=>2^
/>>=Kl/m.$O#!Y='4^0O
*>€P4_~4•O4LX=>>=4^€4_
0#O4Owx
`4Q1JK)P#J$@m&'4_<#=>;
E*>>T<#K)CE*>E<#AAewkx/>
@A-1JRG@A$B
'
•
P4_0#O4OC~4•O\
4_|3;E*>6L1J=>C4L
X=>>=RG@A$@B'
9
*>@A$O'
•
QQ4_
~4•O*H0SeH<#4;cZ*QP*Hwx
%#=##YE0SwzxDK4l=>@A-N3R
Q1JK)P#JP4_0!\*H
Nguyễn Đình Quyết – KTAS K48
k
Nghiên cứu chế tạo và một số tính chất của màng mỏng CdS
cấu trúc nano lắng đọng bằng phương pháp phun nhiệt phân
l0V="afgg:=Ccfgk::=*>JLQ+#03K
LZ#4_L\>#|3>
%#=YE0SwxD"=>@A-0A;U
@/>@A-0
A;#A==AAO0*>#A==4AO0"Kl:PLO2
3KlkO8*H4_~4•O*>LO23:O8*H
4_•KOAOwzx-S2<#EK)_0…>=I3
4_)<#=>w(x
-SLQV*64_=>@A-#5K]+4Z<D
346>/E*>ID=^I0S#5
4_L<#@A-0I54#"ELIgg
@`4"C=EM=
LP0Vp4#4l4_<#=>@A-eLEgg
@
]4LQLMCN=M>M+#CLO23*>=T<#
Nguyễn Đình Quyết – KTAS K48
y
Nghiên cứu chế tạo và một số tính chất của màng mỏng CdS
cấu trúc nano lắng đọng bằng phương pháp phun nhiệt phân
0I„=n#5@P)A0S#5*6>T"G
4_LQ#5wgx
.4+O•*>E0SwkxK4lQ0V="CLMH
"C0S,\D$04#'L;E4S*>K6AT5<#=>J
34lLK6AT52^ZLMH"n2^C
X#04#I=Jn+#034lFEp !"4
%&2^L=>K6AT52^@4el0V="#*><#
=a9SAG*Hk*>ky:k†l0Vp]<#Q
0V=">c/a fk<#4_0!\W6Pn3
KK]@*>E0S4lE=<#=>2#*H0S
2<#UE@ACE="I=="L#0A;0P0^
=4+4Z1J<#=>X#E=K6=\<#=>
@6A>
L<#"AaLQKI4=>"Kl
K#53l=4LIRgHg}=@^GDp
4#4l=>@A-=J]VE#PUE"I#*>U
E"I2^LK6AT5<#=>2#">=2UE"
I^KN<#EHjLV3`5^*HUECU
E"II=`"U$@'#*>n>=I=UE"Aa
wx
€K90#qOYU0SwyxD"=>=?@A-Kl
K#5|3KE@A@
*>@A-JK4lUE@A@
2
^C4]0I=*>UE"I2^m^"P*HUE
@A@
HgjC4]0*>UE"I"H4"KD
r#JD+#050S2#<#EE]=>L*>
=>#"@A@
UEAHgg:j
WV*H=>@A-1JKlCM
KeVK]0SK15^{
"K^"C6>5>=
I=UE*>EE<#"I/>>KAa"*>P
4]0#54^g
z
‡=ˆ=>#50#+4Z1J4
<#4]00…I=!Vgg\gg:‡=wxB^G=>
@A-=JKl@-8`p4#4lEQ<#OO4n
2LE2*>"4eH>=
8
9
0
9
/>3
>=Kl@8&PEEX#gg*>:g=
8
9
0
9
wx
/>@A->=Kl1JP#J>KAa"*>
PE4]04LIg
y
Hg
(
‡=h<4LQZ
E4]0I=H\g‡=-SI=4]0>5>A!
LQ^L*H=>K#54#/>@A->=KlP#J
3<4LQLM5PM"50#/>@A->=
KlP#JPUE"ILIg
=
9
*>E
3KB6KDp4#4lL6AT5<#=>2KF
;Ae5)*6M#*Y23$KH0P#'C
G>LILO23I=!VwkC(Cx{=0*>
E0Sw:xDKKF;<#=>>:gg=G*HLI
LO23!!p:O8-#L<CKF;Ae5)?*6
M#0PKH0P#%#=*>U0SwxD+#0
3=E#5?*6KF;]LIgO8JDK4l
=>@A->=Kl@m&RUL#<##A==
$4AO\#O#O'PE456+##LIygHzgj]4*Y
Z5*>4e<#LO23LI:H:gO8Jn
+#034lKF;0…4]^AVLF#1J2
^Jn"4lLI2456+#<#KG!"LQZ50…
VuOwxD05N4#4l=>@A-4=?0
456+#4#N=4M>IXKG!"PKH0P:gg=C
6>5nG*H23<#@A-H;="
3!eLIgg=4^<5O44O4YQ
0Sw:xDKH0P4KZ456+#ggHzgg=;
EM*>K6AT5<#=>$I=LK6AT52^'#A4Y
E0SwxDp4#4l0V;‹*>LIg
Hg
:
=
9
V
Nguyễn Đình Quyết – KTAS K48
Nghiên cứu chế tạo và một số tính chất của màng mỏng CdS
cấu trúc nano lắng đọng bằng phương pháp phun nhiệt phân
*HLO23HO8J4#*Y=>d*>P
@-•
g9Œ@A-•B
@••@{
•
`4^SCAAe0A;>|3<#AAegg:/
@A@
*>AAegg:/$B
'
@-#4EOp*6)M>RtC
tCtW)AAe4E64HLCAAe3L5
Kl=5L5R4LIF#g_
:U:‚†GHi`
W0A;4<II=KI3
5^T0#t
9@PE0"#*>K6=\PE=<?)LQI]
3<#=>0#>5
9&=>@A->=>40V^4+4ZLI0
M0…E456+#<#=>4LIKH0Pλfgg9
(gg=C*Z*N55^TV*H>;4M0PKH0Pl=
4LI4^
9 `4Q 4Z >5 _ Q 0 A; LM -€ƒm%€B&
$@#'$LMHyk× : ×:==31>=?LM
HLI×:='`4HL34#*>=4A
Nguyễn Đình Quyết – KTAS K48
`RTT^*>2=(kkCL@#=KO4*>-L#4=#0A;Ls
N>5 )"=>@#A==-AO$@A-'=\4FC4
6^G*6LsN)1J=>=?D
3Swx
Nguyễn Đình Quyết – KTAS K48
Nghiên cứu chế tạo và một số tính chất của màng mỏng CdS
cấu trúc nano lắng đọng bằng phương pháp phun nhiệt phân
>0A;ArLM)=#
AAe"=>K6=\3#]=EE!e
8H=|"*N0…T=EEL#Ž=EE!
e<#C#=#IG4AAe0…IG*H
#C1J4^K6=\*>Z>=>=?P>T
==V
30A;\K+I4*
"=>=?!C!|3C"!0O<#L=
"C#OAO05^P=98C98C98C898C898C898C
#OAO05^P=998C998C998C9898C8998C
3 #A#=#O <# U @
•--
i-O
C @
@A--
i-O
WFLM<#TPLMHg:==@"<#TU=
=EVZ4;?]X#P=EL=?`VEP)#5
3Kl6p0S^!V<#L=B>4#CTrP
KENAY)6p3AAe4KZG#PA
Mgg=/ET<#T3V*HKZLM,&HA;
<#0<#KZCLM0…34#L?TUFL,O
AAe"=>hM30A;4nI"
3X5^Te`4HCLMI>LM4*6=\P#J
*H"=>/\LCLMIPE0"#)P)"4#
=>P3#@P=E0V"LMG3LI2>5
€4CB
BL!,ML*>LI2GA;40I
!>"]+=QQ0#>5C_QJLMB
hMP
E0"L#$((j'*>>V4‘CK4^e4F
`4^KZLMPKEN6pVEArLM*>UUp
e0<#LM4KZ43*0A;
/E5V+#4JLV*H=E>E
A+4Z1J=><#3FS]E
#]Er$V*H=>@A->:g9gg
@'Ž>5C
=E0V4AAe0…KeK#5$H*>A=QA K#5
L'm^"PCP6IG!I54#]E#^K6=\
M>PEY3)IG<#4AAe
#K#T!I54#WV*H0A;4U>5CPLI2
E^LIkgg
'‚4Z1J3S]LIE4KZRgg
kgg
@hsN,1J=>=?=>
LQ5^T+^=\*65^*NK#T
:' hQVQ0#_!"R
4FKl0PR$%#A’4O+O5/#O4-O49%’/-'C
LQ54#3P;KEC
Nguyễn Đình Quyết – KTAS K48
y
Nghiên cứu chế tạo và một số tính chất của màng mỏng CdS
cấu trúc nano lắng đọng bằng phương pháp phun nhiệt phân
6=>P)54#I]!V*H=>=?1J
X#C>5LQKe"*6*N>=CeH
4_<##5\4K6=\<#
k' ml#5>T<#AAe4+4Z
1JCLsN>5P)30A;)"=>P4_#
H*>=>P>T#5O6A>5
y'>5P)"3=>PEU6#4^=E
AM4E
/?=4_37L–?_37374@
9&Ae1JPUE#5R@fgg9gg:=i
9BE1J$E<#K6=\'l=4LI`
0
f
:g‰gg
@$±:
@'
Nguyễn Đình Quyết – KTAS K48
z
Nghiên cứu chế tạo và một số tính chất của màng mỏng CdS
cấu trúc nano lắng đọng bằng phương pháp phun nhiệt phân
:/?E45[37E4/E374.23?oKTI37
:Z:45[37E4/EE4r34.sKta=.h‚w‚yz
%&>30A;)^G4_<#*N
*>!eLMH")wx
B5^1KI<# !"#>L#*>
K6=\=a0…!I54#3I!"<#H="@#I!"
##*H#*>I=D4Z8q9m4#$Z't
nλ = 2dsinθ $'
4Pt
n9KN !"$0V5^'
λ9KH0P<##
d9LIX##=\)
θ9PX##H*>=\dI!"
ZtNhiễu xạ tia X bởi hai mặt phẳng nguyên tử.
8H=|U#P”!eCL#5PHθC=|*NP
=EKE4ed\44^-04eA*H*„0…!
e34_=")<#T^G
#,_#!eLIn##=\dP
Yp0V/O4
Nguyễn Đình Quyết – KTAS K48
(
Nghiên cứu chế tạo và một số tính chất của màng mỏng CdS
cấu trúc nano lắng đọng bằng phương pháp phun nhiệt phân
/E6TK>LIX##=\)$d'P0S^
*HI !"#K]p0V/O4$h k l'`4^SZQG
;E*> 4_<#)hIX##=\)>
c
l
a
khkh
d
+
++
×=
$V*H);'$'
Kd =
$g'
`4Pt 9dtLMH")
Nguyễn Đình Quyết – KTAS K48
g
Copyright: Tài liệu đại học ©